磁脉冲压缩开关在钛宝石激光器中的应用分析

首次提出了将磁脉冲压缩开关应用于钛宝石激光器中,由磁脉冲压缩开关和闸流管组合作为放电开关.给出了一种新型的灯泵钛宝石激光器电源放电电路,并对磁脉冲压缩开关应用的原理及在激光器激励电路中的工作过程进行了分析.     

磁脉冲开关在准分子激光器中的应用

本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结果。实验表明，磁脉冲压缩开关有效地压缩电流脉冲宽度，对激励电路中的闸流管起到保护作用。     

磁脉冲开关在准分子激光器中的应用

本文介绍了用于准分子激光器中的磁脉冲压缩开关的原理和结构，分析了磁脉冲压缩开关在激光器激励电路中的工作过程，并且给出了实验结果。实验表明，磁脉冲庄缩开关有效地压缩电流脉冲宽度，对激励电路中的闸流管起到保护作用。     

准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。     

准分子激光器中磁开关的实验研究

根据准分子激光放电要求，分析了准分子激光器中磁脉冲压缩开关的工作过程，并给出了研制的高效率的磁开关的实验结果。     

一种新颖钛宝石激光器电源电路

介绍了一种灯抽运钛宝石激光器电源充放电电路。利用脉冲能量进行变压器升压式充电,用磁脉冲压缩开关替代了传统灯抽运钛宝石激光器电源中的放电开关闸流管,并对整个电路的工作过程进行了分析。     

大功率XeCl准分子激光器放电开关的实验研究

本文报道了一台输出功率大于100W、重复频率达300Hz的XeCl准分子激光器的放电开关系统进行实验结果，比较了激励电路放电开关系统中带磁开关和无磁开关两种情况下闸流管的动态放电参数，证明了带磁开关的开关系统有利于激光器高重复频率工作和大功率输出。     

放电激励XeF（B→X）准分子激光器的高效率运转

在一台Ｘ射线预电离的ＸｅＦ（Ｂ→Ｘ）准分子激光器中，我们应用磁开关隔离的预脉冲－主脉冲放电激励电路和磁脉冲压缩技术，研究了激光输出能量和转换效率对气体组份、总气压、电路参数和延迟时间的依赖关系。     

脉冲升压式准分子激光电源研究

针对光刻用准分子激光器的激励技术,利用拉普拉斯变换方程对脉冲变压器高压充电过程进行了分析,验证了耦合系数于与压缩高压充电时间的重要作用.耦合系数越接近于1,高压充电时间越短.介绍了充电电路与磁开关结合后完成快放电的过程,并提出了一种控制谐振充电的方法.实现了对高压电容50μs内的快充电.     

脉冲气体激光器磁压缩放电电路的仿真

为了降低用于脉冲气体激光器的全固态磁压缩放电电路的放电延时抖动,采用PSPICE软件对全固态磁压缩激励电路进行仿真分析,完成了对充电、磁开关复位以及整个放电过程的初步模拟。模拟结果显示,初始储能电容电压1V的波动会引起放电时间5ns~10ns的抖动,抖动时间随着充电电压的升高而降低;通过采用特制的两级耦合复位回路来降低放电延时抖动,该复位电路可将放电抖动从微秒量级降低到纳秒量级。结果表明,降低抖动的关键因素在于充电过程中高频交流纹波经复位电路耦合将磁芯复位到一稳定状态,使磁开关、可饱和脉冲变压器的工作状态更加稳定。建立的仿真模型,对低放电抖动的脉冲放电激励电路设计可提供参考。     

Simulink仿真指导放电准分子激光长脉宽的实验探究

针对医疗用308 nm准分子激光器长脉宽的实际需求,提出Simulink仿真模型指导延长激光脉宽的方案,并进行实验研究。首先建立并验证了典型准分子激光器放电激励回路仿真模型的有效性,其次基于脉冲形成网络原理建立4级LC峰化回路的放电激励模型,并进行了具体的激光器结构设计和参数选择。对一台储能电容为60 nF,工作电压范围在20~29 kV的308 nm准分子激光器进行实验,通过改变激励回路的结构和参数,激光脉宽由30 ns延长到60 ns,且当储能电容电压值为28 kV时,输出能量达407 mJ,激光脉冲能量的转移效率由典型结构的1.531%提高至1.73%,实现了放电激励308 nm准分子激光长脉冲输出条件下的高能量转移率,验证了Simulink仿真模型的有效性和指导意义,为实用化长脉宽准分子激光的设计和应用提供基础。     

准分子激光放电回路的研究

对高压放电泵浦的准分子激光放电回路进行了探讨。运用等效电路方法，给出了准分子激光工作气体在击穿放电前后的电路变化规律，同时分析了能量转移效率与回路参数之间的关系，这为设计高效率和稳定可靠的准分子放电回路提供了理论上的参考依据。     

双腔准分子激光器脉冲充电电源的研究

为了满足工业用振荡-放大双腔结构的准分子激光器放电激励技术的要求,设计了高重频高精度的脉冲充电电源.该电源采用LC谐振倍压的方式,同时为双腔准分子激光器的充电电容器进行充电,倍压比为1.87.通过对电源工作时序的调节,实现千赫兹高重频放电激励,在电源输出电压约为1300V时,充电电压精度为0.18%.结果表明,通过充电电压精度控制单元,对充电电压反馈调节,可以实现充电电压的高精度.     

大功率准分子激光器放电激励电路

本文通过对一台１００Ｗ ＸｅＣｌ准分子激光器的实验研究，给出了一种实用的大功率准分子激光器的放电激励电路。     

高同步双束XeCl准分子激光器的脉冲加宽

我们利用一台新颖的双通道准分子激光器,在两组主放电电容上分别连接两组LC脉冲形成线.两组电容器用一个公共火花隙控制对相应的通道放电.获得了脉冲宽度达60ns,高同步(抖动时间≤±4ns的XeCl准分子激光输出.每束激光的能量达120mJ.     

在XeCl放电激光器中的回路电感效应

本文研究了电子雪崩放电XeCl准分子激光器放电回路电感对放电特性与激光脉冲输出能量的影响。     

UV pre-ionized wide-aperture XeCl laser using magnetic pulsecompression

To provide a spatially homogeneous and sufficiently high-voltage discharge, the laser described here used LC inversion and two-stage magnetic pulse compression in the excitation circuit and used UV radiation for pre-ionization. It also employed one commercial thyratron as a high-voltage switch. Evaluation of the dynamic magnetic characteristics of four magnetic materials in a magnetic pulse compression circuit showed that the Fe-based nanocrystalline soft magnetic alloy was the best core material for a compact switch with low core loss. At a 10 Hz repetition rate the maximum output energy obtained in a 80×60 nm discharge cross section and in 70 ns pulses (FWHM) was 6.2 J