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正IBM日前宣布了能够支持22 nm制程的全套半导体光刻制造工艺解决方案,能够在继续使用当前光刻技术的前提下,满足今起直至2012年前后半导体工业对制程进化的工艺需求。IBM的新技术为"运算微缩"(Computation Scaling,CS)技术,能够在不提升光刻激光波长的前提下提升制程。IBM半导体研发中心副总裁Gary Patton认为,传统的微缩投影技术过于依赖设备的光学分辨率,而"运算微缩"技术则 相似文献
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《电子工业专用设备》2004,33(5):51-52
晶圆双雄0.13μm以下工艺产出量持续提高,IBM微电子事业部晶圆代工部门在0.13μm以下工艺量产进度却无法满足客户需求,近期IBM积极与新加坡特许半导体共同开发90nm以下工艺平台,并以联合次要竞争者,打击主要对手的策略锁定亚太高阶工艺市场,力抗台积电、联电晶圆双雄在深次微米快速扩张。 相似文献
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尽管全球半导体业何时复苏仍未明朗,IBM还是在最近向外界宣布启用其耗资巨大的芯片制造工厂,厂房位于纽约北部,距曼哈顿区约60英里,占地14,000平方米,计划投入资金将超过25亿美元,是IBM有史以来最大的单项投资项目。该Foundry将首先用于300mm晶圆(wafer)的生产,预计将在明年达到量产。在此之前,intel和SamSung等已经生产300mm晶圆,采用0.13mm工艺,而IBM只是生产200mm晶圆。因此业界认为IBM此举是不甘落后,争取技术领先的重大举措。IBM新启动的工厂据认为是一家全自动化的Foundry,将首次采用0.1mm以下的先进工艺批量生… 相似文献
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回顾了自1988年以来的逐次积层(SBU)层压基板的发展过程。文中报告了IBM自2000年采用的这种工艺的开发过程。这些层压基板是一种非均匀性结构,有3部分组成:芯板,积层和表面层,每一部分都是为满足封装应用的需求而开发。薄膜工艺极大提高了SBU层压基板的绕线能力,同时也使得这种工艺非常适合高性能设计。本文着重阐述了IBM在将该工艺用于ASIC和微处理器封装时,在设计、制造和可靠性测试等各个阶段所遇到的挑战。 相似文献
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在2004年秋季微处理器论坛上,IBM系统暨科技部所辖技术部首席技术专家和副总裁BernieMeyerson博士做了题为“创新驱动未来”的主题演讲。Meyerson博士指出:创新已成为工艺换代中性能提升的决定性因素。自1990年推出Power架构技术以来,经过十几年来的不断创新,IBM推出一系列基于 相似文献
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据美国科技媒体报道,IBM计划在今年12月份在美国华盛顿举办的国际电子器件会议上,介绍其采用CMOS兼容工艺制造的2 GHz石墨烯实验型射频集成电路。乔治亚大学纳米研究中心的教授James D.Meindl称CMOS工艺线宽在到达7 nm时将无以为继,而石墨烯工艺将是下一代集成电路制造方法的首 相似文献
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化学机械抛光(CMP)工艺由IBM于1984年引入集成电路制造工业,并首先用在后道工艺的金属间绝缘介质(IMD)的平坦化,然后通过设备和工艺的改进用于钨(W)的 相似文献