纳米级线宽标准样片的设计与制备

介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm～200nm的线宽样片.以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线宽均匀性和稳定性进行了考核.结果表明,标称值50nm～200nm的样片线宽值与设计值...     

基于线距标准样片的扫描电镜校准方法探讨

为解决微电子行业内扫描电镜的计量需求,结合现有扫描电镜的计量技术文件,研究了基于线距标准样片的扫描电镜校准方法.首先,采用半导体工艺研制了用于计量扫描电镜的线距标准样片,并对样片进行了质量参数考核.其次,分析了现有检定规程的局限性,并研究了扫描电镜放大倍数示值误差、重复性、图像线性失真度等参数的实际校准方法.最后,使用...     

质量参数评价在微纳米间距标准样板中的应用

微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保证。通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述,指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用。以SEM作为测量仪器,对不同材料的样板进行了对比度测量;以CD-SEM作为测量仪器,对不同标称间距和不同生产单位的标准样板进行了均匀性、稳定性实验以及测量不确定度分析;通过质量参数评价实验和分析,为微纳米间距标准样板的制作和使用提供重要的理论依据。实验结果表明,质量参数评价在微纳米间距样板作为标准物质使用时具有十分重要的作用。     

标准样片制备的测量数据分析方法研究

文章着重于研究标准样品制备中的测量数据分析技术。通过对标准样片各参数的测量数据进行分析考核处理,从而保证标准样片的重复性、稳定性程度、量值溯源到国家或国际标准的实现程度、特性量值给定程序和不确定度的确定过程等。     

一种数字集成电路标准样片的设计实现

标准样片是实现微电子量值溯源和传递的良好途径,论文着重于通过电路设计实现对数字集成电路参数的模拟,并对标准样片测量不确定度评估展开了相应的研究,用以提升标准样片参数的可编程性和量值的准确性,使之适合用于集成电路测试系统的检定、校准以及比对。最后给出了标准样片的不确定度评定和测量数据。     

微纳米台阶标准的制备和评价

台阶高度是半导体技术中重要的工艺参数,其准确度直接影响器件的整体性能。为了精确控制和表征台阶高度参数,制备了一套8nm～50μm的台阶高度标准进行测量技术研究。首先,通过半导体热氧化工艺、反应离子刻蚀工艺制备台阶标准。其次,基于白光干涉仪评估台阶上下表面平行度、表面粗糙度、均匀性和稳定性四项质量参数。结果表明,台阶上下表面平行度为0.4′～2.7°,标准台阶表面粗糙度为0.46nm～6.5nm,台阶两侧表面粗糙度为0.44nm～0.46nm；均匀性为0.5nm～5.9nm,稳定性为0.2nm～11.2nm。最后,与美国VLSI相同标称高度的台阶标准相比,标称高度50μm的台阶标准表面粗糙度较差,均匀性略好,其余质量参数均相当。     

三维微触觉MEMS传感器测试校准的方法与系统

针对微纳测量领域的需要,设计了一种三维微触觉MEMS传感器.为了标定该传感器的性能参数,提出了以高精度纳米测量机(NMM)为核心的测试校准方法;加工了NMM测头模块;制作了压阻信号调理和采集电路;搭建了测试校准系统.该系统具有移动范围大,精度高,更换方便,易于控制和记录数据等特点.利用它对传感器在Z轴方向的输出作校准,结果证实校准曲线线性良好,传感器在三个方向上耦合很小,其Z方向测量分辨力能够达到30 nm,迟滞性小于±0.05%.     

微电铸中电场均匀性分布与控制方法

微电铸技术用来生产金属微器件,已经成为一种重要的和有效的加工方法.为了获得理想的电铸产品结构,电铸液中电场的分布起到了重要的作用.电铸液中电场的均匀性分布可以提高微电铸的铸层质量和尺寸精度,并能提高电铸微观结构的力学性能.本文基于三电极体系提出了一种新的电场测量方法,并通过改变阳极的形状和位置来提高阴极附近电位分布的均匀性.实验结果表明,采用半圆弧形板作为阳极时,电铸液空间电场分布均匀性和阴极附近电场分布均匀性有明显的提高.因此,在实际应用中半圆弧形阳极可以改善电铸微器件的微观结构,提高铸层表面均匀性.     

无背板生长工艺微电铸均匀性的实验研究

针对基于无背板生长工艺的微电铸模具高度不均匀问题,本文首次采用两种不同的周期换向电流进行了实验研究.两种周期换向电流分别是正负脉冲换向电流和正向脉冲负向连续的换向电流,实验采用在大量正脉冲电流微电铸实验基础上总结出来的工艺参数.实验结果表明,由于负向电流腐蚀铸层表面的微观突起,脉冲间断时间消除微电铸阴极表面的浓差极化,正负脉冲电流获得了较好的微电铸均匀性.     

MA微电流测量仪的研制及应用

本文阐述了高灵敏度的微电流测量仪的测量原理，结构设计及仪器的应用等。仪器测量范围从１ｐＡ￣１９９．９ｍＡ，且可对测量电流进行半微分处理，适用于电分析化学中的微电极研究。     

一种高速汉明距发生器的实现与应用

通过对同步系统中汉明距发生器的关键部分———累加器实现方法的对比论证,给出了一种节省资源、鲁棒性强的高速汉明距发生器的设计方案;通过FPGA进行了设计仿真;给出了该汉明距发生器在同步系统中的应用方法;最终将该设计应用于一种高速卫星帧同步系统中。     

基于电磁补偿天平的微纳力值标准装置的性能研究

采用基于电磁补偿原理的精密天平,研制了一种微纳力值标准装置。通过高等级的标准砝码对天平进行校准,实现标准装置力值的SI溯源,在500 nN~500μN范围的力值测量标准不确定度小于0.7%。该装置用于对原子力显微镜（AFM）微悬臂弹性常数和微小力值传感器的力值提供准确的溯源。采用多自由度位置调整系统调整被测微悬臂或传感器的位置及俯仰角度,提高了定位准确度。对几种不同弹性常数的AFM微悬臂进行测量,测量结果的标准偏差小于1.6%,满足高准确度微小力值测量的要求。     

一种微渗漏参比电极的研制与性能

对于土—水体系化学性质的定位观测来说,由于参比电极的渗漏作用会影响测量,使测定结果产生误差,对于直流电导测量尤为如此。为了减少或消除现有参比电极的渗漏作用,我们开展了微渗漏参比电极的研制。取得的结果是满意的。本文就 LS 型微渗漏参比电极(下称 LS 型电极)的结构、性能与用途作一介绍。     

非接触式水位计校准装置的研制与应用

为解决我国水利行业大量使用的超声波、雷达式等非接触式水位计的测量准确度问题,研制开发出一种非接触式水位计实验室校准装置。通过分析非接触式水位计的测量误差源,介绍非接触式水位计校准装置数据采集与控制、数据测量、升降、人机界面等子系统的设计,并对装置的计量误差进行测试分析,对实现的功能进行阐述。经过应用测试,验证该装置校准精度在1 mm以内,适应波束角15°,能很好地满足非接触式水位计的实验室校准工作,为行业内大量应用的非接触式水位计的校准提供新的手段,为水位测量仪器的数据准确性提供技术保障。     

螺管型电感传感器的研制与应用

最近我们研制成螺管型电感传感器 ,将它安装在点钞机上 ,通过使用反映良好 .     

一种移动式电能监测装置的研制与应用

介绍了移动式电能监测装置的软、硬件组成,并对其功能进行了测试验证。     

申报职称管理信息系统的研制与应用

本文介绍了“申报职称管理信息系统”的技术特点，系统的功能和特点。