高亮度紫外准分子激光器

短波长稀有气体卤化物准分子激光系统的峰值功率迄今远低于固体激光系统，但由于准分子激光短波长和气体介质光学畸变较少，被认为是产生高强度（Ｉ≥１０＾２０Ｗ／ｃｍ＾２）激光的最佳侯选者。当短波长聚焦光学系统经过改进，且提高准分子激光的提取效率后，以上目标更容易达到，本文介绍一些新技术，包括空间包络调制脉冲放大、非轴向放大和相干多角路放大，且报道一些获得桌面高亮度准分子系统的考虑。     

全固态激光系统可替代准分子激光器

可调谐激光源已成为包括光化学、光谱学和激光遥感在内许多重要激光研究领域中不可或缺的器件。从 70年代中期起 ,Nd∶YAG激光抽运染料激光器就是世界各实验室的常用器件。 Ti∶宝石激光器和光参量振荡器等可调谐激光系统的出现带来了前所未有的性能和可靠性。但可以预见 ,对于需要高光谱亮度 (窄带宽 )的应用 ,其商业化进程将很慢 ,这在很大程度上是因为这些系统的大小和复杂性。Positive Light公司采用斯坦福大学的专利许可 ,开发了新一代紧凑的可调谐固体激光器 ,将满足窄带宽、大范围可调谐系统的需求。它正在汽车、航空和工业场合及…     

磁约束放电激励的XeCl准分子激光器

本文对激光激励的一种新技术—磁约束放电激励技术在XeCl准分子激光器中的应用进行了实验研究。并分析比较了以Ar或He为缓冲气体时磁约束放电激励对XeCl准分子激光输出的影响。     

准分子激光的应用

本文介绍了准分子激光器的基本类型、主要应用领域及其与材料相互作用的机理。对准分子激光在电子工业、生物医学和材料加工方面的一些重要应用做了比较详细的论述。     

准分子激光20年

本文简要地评述了准分子激光问世２０年来的研究、发展与应用概况，并指出准分子激光的发展前景。     

带磁开关的冲击-自持脉冲放电技术及其应用

本文通过对带磁开关的冲击-自持脉冲放电电路放电过程的分析,指出了该电路在激发准分子激光时的优点,在考虑准分子激光形成过程特点的基础上,进一步指出了利用该电路有利于制成高效率、高功率、长脉冲准分子激光器件.     

近期光刻用ArF准分子激光技术发展

193 nm ArF准分子激光光刻技术已广泛应用于90 nm以下节点半导体量产。ArF浸没式也已进入45 nm节点量产阶段。双图形光刻（DPL）技术被业界认为是下一代光刻32 nm节点最具竞争力的技术。利用双图形技术达到32 nm及以下节点已经被诸多设备制造商写入自己的技术发展线路。Cymer公司和Gigaphoton公司为双图形光刻开发了高输出功率、高能量稳定性和具有稳定的窄谱线宽度ArF准分子光源。分析了近期发展用于改进准分子激光性能的关键技术：主振-功率再生放大(MOPRA)结构、主振-功率振荡(MOPO)结构,主动光谱带宽稳定技术,先进的气体管理技术。对光刻用准分子激光光源技术发展趋势进行了简要的讨论。     

准分子激光对钛搪瓷打标的研究

用308nm准分子激光对钛搪瓷进行了打标实验,在适当的功率密度下,获得了精细可见的标记.该能量密度远低于红外激光对陶瓷类材料打标的能量密度,也比基于汽化刻蚀原理用紫外激光对陶瓷材料打标的能量密度低得多.通过实验得出了打标的阈值和优选参数,对准分子激光作用变色的机理进行了分析.     

准分子激光刻蚀可变焦光路设计研究

为了研究在准分子激光刻蚀聚合物的过程中避免经常往复更换不同大小而形状相同的掩模的实验操作,保证实验的连续性和结果的真实性和可靠性,在实验的加工系统中基于变焦距系统的原理采用引入一个变焦物镜代替原来系统中普通物镜的方法,取得了一个准分子激光刻蚀可变焦光路系统.采用ZEMAX软件设计一个可变焦物镜镜头并分析了它的成像质量.经过ZEMAX软件的模拟,结果表明,此变焦镜头成像质量基本达到要求,缩小倍率在0.15～0.24范围内可连续变化.因此,使用这个变焦物镜,在同样的实验条件下,可以采用同一片掩模而不再往复更换掩模就可蚀刻出大小不同的结构;同时由于不再经常需要中断实验过程,保证了实验结果的真实性.该技术在激光蚀刻中有很大的可行性.     

准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位研究

为了解决高重复率下准分子激光电源磁脉冲压缩开关的磁芯复位问题,以理论分析为指导,结合磁开关工作特性,设计了一种磁芯精确复位电路,该电路可快速精确复位饱和后的磁开关。将此复位系统应用于准分子激光器脉冲电源测试其性能,复位电流在磁开关饱和后200μs内平息振荡。结果表明,这一磁芯复位系统可满足4kHz重复率下脉冲电源的复位要求。此研究对今后高重复率准分子激光电源的设计是有帮助的。     

准分子激光放电回路的研究

对高压放电泵浦的准分子激光放电回路进行了探讨。运用等效电路方法，给出了准分子激光工作气体在击穿放电前后的电路变化规律，同时分析了能量转移效率与回路参数之间的关系，这为设计高效率和稳定可靠的准分子放电回路提供了理论上的参考依据。     

准分子激光的材料表面改性

本文对准分子激光表面改性工程的研究进展进行了综合评述。着重评述了准分子激光重熔、合金化及其沉积。最后指出其发展趋势。     

准分子激光屈光矫正系统及实验研究

以飞点扫描切削模式为基础,研制小光斑飞点扫描准分子激光角膜屈光矫正系统。利用此扫描系统做了PMMA板和角膜对比实验以及动物和盲眼实验。实验结果表明,该矫正系统具有治疗时间短、矫正精度高、角膜切削表面光滑,易于集成波前像差技术实现“个体化切削”方案等优点,具有较好的临床应用前景。     

准分子激光切削角膜与飞点扫描算法的研究

为提高准分子激光屈光矫正手术的精确性和安全性,建立了单纯近视和复性近视散光、单纯远视和复性远视散光的角膜切削量模型,并在此模型基础上给出了准分子激光切削角膜的叠加“飞点扫描”算法,该模型和算法用于临床指导眼屈光手术。根据术后的跟踪调查,89只眼睛(88只近视和复性近视散光眼,1只复性远视散光眼)在手术后球镜镜度、柱镜镜度减退了,裸眼视力也明显提高了,术后80.7%的眼睛裸眼视力≥0.8。调查结果表明,该模型和算法具有很高的精确性和安全性,手术效果令人满意。     

大功率准分子激光器放电激励电路

本文通过对一台１００Ｗ ＸｅＣｌ准分子激光器的实验研究，给出了一种实用的大功率准分子激光器的放电激励电路。