300mm全自动去胶清洗设备的研制

介绍了一种全自动去胶清洗设备的结构技术,主要从工艺槽体溶液均匀性实现等方面阐述槽体结构。经用户使用证明：该系统运行稳定可靠,工艺灵活,清洗工艺先进。适用150～300 mm晶圆片的去胶、腐蚀、清洗等工艺。     

电子工艺

0632240阳离子型改性淀粉絮凝剂的制备及絮凝性能研究[刊,中]／吕荣湖／／中国石油大学学报(自然科学版)．- 2006．30(4)．-118-122(E) 0632241先进封装技术的发展与机遇[刊,中]／高尚通／／中国集成电路．-2006,15(10)．-47-53(C) 0632242干刻清洗工艺在金属刻蚀去胶腔上的评价及应用[刊,中]／王倩／／中国集成电路．-2006,15(10)．-43-46 (C)本文以金属刻蚀去胶腔为背景,简述干刻清洗工艺开发和评价过程。针对实际应用中的问题,展开讨论。通过实际案例分析．展示了干刻清洗工艺的应用价值。参4 0632243硅的反应离子刻蚀工艺参数研究[刊,中]／葛益娴／／南京师范大学学报(工程技术版)．-2006,6(3)．-79-82 (L)对硅的反应离子刻蚀(RIE)工艺参数进行了研     

RF系统

SSEC3308是一种单晶圆湿法处理设备，小型机的产能为每小时180片晶圆。它有八个工艺模块，可以任意配置成各种特定的应用，比如两面清洗，湿刻，以及去胶工艺。晶圆可以通过晶圆盒（cassette），或者以300毫米FOUP、200毫米SMIF pods的形式进行处理。所有的工艺参数都是PC控制的。     

45#钢圆筒外表面水下激光刻槽工艺研究

报道了对４５＃钢圆筒刻片开展的ＣＯ２激光刻槽工艺研究情况。采取了把工件浸入水中冷却的措施,克服了刻槽余热引起的烧伤现象,研究了圆筒外表面激光斜刻槽的工艺条件,并且给出了槽深度均匀性解剖检测的结果以及激光刻槽槽体的组织和性能分析     

极紫外投影光刻掩模技术

介绍了掩模基片的技术要求，分析了制备掩模多层膜的难点以及相应的解决措施，然后讲解了吸收层干刻法制备掩模的工艺流程，最后介绍了掩模缺陷的检测技术并概述了极紫外投影光刻掩模技术的现状。     

集成电路湿法工艺与湿法设备制造技术研究

简述了集成电路制造中的湿法工艺,重点介绍了栅氧清洗、RCA清洗、去胶、氮化硅去除、氧化硅腐蚀等湿法工艺,并对槽式湿法设备的关键制造技术进行了讲解。     

一维扫描激光飞动标刻研究

介绍一种控制生产流水线激光标刻的软件实现.使用一维振镜来实现点阵字体的飞动标刻.通过偏转扫描振镜使其和生产线方向成一定的夹角,并且严格控制扫描振镜的运行,使振镜按照标刻的要求,在确定的时间到达确定的点阵点.通过这种方式来补偿生产线方向的生产线速度.在满足一定生产线速度的情况下,能够降低标刻设备的成本.对于要标刻的点阵字符,采用了在显示屏幕上输入相应的字体,然后直接从屏幕提取字体信息并输入标刻系统.     

基于P-V双因素的网络激光标刻性能研究

传统激光标刻技术已在实际工业生产中普遍应用,但其系统最优标刻性能控制参数存在寻找及设置较为困难、繁琐等问题。针对该问题,本文设计了一种基于嵌入式网络激光标刻模式的新型激光标刻控制模型,并在该模型下通过相关数据预处理算法分析单一标刻影响因素对激光标刻性能的影响;再通过对实验数据的数理统计分析得出二值图像的标刻性能变化规律,最终得出在该材质及类似组成工件下的激光标刻的最优参数快速选择模型和性能最优值域。研究结果表明,该模型为最优激光标刻性能控制参数的快速选择提供了可靠的方法,为进一步研究激光标刻性能影响参数提供了重要参考。     

TFT制造工艺简化

三星电子公司开发了三次套刻工艺来制造TFT器件。一般TFT制造采用四次或五次套刻工艺来完成。采用三次套刻工艺后，比四次套刻工艺不仅提高生产能力20％，而且节省原材料、缩短生产节拍，将提高产量，提高竞争力。     

提高整机套刻精度的软件处理方法

套刻精度是衡量分步重复投影光刻机的一项重要指标。套刻精度不仅取决于对准系统的对准精度,还受环境、工艺等因素的影响。提出了提高光刻机整机套刻精度的几种软件修正处理方法,通过工艺实验和考核,取得了比较满意的结果,证明了这些方法的可行性。     

呼叫中心回眸与展望

回顾了呼叫中心的3个发展阶段，并对第四代多媒体呼叫中心的功能及应用作了全面的介绍，同时通过实例，展望了第四代呼叫中心广阔的应用前景。     

缓冲器输出端相位噪声模型分析

相位噪声是振荡器的重要性能指标。近年来,研究人员在振荡器相位噪声表征方面已经做了大量的工作,在这些过程中开发出了很多不同类型的振荡器相位噪声模型。但是在这些模型中,都没有分析缓冲器噪声对振荡器相位噪声的影响。而在研究课题中,首先要对缓冲器噪声的功率谱密度函数进行数学建模,并易于将这个模型嵌入到相位噪声的非线性扰动分析模型,这样就得到了含有缓冲器噪声的振荡器相位噪声模型。     

<北京电信地理信息系统>多源数据融合问题的研究

空间数据库多源数据融合问题是地理信息系统实际应用中的一项关键技术。在分析了电信数据源的特点之后 ,着重讨论了多源数据融合的几个关键问题。     

一种新型充电器的设计

本文介绍一种新型电动自行车充电器,它具有自动断电功能。当蓄电池充电完成后电量检测电路输出电压控制断电电路,断电电路动作,自动关断充电器输入的交流电源。经测试,设计的充电器的断电电路反应速度快、性能稳定、可靠。该充电器成本低,能节约电能,具有实用价值。     

无线设备互调干扰仿真分析

系统电磁兼容(EMC)设计中,无线设备间互调干扰是非常严重的一个问题.本文首先建立了无线设备间互调干扰量的分析模型,并采用矩量法结合微波网络的方法求出互调干扰模型中最重要的参数天线间耦合度,然后把发射及接收设备的给定数据代入干扰模型算出发射机和接收机间互调干扰的量级.经过仿真数据与实测数据的对比,证明该方法理论正确,计算精度较高,文章最后给出了仿真实例.     

便携式设备的电源方案设计

文章主要讨论便携式设备中与电源方案设计相关的几个方面 :电池特性、充电方案、电源转换和电源管理 ;并且结合实际应用 ,给出了一种典型的设计实例。     

多媒体处理器TMDSP通讯的实现

ＴＭＤＳＰ是一个可编程多媒体处理器。面向ＴＭＤＳＰ，给出了三种通讯方式：综合业务数字网、以太网、电话网的接口硬件及软件概况。     

元器件失效分析在整机行业中的作用

本文介绍电子元器件失效分析的方法及其作用，以具体的案例阐述了元器件失效分析在整机可靠性提高中，在界定元器件缺陷及元器件使用不当中的作用。     

网上考试系统的安全权限问题及其解决方案

计算机网络技术的发展,给人们带来了许多方便,同时也带来了严峻的网络信息安全问题。以ASP和A-DO技术组合开发的线上考试系统为例,分析了系统存在的安全权限问题,并对此提出一种解决方法。     

语音合成系统的超大容量存贮问题

文中提出了语音合成技术实现时的超大容量存贮问题 ,简要介绍了语音参数合成法中较优秀的线性预测编码方法 ,指出了它在实际应用中存在的困难 ,介绍了美国TI公司两种改进的预测编码算法MELP和CELP及相应硬件MSP50x3x系列语音合成器的原理 ,最后提出了一个应用系统实例 ,给出了硬件和软件设计。