紫外激光微细加工的优势

二极管泵浦的Q开关固体激光器现已广泛应用于加工业．如半导体电子器件、印刷电路板、陶瓷和塑料等器件的加工。激光器在工业加工中应用范围之广意味着激光器制造商必须根据波长、功率、重复率、脉冲宽度、峰值功率扩大其产品生产的范围。目前在加工领域，激光器的研究和     

半导体泵浦固态紫外激光器在加工中的应用

激光器在工业加工中的应用越来越广泛,其中医疗器械的微加工、电子元件的封装、塑料的永久性冷标刻以及微型部件立体成型等应用的增长速度最快。以往,准分子激光器曾经是此类应用中主要的和首选的激光源。随着结构紧凑、具有高平均功率、高可靠性、操作简便的半导体泵浦固体紫外激光器的出现,情况又有了新的进展。实践证明,这种激光器不仅能够在某些应用领域中取代准分子激光器,而且它们的低操作成本和高可靠性等优点毫无疑问地将促进紫外微加工应用市场的飞跃和产品多样化的发展。紫外激加工的选捺紫外光的短波长对于微加工来讲有两个…     

新型紫外激光器解决了微细加工的材料和成本问题

准分子激光器以其高精度和低热效应广泛用于各种材料的加工中，现已成为半导体芯片、微电子器件以及医疗设备制造商十分青睐的加工设备。当加工聚合物和陶瓷工件时，准分子紫外波长（157nm．193nm，248nm，266nm和355nm）进入靶材料时有很高的吸收率并会产生非常好的烧蚀结果。另外，通过简单地改变光学系统或气体即可将单个准分子激光器调谐至几个紫外波长，使其成为多用途加工设备。     

用于激光加工的激光器及其特点

激光最大的应用领域之一是材料加工，激光器已把自己确立为一种不可缺少的工业工具。ＣＯ２、Ｎｄ：ＹＡＧ和准分子激光器是当前用于材料加工的三种主要的激光器。半导体激光技术的迅速发展使得二极管激光器、二极管泵浦全固体化激光器、光纤激光器和超短脉冲激光器在工业应用中有了光明的前景。     

紫外激光器及其在激光加工中的应用

紫外激光的波长短,能量聚集集中,分辨率高,特别是具有"冷加工"的特性,能直接破坏连接物质的化学键,而不产生对外围的加热,因此成为加工脆弱物质的理想工具,并能对多种材料进行打孔、切割、烧蚀,在微加工领域中具有广泛的应用.简要介绍了几种紫外激光器的原理特点及其发展现状,并讨论了它在激光加工中的应用.     

激光微细加工装置

该装置集激光加工技术、光学系统技术和图像处理技术为一体。使用波长为355mm的YAG激光器，可对半导体晶片和陶瓷衬底等进行微细加工；可根据加工内容，选择安装低输出或高输出用激光器；     

利用飞秒激光器进行精密加工的研究动向与未来展望

1 引言 在利用连续振荡激光器或纳秒激光器进行材料加工时,主要是通过加热和熔化实现加工.近年来,在倍受关注的飞秒激光材料加工中,可利用多光子吸收或忽略热影响实现精细加工,因此飞秒激光器现已成为下一代工业加工工具的研究热点.     

输出功率20W的半导体激光激励全固体紫外激光器

日本三菱电机公司大孤大学和光学技术研究所共同开发了波长266nm,输出功率20W的半导体激光激励全固休紫外激光器。全固体紫外激光器用全固体高亮度绿激光器产生绿光(波长532nm),紫外转换光学晶体CLBO来改变波长。开发的全固体紫外激光器功率输出大而且频率高,代替以往加工用激光器,期望用于光刻线路板打孔等,电子部件加工和半导体     

旋转双光楔在激光微孔加工中的应用

采用波长为355nm的高重复频率、纳秒脉冲全固态紫外激光器作为光源,对材料进行精确螺旋状钻孔.激光加工光束偏离小孔中心由偏置双光楔产生,并由高速电机带动旋转,使得小孔边缘的热效应降到最低;小孔的中心位置由高精度二维工作台位移决定,可以应用于列阵孔的激光加工中.     

韩国的激光材料加工

韩国的激光材料加工在德一韩联合计划框架下，韩国机械与金属研究所（ＫＩＭＭ）成立了高功率激光材料加工中心。自几年前韩国开设激光切割以来，就为工业应用多千瓦级激光器奠定了基础。迅速的工业建设过去几年中，韩国的国民经济增长达５～１２％，工业品出口３５％，是...     

激光在材料加工中的应用

本文着重介绍了国外“激光超微细加工方面的发展”及“激光在材料热加工中的新发展”，并扼要介绍了我国在激光材料加工方面所做的工作；作者从材料吸收和激光波长的关系讨论了激光加工中使用的激光器；综述了激光加工机理的研究现状；最后展望了激光加工的发展前景，指出我国应大力发展激光加工的应用研究。     

紫外激光加工陶瓷刀具表面微织构的实验研究

为了得到紫外激光在陶瓷刀具表面加工微织构的过程中,激光能量密度、扫描速率、扫描次数和频率对微沟槽尺寸的影响规律,采用单因素实验方法进行了紫外激光加工陶瓷刀具的工艺实验,确定了使用355nm波长紫外激光器在陶瓷刀具表面加工微织构的合理参量。结果表明,在陶瓷刀具上加工出合适微织构,可提高陶瓷刀具性能并延长寿命。     

YAG:Nd~(3+)激光器在工业加工中的应用及参数选择

本文概述了YAG:Nd~(3+)激光器在工业加工中的几种应用。对YAG:Nd~(3+)激光器在不同应用中,根据不同的加工要求,合理地选择激光参数和加工参数的问题作了介绍。     

我国准分子激光器研究的最新进展

准分子激光器的研究是目前世界上激光研究领域里最活跃的课题之一。准分子激光波长在紫外和真空紫外。准分子激光器具有高功率、高效率、高能量及在宽波段内波长的连续可调谐性。在国外已成功地应用于科学研究、工业化学合成、医学、微电路加工等领域。我国准分子激光器的研究及其应用取得了一定进展。高功率小型准分子激光器及实用型准分子激光器研制成功标志着这种新型激光器件向实用化迈进了一大步。一、近年来我国准分子激光器研究的概况最初几年里,准分子激光器的研究主要是     

准分子激光器微细材料加工

通过光蚀刻进行材料去除，是利用准分子激光器使塑料、陶瓷、玻璃；金属、半导体及复合材料结构成型的基础。去除的深度达到每个脉冲几纳米至几微米，它取决于材料、波长和能量密度等。如使用紫外辐射，则结构的尺寸可达到微米和亚微米级，而不至烧坏其余的材料。     

工业用大功率固体激光加工系统

报道了一种符合工业应用的国产化大功率固体激光加工系统.大功率连续Nd:YAG激光器采用对称放置方式四棒串接谐振腔,得到大于2100 W的稳定功率输出,光束参数积24 mm·mard,系统总光电转换效率达到3.5%;激光器的输出激光采用芯径600 μm的光纤传输.对激光加工系统的关键问题进行了分析,包括大功率固体激光器在保证光束质量的条件下大功率输出、高效率光纤耦合输出、适应加工要求的控制系统等.研制的系统在实际应用中表明:加工系统稳定、可靠,操作方便,可与机械手、机床等外设联接,满足工业应用的要求.     

广泛应用的紫外激光器

从微光刻到打标和打印 ,紫外激光器的应用是目前工业激光市场增长最快的部分。这应归功于十分成熟的全固态紫外激光器技术以及短波长激光在加工上特有的优点。各种应用的不同需求已导致紫外激光器制造商发展两类截然不同的脉冲激光器产品高重复率 (准连续 )激光器和高输出功率激光器。图 1　高速打标需要激光器准连续波运转来产生连续的标记相对长波长光而言 ,用紫外光加工有某些优点。红外或可见光通常靠产生集中局部的加热使物质熔化或汽化的方式来加工。但这种加热会导致周围区域严重破坏 ,因而限制了边缘强度和产生小精细特征的能力。紫…     

激光加工技术在汽车工业中的应用

早在十几年前,欧洲汽车工业就开始将高功率激光器用于车身的焊接和切割,为推动激光加工设备的稳步发展作出了积极的贡献.激光技术现已成为现代汽车生产中的主要加工方法之一.在最新型汽车制造过程中,激光焊接与电阻点焊接具有同等重要的地位,就连铝合金和高张力钢那样的材料也需要激光加工.虽然激光加工具有原始投入成本较高的劣势,但远距离焊接方法的问世可降低其成本.本文主要叙述高功率激光器在汽车制造工业中的应用.     

半导体激光在加工中的应用

由于半导体激光器在光电转换效率、输出功率、使用寿命等方面的优势,在工业加工领域具有广泛的应用前景,是目前国际上激光加工技术领域研究的热点之一.文中介绍了半导体激光加工技术的优点,现状及发展趋势.     

国外工业加工用掺Nd激光器状况

本文综述了国外工业加工用固体激光器的几种结构及其主要性能水平。