四极质谱计校准和应用研究系统

为了满足对四极质谱计定量分析的需求,建立了一台四极质谱计校准与应用研究系统。该系统可用于四极质谱计分压强灵敏度及图样系数的校准和四极质谱计稳定性的研究,并可用作演示系统。为实现在各种应用条件下的分析应用,本系统采用四种进样系统,把四极质谱分析器与被测系统连接起来,即超高真空条件下直接进样、10~(-2)～10~2Pa压强分析时的分子流动态进样、高压强下直到大气压的毛细管进样以及微量气体分析时的静态或准静态进样系统。     

LZL-203型四极质谱计的相对灵敏度系数和图型系数

ＬＺＬ－２０３型四极质谱计是一种结构紧凑牢靠、参数固定、按键操作、性能稳定的小型四极质谱 计，除了能定量指示真空系统的总压强外，还适宜定量地分析真空系统内的残余气体。为此，我们考察 了仪器对质量范围内的主要几种气体的相对灵敏度系数和图型系数。     

四极质谱计的标准气体校准

随着四极质谱计的广泛应用,人们对四极质谱计定最测最的要求日益迫切。但是,由于这种仪器质量歧视效应比较显著,边缘场、污染对离子谱和灵敏度影响比较大,这就给四极质谱计定量分析带来很大困难。尤其在真空测量中,为了进行分压强测量,不仅需要制定各种气体的离子谱,而且还必需对质谱计进行各种气体的灵敏度的绝对校准。     

四极质谱计的碎片离子图形系数

一、引言目前,四极质谱计已广泛地用于真空系统内残余气体分析。原则上,任何一种已校准的质谱计都能用来进行真空系统内气体组分的定量分析。这种校准通常包括两个方面:图形系数和灵敏度的校准。关键的问题是要取得图形系数的好的重复性。到目前为止,有关用四极质谱计作定量分析的报道是不多的,有关图形系数重现性的报道更为少见。根据工作原理和结构,四极质谱计的质量岐视比其它质谱计,如回旋质谱计、磁偏转质谱计更为严重。因此,四极质谱计的图形系数是和其它质谱计不同的。造成图形系数变化的原因除了离子源工作条件外,主要是边缘场和分析场的质量岐视。     

四极质谱计在高能加速器中的应用研究

介绍四极质谱计在高能加速器中的一般用途和用国产ＺＰ—４００１型分压强计对高真空系统残余气体分析真空检漏，以及观察溅射离子泵的一些工作特性，给出了几种典型的超高真空残余气体谱和用 ＺＰ—４００１检漏的方法。     

四极质谱气体定量分析方法中的系统误差处理

一、关于混昆合气体百分含量的四极质谱定量分析方法常见气体的四极质谱定量分析,应分为残余气体分压强定量测定和高压强气体百分含量定量分析这两个应用范围。因为它们都涉及到较多的系统误差,一般难以达到分析     

四极质谱在漂移管直线加速器上的应用

真空检漏是漂移管直线加速器(DTL)获得高真空的重要技术。四极质谱计是分析真空系统内残余气体成分的重要工具,同时也可作为一种检漏手段。本文利用氦质谱检漏仪和四极质谱计两种手段对DTL1~#腔进行检漏。当对12~#漂移管的线圈加电时,腔体内的真空度、漏率和残余气体成分都发生了变化,并且水的谱峰增加最显著,所以判断12#漂移管出现了问题。通过恰当的处理,使腔体很快获得了10~(-6)Pa的高真空,满足了直线加速器对真空系统的要求。     

四极质谱计在超导托卡马克装置上的应用

四极质谱计广泛用于托卡马克装置上,用来监测聚变装置的真空品质,为真空系统的状态提供判断依据。本文介绍了四极质谱计在全超导非圆截面托卡马克装置(EAST)上的多种应用,为聚变装置的第一壁处理和聚变过程中多种残余气体成分含量变化提供数据。实验证明四极质谱计是EAST装置真空系统运行、等离子体与器壁相互作用研究过程中一种较为基础的测量工具。     

一种四极质谱残余气体分析的实用方法

高真空系统残气分析对提高电真空器件的性能、质量和寿命具有重要作用。四极质 谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱计与微机联用是必然的趋势。四极质谱定性分 析是定量分析的基础。绝对灵敏度常数法和相对灵敏度常数法可以通过四极质谱计的灵 敏度定义相互联系起来。以相对灵敏度常数法为基础，将四极质谱计与电离真空计结合 起来，进行分压强和总压强测定的方案具有很高的灵敏度，能得到更好的重复性。     

TRIZ理论在真空热处理测量装置研究中的应用

在真空热处理测量装置中,传统的四极质谱计由于结构缺陷存在残余气体检测不充分的问题,而标准真空计和被校真空计之间使用的T型三通同样由于结构问题存在真空度检测效率低的问题,导致大容量真空炉的真空度和残余气体测不准。文章从TRIZ理论方法的角度出发,对传统的四极质谱计结构进行不对称式优化,将T型三通变为球面结构并作加热和气压控制改进,优化和改进提高了真空热处理测量装置的工作效率。     

LZL-203型四极质谱计的结构特点和性能

LZL-203型四极质谱计是北京分析仪器厂最近研制成功(82年7月通过鉴定)的一种小型,多功能,操作简便,价格低廉的仪器,主要用于真空、电子、核物理等领域的科研实验室和工业生产部门,对压强低于1×10-4托的真空系统进行残余气体分析,(总)压强测量和检漏,是研究真空过程,获得清洁真空,保证产品质量的重要监测工具。 一、仪器结构 1.总机 LZL-203型四极质谱计由四极探头和电气部件两大部分组成。四极探头包括离子源、四极分析器和接收器等三个主要部分,由一个外径φ78mm的法兰支承,构成一整体结构。此法兰既作为与被测真空系统相联结的法兰,又…     

SZn-1型四极质谱计

四极质谱计又称四极滤质器,它的质量分离方法是基于不同质荷比的离子运动轨迹的稳定性不同,因此属于轨迹稳定式动态质谱计。 由于四极质谱计采用纯电场的分析机理,不需要磁场,因此没有磁铁。它具有体积小、重量轻和性能好的优点,自1953年问世以来,成为世界上发展最快、使用最广的一种小型动态质谱计。在国内,南京工学院曾在59至62年期间,对它进行了研制工作,制成了真空系统残余气体分压强测量的实验设备和检漏仪。北京分析仪器厂在64年制成了ZhL—01四极质谱计产品。 为了满足我国科学技术发展的需要,目前国内正在从事四极质谱计,包括它的…     

SJX-四极质谱计的轻质量测量

一、引言四极质谱计具有分辨本领高、灵敏度高、快速测量和操作方便等特点,因此它在真空测量中得到广泛应用。尤其在近几年中,为了满足超高真空测量的要求,出现了一批小尺寸探头的四极质谱计。这些四极杆长一般都小于10厘米,并把探头作成裸规型式,便于真空的原位置测量。     

NQG-100型真空分析测量仪在南京通过鉴定

南京工学院与南京分析仪器厂共同研制的NQG-100型真空分析测量仪于1985年2月9日在南京正式通过科研成果鉴定。 NQG-100型真空分析测量仪是一种小型四极质谱计和超高真空相结合的复合测量仪器。它既能分析气体成分,又能精确地测量其总压强,能满足电子工业、集成电路制造、冶金、化工、医学、农业、核能利用、航天等领域中的质谱分析的需要。在研制过程中,改革了传统的制造工艺,大大降低了造价(仅为国外同类仪器价格的     

超高真空下剩余气体分析的实验

本文叙述在钛溅射离子泵超高真空系统上利用小型180°磁质谱计(Zh-3型)所做的剩余气体分析的实验。系统采用全金属密封、带冷阱的机械泵预抽,通过有机溶剂的清洗和氮气辉光放电以及中温烘烤等处理获得超高真空。对系统的各压强下的气体成分以及B-A规的影响作了分析。根据实验结果,讨论了剩余气体成分对获得超高真空等影响。     

四极质谱计在真空检漏中的应用

介绍了使用四极质谱计进行真空检漏的原理和方法,分别对超高和极高真空系统做了检漏实验研究，并取到了满意的结果。四极质谱计检漏有检漏仪检漏无法比拟的优点，适合在真空工程中推广应用。     

四极质谱计图形系数换算图

为了便于使用四极质谱计分析真空系统中的残余气体,我们制做了图形系数换算器。其中,真空泵油,六氟化硫等12种是我们采用国产四极质谱计SJX—l和ZP-4001,在以溅射离子泵为主泵的真空系统上测试的结果。并参考了国内外的有关数据。此图给出的真空泵油图形系数是真空系统受泵油一     

四极质谱计定量分析的研究

一般认为，用作真空残气分析的四极质谱计是很难进行定量分析的。通过对四极质谱计测量过程的理论分析，指出了用四极质谱计获得可靠的定量结果的条件及由此产生的分析方法和限制因素。重点分析了四极质谱计的稳定性、线性、灵敏度、分辨本领。同时指出了实现四极质谱计定量分析可能的努力方向。     

分流法真空漏孔校准装置不确定度的评定

分流法校准真空漏孔是通过四极质谱计比较气体流量计分流后的实用标准气体流量与被校真空标准漏孔产生的离子流获得校准值。主要介绍了分流法真空漏孔的校准方法、装置原理,对不确定度进行了分析,从气体流量计、分流比、四极质谱计等方面对真空漏孔校准装置的不确定度进行评定,提高了校准装置校准的可靠性。     

四极质谱计的计量特性研究

四极质谱计是一种分压力测量仪器,可广泛应用于残余气体分析和真空流量的测量,其计量特性需要深入研究.用N2、Ar、He 3种气体作为实验气体,对4台应用范围较广、具有一定代表性的商用四极质谱计的线性、长期稳定性、短期稳定性、离子源参量及使用历史对灵敏度的影响等性能进行了实验研究,并分析了它们各自的计量特性与特点,其结论对四极质谱计的应用具有重要的参考价值.