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对几种薄膜硬度测试方法的评定 总被引:8,自引:0,他引:8
用传统的显微硬度计直接测量薄膜硬度难以避免基体的影响且小载荷压入时产生的较小的压痕不易被准确测量。纳米压入仪是一种可以精确控制及测量压入深度的高精度仪器。这种通过测压入深度测硬度值的技术可以减少基体硬度对薄膜测量硬度的影响同时产生的误差较直接测压痕对角线的误差小。但是,纳米压入仪对试样表面光洁度要求高,仪器价格昂贵。这些都限制其在实际工业中的应用。较好的一种硬度测试方法是通过传统显微硬度计在不同的大载荷下测得膜基复合硬度,同时建立适当的模型计算出薄膜的本征硬度值。此方法可能更适合于常规应用。 相似文献
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新的薄膜本征硬度和复合硬度关系模型 总被引:1,自引:0,他引:1
薄膜硬度测试是薄膜力学性能表征的一个重要方面. 针对硬膜软基底系统, 引入界面约束的概念, 以球形空洞扩张理论为基础, 并假设薄膜和基底分别发生柱面和径向变形, 建立了一个新的薄膜本征硬度和复合硬度关系模型, 并对其正确性进行了验证. 应用该模型, 可从薄膜复合硬度中分离出本征硬度. 新模型与Burnett-Rickerby模型相比, 建立了新的界面约束因子表达式, 该界面约束因子包含泊松比的影响, 并且其值并不依据经验判断来确定, 而由膜基弹塑性性能来确定. 相似文献
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本文讨论了用常规维氏硬度计测量离子镀所得薄膜硬度时所产生的问题,不同载荷下硬度值的变化,以及应如何准确地测量薄膜的硬度,并分析了测量结果。 相似文献
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翟文霞 《有色金属分析通讯》2001,(4):16-18
采用HX-1000为微硬度计对厚度小于0.3mm钽薄片的显微硬度进行了实验研究,结果表明,钽片的测试方式、负荷大小及负荷保持时间等条件不同,其显微硬度值也不相同。通过长时间的实验及用户反馈的信息,确定了钽薄片的固定测试方式及负荷大小等测试条件。 相似文献
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Ti(C,N)薄膜的复合硬度与本征硬度的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
本文对不同性质的膜-基体系通过确定C的具体取值对Joensson-Hogmark模型予以修正,研究了等离子体增强化学气相沉积Ti(C,N)薄膜的硬度及其随成分组织的变化,Ti(c,N)薄膜具有较小的晶粒尺寸和较高的残余压应力,其硬度远高于一般的整体材料,在确定的工艺条件下,其值主要取决于膜的含碳量,大体成线性增加关系。 相似文献
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采用磁控溅射方法在1Cr18Ni9Ti不锈钢基体上沉积Ti-Si-N纳米薄膜。结果发现:随着Si含量增加,薄膜的晶粒尺寸逐渐变小,晶粒尺寸范围在3nm~20nm之间。薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最大硬度可达43.5GPa。Si元素的加入亦改善了膜基结合强度。同时发现,Ti-Si-N纳米薄膜的摩擦系数和比磨损率随着Si含量的增加先减小后增加,其高温摩擦系数明显低干常温,但比磨损率却有显著提高。 相似文献
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Ti-Si-N纳米复合薄膜的结构与性能 总被引:1,自引:0,他引:1
用工业型脉冲直流等离子体增强化学气相沉积技术,在高速钢(W18Cr4V)表面沉积了Ti-Si-N复合薄膜,研究了Ti-Si-N复合薄膜的微观组织和力学性能.结果显示,薄膜相结构为纳米晶TiN和纳米晶或非晶TiSi2以及非晶相Si3N4;在Si含量为5.0 at%~28.0 at%范围内,薄膜的晶粒尺寸逐渐变大;Ti-Si-N薄膜的显微硬度相对于TiN有明显增加,最高硬度可达40 GPa;高温退火后,Ti-Si-N纳米复合薄膜的显微硬度与晶粒尺寸在800℃高温下仍然保持稳定. 相似文献
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脉冲偏压对电弧离子镀Ti/TiN纳米多层薄膜显微硬度的影响 总被引:4,自引:0,他引:4
采用脉冲偏压电弧离子镀方法在高速钢基体上沉积Ti/TiN纳米多层薄膜,采用正交实验法设计脉冲偏压电参数,考察脉冲偏压对Ti/TiN纳米多层薄膜显微硬度的影响.结果表明,在所有偏压参数(脉冲偏压幅值、占空比和频率)和几何参数(调制周期和周期比)中,脉冲偏压幅值是影响显微硬度的最主要因素;当沉积工艺中脉冲偏压幅值为900V、占空比为50%及频率为30kHZ时,薄膜硬度可高达34.1GPa,此时多层膜调制周期为84nm,TiN和Ti单元层厚度分别为71和13nm;由于薄膜中的单层厚度较厚,纳米尺寸的强化效应并未充分体现于薄膜硬度的贡献中,硬度的提高主要与脉冲偏压工艺,尤其是脉冲偏压幅值对薄膜组织的改善有关. 相似文献
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金属尘化是铁基、镍基合金发生在高温碳氢环境下的一种灾难性腐蚀,其腐蚀产物膜的主要成分为脆性渗碳物M3C。本文针对脆性薄膜的特性,介绍了测试尘化膜层力学性能的几种方法,包括压痕法、声学方法、X射线衍射法等。 相似文献
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计算机射线成像(CR)技术在成像机理、获得图像的途径上与胶片照相有着本质的区别。为了更好地应用CR技术,对比试验了其在Pb增感屏影响、空间分辨力和散射线影响方面与胶片照相技术的差异。试验得出,Pb增感屏在CR技术照相时起不到增感作用,其主要作用是过滤散射线,提高检测灵敏度。CR技术的分辨力可达50μm甚至25μm,已经达到了与胶片技术相同的实际效果,因此不必要求CR的成像板像素达到胶片颗粒度水平。同时,CR技术对散射线的敏感程度要超过胶片技术,因此要得到较好的图像质量,在CR技术应用中必须注意防护散射线。试验结果使检测人员能更好地了解CR技术与胶片技术的差异,更有效地推广CR技术在工业领域的应用。 相似文献
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��ѧ���ܲ�����ȷ���������еļ������� 总被引:2,自引:0,他引:2
讨论了在力学性能不确定度评定中的几个问题。着重指出,如果所用的测量器具符合文件要求,则其不确定度可以按规定的文件评定。 相似文献