离子注入工艺的经济意义

离子注入工艺应用于制备半导体器件的优越性及其巨大的经济意义已是众所周知的了。近几年来,英、美等先进国家又将这一工艺技术扩展应用到金属和其他材料方面。特别是在1978年匈牙利召开的第一届离子束材料改性国际会议上(IBMM)普遍认为用离子束工艺能进一步改进金属和其他材料表面的抗磨损性能和抗氧化腐蚀性能。英国哈威尔原子能研究所G.Dearnaley等宣布:经他们研究小组七年的努力,已经成功地用离子注入工艺处理了某些工业用的工件和     

离子注入在金属材料中的应用及分析

在真空系统中利用加速器把电离的阳离子加速后,打入金属材料的表层内,以改变材料表面的物理化学性能的离子注入新技术,在材料科学研究中具有广阔的前途。国际上对金属表面离子注入的研究十分活跃,连续召开过“离子束材料改性”及“离子束分析”国际学术会议。离子注入的优点在于对任何元素的离子都可以利用注入技术,不受合金系统平衡相图的限制;可以获得其它常规方法无法制备的新型合金;注入层与基体材料之间无界面存在;注入后金属表面的光洁度和尺寸精度不变;注入的能量和剂量可以精确控制。离子注入使材料表面改性,包括化学改性,物理     

新金属材料(三) 第三讲 离子注入在金属中的应用

一、离子注入技术的发展概况及特点离子注入是在高真空下以一定的能量将离子注入材料表面,用以改变材料性质的一种技术。六十年代,离子注入广泛用于半导体材料的掺杂及半导体元件的制作。到了七十年代,人们将离子注入用于金属材料表面改性,使其得到了新的发展。十多年来,国外     

离子束金属材料表面改性技术

本文综述了国内外离子束金属材料表面改性技术的研究概况,叙述了离子镀、离子注入、离子束混合、离子束增强沉积和等离子体浸没离子注入等表面技术的特点和应用.     

离子束金属材料表面改性技术

本文综述了国内外离子束金属材料表面改性技术的研究概况,叙述了离子镀,离子注入,离子束混合,离子束增强沉积和等离子体浸没离子注入等表面技术的特点和应用。     

离子束表面复合改性技术及其在汽轮机叶片上的应用研究

该项成果属于“九五“国家重点科技攻关成果。离子束表面复合改性技术是一种将物理气相沉积（PVD）和离子注入技术交叉复合的一种全新的表面强化技术,它通过离子注入技术制备一个具有与基体高度混合界面的过渡层,然后在不破坏真空条件下继续生长沉积增强涂层。与溅射沉积、蒸发镀膜、喷涂、电镀、激光表面涂敷等技术相比,该技术制备的改性层结合力更强,其耐磨耐蚀作用更明显。该成果所研制的离子束表面复合改性设备具有表面预处理、沉积和离子注入三大功能。1.该设备有一套离子束清洗系统,强流达到400mA,能量达到1500V,能满足大面…     

行业

中通协将召开六届二次会员代表大会 为进—步贯彻落实十八届三中全会、中央经济工作会议和两会精神,交流研讨行业发展形势,促进行业转型升级、创新发展,中国通用机械行业协会决定于2014年4月25—27日在山东省淄博市淄博齐盛国际宾馆召开“第六届会员代表大会第二次会议暨第六届理事会第三次会议（扩大）”。     

把脉市场牵引契机 推进产业跨越发展——“2015中国半导体市场年会暨第四届中国集成电路产业创新大会”(IC Market China2015)召开在即

2015年3月26日,“2015年中国半导体市场年会暨第四届中国集成电路产业创新大会”将在中国集成电路产业新发展极、“大湖名城,创新高地”合肥市天鹅湖大酒店召开。本次年会由中国半导体行业协会、中国电子信息产业发展研究院(赛迪集团)与合肥市人民政府主办,赛迪顾问股份有限公司、合肥市发展和改革委员会、合肥高新技术产业开发区管委及中国电子报共同承办,将以“把脉市场牵引契机,推进产业跨越发展”为主题,聚焦移动互联与半导体应用创新、     

SIMS在集成电路研制过程中的应用

在集成电路中根据VLSI和VHSIC发展的需要,在制造更小几何尺寸的超大规模集成电路和更快速度的超高速集成电路的过程中已经产生了一系列全新的问题,而研究这些问题就要用表面分析技术。扫描俄歇电子谱能达到表面分析所需要的高空间分辨率,但在多元素的深度分析时就要由高灵敏度的SIMS来补充,因为在半导体材料制备和处理过程中有意掺杂原子和污染原子的浓度为10~(18)—10~(20)atoms/cm~3。而除SIMS外,其它分析技术如AES、XPS等不能测量如此大动态范围的元素深度分布。如果可用来分析的面积大约为250×250μm~2,那么在做硅中硼、砷、磷的深度分析时可测到硅中硼、砷、磷的范围为10~(14)～10~(20)atoms/cm~3。如若使用Cs~+和O_2~+一次离子束缓慢地进行深度剖析也可以精细地描绘出离子注入及分子束外延表面附近的结构。我们在分析离子注入和分子束外延材料以及GaAs集成电路时加以说明。     

离子束混合处理后钢的磨损行为

一、引言近几年来,离子注入技术在金属方面的研究和应用越来越引起人们的重视。但是金属材料的研究要求注入剂量高(一般在10~(17)离子/平方厘米以上),要求注入的离子种类多,这样对离子注入机的发展提出了新的要求。(即注入机束流强、离子源能引出的离子种类多等)。目前欧美等国正在不断解决这一课题,制造束流强(毫安级)、能注入离子种类多的离子注入机。除此之外,还在探索一种新的离子束工艺,以代替直接将所需离子注入金属内的离子注入工艺。这种工艺     

机电信息

第一届国际机械工程高等教育国际会议将召开为了在新世纪进一步推动我国机械工程教育的发展,加强在高等教育研究方面的国际合作和学术交流,由国家教育部高等教育司、中国工程院教育委员会、中国机械工业教育协会主办,清华大学等20多所院校协办,湖南大学承办的“第一届国际机械工程高等教育国际会议”将于2001年10月22日至24日在长沙召开。会议受到了国家教育和科技主管部门、国内外机械工程领域一流的教育家、科学家和企业家的高度重视,是一次水平高、影响大的高等教育国际学术会议。会议详情和最新通知请访问会议专用主页：www.icheme…     

2006年亚太地区断裂与强度学术会议（APCFS’06）邀请函

主办单位:中国机械工程学会协办单位:日本机械工程师学会韩国机械工程师学会合作媒体:《机械工程材料》杂志2006年11月22-25日中国海南省三亚市我们代表中国机械工程学会,衷心地邀请你们参加2006年11月22-25日在中国海南省三亚市举办的“亚太地区断裂与强度会议”。这是继1999年以来在中国第二次举办该领域科技人员、专家和教授聚集的盛会,也是继1984年由中、日、韩三国机械工程学会共同发起召开第一届会议(在日本仙台召开)以来的第十届会议了。会议的学术层次逐届提高,会议的影响逐届扩大,会议交流的内容也逐届扩展,先进材料与检测等亦成为交流     

消息

由中国齿轮螺纹花键机床用户协会主办的“第一届全国齿轮精锻热处理测量技术会议”、“浙江省民营机械制造业发展战略研讨会”于 2 0 0 1年 9月 2 4日至 2 7日在浙江省宁波市召开。国内外锻压机械、热处理炉、精密仪器、机床制造厂商 ,全国齿轮制造骨干厂、浙江省民营机械制造企业等约四十个单位六十余名代表参加了会议。会议作了“我国齿轮精锻热处理测量技术的现状与发展”和“2 1世纪初的机械制造业与浙江民营企业”两篇主题报告。并决定2 0 0 2年 9月中旬在大连召开“第四届中国国际齿轮制造技术与装备会议”。会议将由中国齿轮螺纹花键…     

离子束增强沉积薄膜的摩擦磨损行为与结构分析

采用离子束增强沉积（IBED）技术在不锈钢1Cr18Ni9Ti衬底表面生长氮化钛薄膜以及氮离子注入,进行了干滑动摩擦磨损试验与组织结构电镜分析,表明增强沉积膜较离子注入具有更高耐磨性能。     

“陶瓷材料的变形”论文集简介

本卷“陶瓷材料的变形(?)”是1983年7月20～22日在美国宾夕法尼亚州立大学召开的国际会议的会议文集,本文集包括与陶瓷材料密切相关的半导体和矿物的研究。陶瓷材料的变形这一命题的最初会议是1974年在加州召开的,当时出版的会议文集命名为“陶瓷材料的变形.”会议的重点是晶体、多晶体以及多相陶瓷的变形特性。有几篇关于空穴成核和蠕变裂纹扩展的文章,代表了自第一次会议以来陶瓷研究的主要新动向。现对该文集的内容作以下简介:     

第5届海内外青年设计与制造科学会议征文

了进一步推动制造科学研究的发展 ,加强设计制造科学领域海内外学者学术交流与合作 ,检查和展示机械学科国家自然科学基金项目的进展 ,“第 5届海内外青年设计与制造科学会议’拟于 2 0 0 2年 7月 10～12日在大连理工大学召开。这次会议是 2 0 0 0年在杭州召开的“第四届海内外青年设计与制造科学会议”暨“第四届吴贤铭制造科学会议”的延续。大会期间将展示国家自然科学基金机械学科资助项目的研究进展和成果 ,并邀请海内外著名科学家和企业家到会指导。主办单位 :国家自然科学基金委员会 (中国 )吴贤铭基金会 (美国 )中国机械工程学会 (…     

简讯

华东五省化工设备管理协作年会在无锡市召开华东五省(浙、赣、皖、闽、苏)化工设备管理协作年会第五届会议于1994年11月16～19日在江苏无锡市召开.会议交流了加强化工企业“无泄漏工厂”的创建和巩固等方面的经验.     

压力容器技术在交流中得到发展

1984年9月在美国旧金山召开的国际第五届压力容器会议的开幕式上,英国核研究所所长,第四届国际压力容器会议主席Nichols博士为纪念Rob Wylie作了题为“压力容器技术在交流中得到发展”的综述报告。报告共分九部分:     

中国机械工程学会第一届全国粉末冶金学术会议

中国机械工程学会和北京市机械工程学会于1962年11月27日到12月2日在北京联合召开了第一届全国粉末冶金学术会议,热烈讨论粉末冶金在我国的应用、发展和目前存在的问题。会议中,材料研究所仲文治工程师作了“国外粉末冶金工业现状及若干进展”的报告;中南矿冶学院黄培云教授作了有关烧结理论方面的“温度对烧结的影响”专题报告;两个报告均引起了与会者的极大兴趣。     

发展协会工作 加强设备管理

各位理事、各位代表、同志们: 中国设备管理协会第二届年会是在全国人民胜利完成“六五”计划,以新的改革步伐跨入“七五”计划第一年的大好形势下召开的。这次年会与第二次全国设备管理维修工作座谈会同时召开,是为了更好地实现“七五”计划提出的目标,进一步改进和加强设备管理工作的重要会议。