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微纳米间距标准样板作为微纳米几何量量值溯源体系中的重要组成部分,是纳米科技发展的基础保证。通过对微纳米间距样板作为标准物质基本要求的论述,指出了对比度、均匀性和稳定性考核在标准样板质量参数评价中的重要作用。以SEM作为测量仪器,对不同材料的样板进行了对比度测量;以CD-SEM作为测量仪器,对不同标称间距和不同生产单位的标准样板进行了均匀性、稳定性实验以及测量不确定度分析;通过质量参数评价实验和分析,为微纳米间距标准样板的制作和使用提供重要的理论依据。实验结果表明,质量参数评价在微纳米间距样板作为标准物质使用时具有十分重要的作用。 相似文献
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介绍了纳米级线宽标准样片的用途及其在校准扫描电子显微镜中存在的问题,设计了具有快速循迹结构的线宽标准样片,采用电子束光刻工艺制作了标称宽度为25nm~200nm的线宽样片.以50nm和200nm线宽为例对样片的线宽偏差、线边缘粗糙度、线宽均匀性和稳定性进行了考核.结果表明,标称值50nm~200nm的样片线宽值与设计值... 相似文献
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为了精确控制线宽尺寸参数,研制了一套周期尺寸为100nm~10μm的线距标准样片。首先,依据样片的应用进行了图形设计,分别采用电子束直写和投影光刻技术开发出线距标准样片,并对制备出的样片进行考核,考核参数包括线距尺寸、均匀性、稳定性。并与VLSI同等量值样片的质量参数进行了对比,以周期尺寸为100nm的样片为例进行表征,研制的样片均匀性为1.8nm,稳定性为0.6nm,VLSI的样片的均匀性为1.5nm;并使用CD-SEM对样片进行了定值,整体不确定度为3.9nm~23nm(k=2)。研制的线距样片不仅包括光栅结构,还包括格栅结构,可以对不同的测试设备进行现场校准。 相似文献
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纳米二氧化硅的制备及表征 总被引:1,自引:0,他引:1
纳米二氧化硅具有奇异的物理、化学特性,它在生命科学与环境科学等领域有着广泛的应用.以水玻璃为原料,采用微乳液法和正丁醇共沸蒸馏法制备纳米级二氧化硅粉体.并通过扫描电镜、红外光谱分析,X射线衍射等手段对制备的纳米二氧化硅进行了表征.表征结果显示:制备的二氧化硅用扫描电镜观察,形态为近似球形,单体颗粒的粒径在几十纳米左右;X射线衍射图显示制备的纳米二氧化硅为无定形纳米二氧化硅. 相似文献
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主要针对目前SOI(Silicon-on-insulator)纳米光波导结构弯曲损耗严重的问题,系统地进行了理论仿真分析,设计出最佳的纳米波导结构,并采用MEMS工艺对其进行加工制备与优化处理。后利用了SEM(扫描电子显微镜)、AFM(原子力显微镜)、透射谱功率法等研究手段精确测试了在高纯氮退火和BOE腐蚀后处理不变的情况下,不同温度热氧化退火处理下的波导侧壁粗糙度和对应的弯曲损耗,结果表明:波导的侧壁粗糙度随退火温度的变化近似呈二次抛物线变化趋势,在900℃附近达到最低值2.1 nm,对应的半径15μm的环形波导的弯曲损耗为(0.0109±0.001)dB/turn,其损耗值与理论分析结果一致。利用这一结论就可以通过选择不同的优化处理条件来减小环形波导的弯曲损耗,从而实现光能量的高效传输。 相似文献
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冰镊是一种借助于针尖与作用对象之间形成的极微小冰晶来实现对物体灵巧操纵的微/纳米操作技术,应用该器件不仅可以实现如拾取、摆放等简单动作,更可以方便地实施如拉伸、旋转等复杂操作,且不受对象的形状、带电与否、重量、材料以及质地等限制,并可与其它机构结合,组成微观意义上的自动化设备.针对冰镊的工作原理,基于相应的流体力学及传热学数学模型,从数值计算角度对微纳米尺度下冰镊的执行过程进行了模拟,在此基础上可望更好地理解冰镊的工作状态及控制过程,从而有助于设计优化新的微/纳米冰镊器件. 相似文献
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本文提出了一种由浸没在液晶中的高折射率BaTi03玻璃(BTG)微球产生的可多维度动态调控的光子纳米射流方案。在外部电压的作用下,液晶分子指向矢发生偏转,导致BTG微球周围介质环境的有效折射率发生变化,进而改变了微球的聚焦特性。研究结果表明,光子纳米射流的数量、聚焦位置和离轴距离可以通过改变施加到液晶的外部电场分布来动态控制,浸泡在电控液晶中的BTG微球可以动态产生一到三个光子纳米射流,包括离轴光子纳米射流。此外,我们还探索和讨论了更复杂电场分布下微球的聚焦特性。本研究结果在光镊子、粒子操纵与非线性光学传感器等方面具有很好的应用前景,为集成光子传感器件的发展开辟新方向。 相似文献
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文章着重于研究标准样品制备中的测量数据分析技术。通过对标准样片各参数的测量数据进行分析考核处理,从而保证标准样片的重复性、稳定性程度、量值溯源到国家或国际标准的实现程度、特性量值给定程序和不确定度的确定过程等。 相似文献
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Y型微管道中磁性纳米液体对混合率的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
利用流动显示手段观测了Y型微管道内含纳米磁性颗粒的液体与去离子水的混合.研究了在Re=0.5~4,磁性颗粒体积分数0.38%-1.54%时,外加静磁场(场强40 Gs)对液体混合地影响.证实了磁场作用可以使完全混合长度大大缩短.同时初步分析了Re和体积分数Ψ对混合长度的影响. 相似文献