激光干涉仪数字测角的新方法及其应用

介绍了一种基于迈克耳孙干涉仪的精密角度测量系统,该系统利用迈克耳孙干涉仪在几何量测量中的干涉测量技术,通过转换将角位移转换为可以反映干涉光路中光程差变化的线位移,并通过相应电路对干涉条纹进行处理,从而实现了对大转角的精密测量。与以往类似系统相比,该系统具有结构简单、误差恒定、测量精度高、测角范围大、易于数字化等特点。同时,文章还对系统的构成原理、设计注意事项和精度等作了有关的理论分析。     

锂电池极耳与保持架干涉问题的研究

在目前现有的锂离子电池生产工艺中,出现电池极耳与保持架发生干涉的问题,行业内普遍采取的处理方式是将此类电池作报废处理.文中开发了一种新型的电池极耳裁切返工工艺,可将此类原本应做报废处理的电池返工为合格品.     

共焦法布里—珀罗干涉仪的干涉条纹及调焦方法

分析了法布里—珀罗干涉仪的干涉图样在共焦前后的变化规律，提出了一种应用干涉条纹的变化和干涉仅速射谱线进行精确调焦的方法，并得到了较好的实验结果。     

基于瞳面干涉的自参考干涉仪的研制EI北大核心CSCD

为了用更简单的光学器件使对准标记产生的衍射光实现重叠干涉,同时能够降低对准系统的加工和装调难度,设计了基于瞳面干涉的自参考干涉仪系统。首先,对当前光刻机所使用的对准技术展开研究,以光栅衍射原理和偏振光学为理论基础,提出了用Koster棱镜作为合光器件的自参考干涉仪,最后使用线阵CCD收集信号并将数据用计算机做后续的位置信息处理。由于自参考干涉仪测量系统是以光栅的栅距作为测量基准,而不是使用激光波长,故测量系统受环境因素造成的测量误差影响较小。实验结果表明:系统分辨率为0.2 nm,使得该系统可以达到纳米级分辨率。证明了所设计的干涉仪可用于目前前道光刻机的对准系统,实现纳米级精度的对准测量,从而使光刻设备的套刻精度满足最新工艺节点的要求。     

分光镜对外差激光干涉仪非线性的影响

外差干涉仪的非线性误差不仅由激光源的椭圆偏振态或者非正交线偏振态引起,也由非理想的光学器件引起,其中分光镜是一个重要的误差源。除了通常熟知的偏振漏光,还分析偏振分光镜中可能存在的另一个误差,即偏振分光的正交性,介绍这种误差和其他各种原因(包括激光源的椭圆偏振态或者非正交线偏振态)对外差干涉仪非线性误差的影响,给出检测和区分两类不同频率混叠误差的方法。通过试验证实,偏振分光镜的漏光误差对外差干涉仪非线性的影响通常是可以被忽略不计的。试验研究还发现,与传统的理论假设相反,非偏振分光镜比偏振分光镜对外差干涉仪的非线性误差有着更严重的影响。     

双频激光干涉仪在机床坐标测量中光路的调整方法

本文介绍使用双频激光干涉仪测量机床定位坐标误差的三角调整方法,和用块规架代替磁力表架及采用五角棱镜等减小测量误差的方法。     

载波相位误差对干涉仪的影响及纠正方法

提出了两种干涉仪解模糊算法,在同一角度不同误差水平和不同角度相同误差水平两种情况下,对两种解模糊算法分别进行了蒙特卡罗仿真,结果显示,算法二具有更好的解模糊性能.对算法二在大载波相位误差情况下出现的解模糊错误进行了纠正处理,它不仅可以误别出错误,而且能够重新恢复出正常误差范围内的入射角测量值,从而避免了卡尔曼滤波器发散.     

载波相位误差对干涉仪的影响及纠正方法

提出了两种干涉仪解模糊算法,在同一角度不同误差水平和不同角度相同误差水平两种情况下,对两种解模糊算法分别进行了蒙特卡罗仿真,结果显示,算法二具有更好的解模糊性能.对算法二在大载波相位误差情况下出现的解模糊错误进行了纠正处理,它不仅可以误别出错误,而且能够重新恢复出正常误差范围内的入射角测量值,从而避免了卡尔曼滤波器发散.     

外差干涉仪光路调节方法及对拍频的理解

外差激光干涉仪由于测量精度高,环境适应能力强和实时动态高速测量等特点而广泛应用于机床误差的实时监测中。外差激光干涉仪中,使用平面镜作为转向装置时,接收器上的两束光有可能只是相交而不是重合,这给光路的调节增加了很大的难度。针对这一问题,提出一种辅助光路调节方法,先将光路切换到单频干涉仪,调好光路,再切换到外差干涉仪,利用单频干涉条纹的直观性能可看出外差干涉仪光路调节的好坏。理论分析和实验结果表明,提出的调节方案具有可行性,效果良好,同时通过从单频切换到双频能更深入地理解拍频。     

光量子噪声对激光干涉仪引力波探测器灵敏度的影响

激光干涉仪在引力波发现中起着关键作用,光量子噪声是干涉仪灵敏度进一步提高的主要障碍。详细分析了光量子噪声中霰弹噪声和辐射压力噪声产生的机制和主要特点,讨论了标准量子极限,扼要介绍了信号循环、压缩光场等标准量子极限突破技术。     

通过散射板干涉仪的改型实现非球面的零测试

通过对散射板干涉位的适当改型，利用散射板上高轮点产生的附加程基来补偿球面和非球面之间的光程基，无需任何零光学元件，就可产生一种新型的二次非球面零测试法。本文对这一方法进行了描述、分析和实验。     

简化光路的激光干涉仪及其应用

文中论述了简化光路激光干涉仪的原理,并对该仪器的测试精度和在机械工程中的应用进行了详尽分析。     

一种新型迈克尔逊干涉仪条纹计数器的设计

设计了一种对不同背景光强具有自动适应性的迈克尔逊干涉仪的干涉条纹计数器。利用光敏电阻把干涉条纹的明暗变化转换为电信号的变化,通过对电压波形的分析,提出了一种通过波形电平变化顺序是否符合周期性变化规律的计数方法。实验证明,计数器原理简单,可以适应不同的背景光强,具有精确度高、操作简便可靠等优点。     

钠双线波长差测定的不确定度评定

根据不确定度的有关概念及具体实验教学模型,提出了测量不确定度的简化模式.结合迈克耳孙干涉仪测定钠黄光波长及钠双线波长差的例子,进行了具体分析,给出了其测量不确定度的最终评定.     

钠双线波长差测定的不确定度评定

根据不确定度的有关概念及具体实验教学模型,提出了测量不确定度的简化模式.结合迈克耳孙干涉仪测定钠黄光波长及钠双线波长差的例子,进行了具体分析,给出了其测量不确定度的最终评定.     

共焦球面法布里—珀罗干涉仪的集光能力和分辨率

研究了头焦球面法布里－珀罗（以下简称F－P）干涉仪的集光能力和分辨率，从理论上导出了两者的数学表达式和相互的关系式，并讨论了决定干涉仅集光能力的判据问题，得出了两者搭配的最佳条件。同时用我们研制的干涉仪进行了实验验证。     

镗削加工误差的建模及预报补偿技术

文章介绍了镗削加工误差的在线建模和预报补偿控制方法，微量镗杆设计成双杆结构形式，便于误差的在线检测和补偿。用时间序列分析方法对镗削加工误差进行了分析和建模，建立了相应的AR误差模型，对AR模型的预报方法进行了分析，并得到了镗削加工误差的预报补偿控制模型。用切削实验的方法对所建立的模型进行了验证，实验结果表明误差预报补偿方法能有效提高镗削加工精度。     

双频激光干涉仪在机床检定中的应用

介绍了双频激光干涉仪胡机床检定中检定数控机床位置精度，检定直线度，垂直度和平面度的方法，还介绍了影响测量精度的因素。     

自动安平水准仪的安平误差及补偿误差

从仪器自动安平的基本原理出发，介绍了安平误差、补偿误差产生的主要原因、概念，并介绍了标准规定的试验方法及适合用户采用的试验方法。