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应用热传导率低的薄玻璃片为衬底研制成了两种微型热流量传感器,其中一种流量传感器可测流速和温度,而另一种传感器可测流速和方向。其制造工艺并不是简单地利用基片刻蚀技术,而是用溅射方法在玻璃衬底上沉积形成三个铂薄膜电阻,它们分别是微加热器、加热器温度控制器、温度传感器。这两种新型片式传感器能够很精确、灵敏地测出流体速度和流体方向。 相似文献
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设计了一种基于体微机械加工技术的新型硅电容式流速流向传感器.这种传感器由圆柱型阻流体和支撑梁构成,这种结构将流体的流速流向信息转化为阻流体的位移,通过四组正交电容来测量位移,从而得到流体的流速和流向.理论计算了传感器的结构尺寸并利用有限元分析方法计算了传感器的电容输出. 相似文献
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介绍了一种新型BH-1型便携式旋桨流速仪,主要由自主研制的流速传感器、手持式主机及微机数据回放处理软件三部分组成.其传感器采用新颖的导流筒和导流罩结构设计,增加了系统的抗干扰能力,有效提高了测量准确性.应用单片机技术实现了数据的实时检测与处理,多路存储以及瞬时测量流量功能.通过静态试验标定,表明该流速仪测量范围(O.04~4)m/s,非线性误差为0.874%.该流速仪结构新颖、使用轻巧方便、稳定可靠,已广泛应用于国家海洋局对陆源人海排污口排污监测和海洋环境管理工作中. 相似文献
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