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相似文献
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1.
采用反应磁控共溅射的方法,通过改变Cr靶溅射功率,在不锈钢基体上沉积不同Cr含量TiAlcrN薄膜.采用原子力显微镜(AFM)观察薄膜表面形貌;采用动电位极化试验研究薄膜的电化学腐蚀行为.结果表明:沉积的TiAlCrN薄膜表面平整、光滑、致密,无孔洞和突起等缺陷,晶粒细小,粗糙度低;TiAlcrN薄膜的抗腐蚀性好于不锈钢和TiAlN薄膜,且随Cr含量增加而增强.Cr含量为25.5%(原子分数)试样成膜质量最好,其抗腐蚀性约为不锈钢的15.0倍,约为TiAlN薄膜的7.7倍.  相似文献   

2.
脉冲真空弧源沉积类金刚石薄膜耐磨特性研究   总被引:1,自引:1,他引:1  
本文利用脉冲真空弧源沉积技术在Cr17Ni14Cu4不锈钢和Si(100)基体上制备了类金刚石(DLC)薄膜,研究在不同基体偏压下,DLC薄膜的结构与性能.采用拉曼光谱和X射线光电子能谱(XPS)研究DLC薄膜的原子结合状态,利用CSEM销盘摩擦磨损试验机研究其耐磨性,利用HXD1000B显微硬度仪测试其显微硬度,并采用压痕法评价其结合力.研究结果表明:DLC薄膜与基体结合牢固.随着基体偏压的提高,DLC薄膜内sp3键含量增大,薄膜硬度提高.Cr17Ni14Cu4不锈钢表面沉积DLC薄膜后,耐磨性大幅度提高,本文探讨了DLC薄膜的耐磨机理.  相似文献   

3.
类金刚石薄膜的表面纳米划擦性能评价   总被引:6,自引:2,他引:4  
用射频等离子体增强化学气相沉积在钛合金表面制备了类金刚石薄膜,利用纳米压入仪及其附件研究了薄膜与纳米划擦有关的力学性能.结果表明:随薄膜厚度的增加,其硬度略有增加,但增幅较小,弹性模量没有明显的相应规律;薄膜在划擦过程中,随载荷增加,先后经历薄膜变形、薄膜与基体共同变形及薄膜剥离三个阶段;在薄膜变形阶段,划擦对薄膜的损害较小;当压头进入薄膜一定深度后,划擦后薄膜与基体的变形不同步,造成薄膜沿划痕向两边形成整齐排列的小裂纹,呈鱼骨状;达到临界载荷值时,薄膜在界面处发生脆性剥落;随膜厚增加,薄膜的临界载荷增大,因其残余应力的相应增大而发生大面积脆性剥落.  相似文献   

4.
采用多弧离子镀技术,使用Ti Al Zr合金靶和Cr靶,在W18Cr4V高速钢基体上沉积(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元氮化物膜.利用扫描电镜(SEM)、电子能谱仪(EDS)和X射线衍射(XRD)对薄膜的成分、结构和微观组织进行测量和表征;利用划痕仪、显微硬度计测评薄膜的力学性能.结果表明,获得的多组元氮化物膜仍具有B1 NaCl型的TiN面心立方结构;薄膜的成分除-50V偏压外,其它偏压下的变化均不明显;增大偏压可减少薄膜表面的液滴污染,提高薄膜的显微硬度及膜/基结合力,最高值可分别达到HV3300和190N.  相似文献   

5.
Al含量对非平衡磁控溅射制备Ti1-xAlxN膜性能的影响   总被引:1,自引:0,他引:1  
将电弧离子镀和中频非平衡磁控溅射工艺相结合制备了Ti1-xAlxN薄膜。利用扫描电镜、能谱仪、X射线衍射仪、显微硬度计、划痕仪、摩擦磨损仪等分析检测仪器研究了不同Al含量Ti1-xAlxN薄膜的性能。结果表明:随Al含量增加,沉积速率变大;各种Al含量的膜层中都有Ti1-xAlxN相;当x为51at.%时薄膜有最高的显微硬度2741.8HV,此时摩擦系数达到最低值0.14;Al含量多时膜层Ti1-xAlxN表面粗糙;各种Al含量的膜层与基体的结合力大致相同,临界载荷都在16~20N左右。  相似文献   

6.
为了使4Cr13不锈钢表面性能得到更好的优化和获得镀膜最佳的偏压工艺,在不同的偏压工艺下,采用多弧离子镀技术和磁控溅射技术在4Cr13不锈钢表面沉积掺杂Cr和同时掺杂Cr、Ni的TiAlN薄膜.采用附着力自动划痕仪研究不同偏压条件下薄膜与基体的结合力,采用扫描电子显微镜观察和分析薄膜的表面形貌,采用XRD技术检测薄膜的相结构,采用显微硬度计测量薄膜的显微硬度.结果表明:适当的偏压可以提高薄膜的硬度和结合力,在偏压为-250 V时,薄膜的表面硬度达到最大值2 259 HV0.1 N,结合力为36 N;并且掺杂Ni元素能够起到增强膜基结合力的效果.  相似文献   

7.
采用多弧离子镀技术,使用Ti-Al-Zr合金靶和Cr单质靶,在wc-8%co硬质合金基体上制备了TiAlZrCr/(Ti,Al,Zr,Cr)N多组元梯度膜.分析了梯度膜的成分、结构和微观组织,并研究了梯度膜的显微硬度和膜/基结合力.研究结果表明,该多组元梯度膜为Bl-NaCl型的TiN面心立方结构;薄膜的成分是以TiAlZrCr合金为过渡层的(Ti,Al,Zr,Cr)N梯度膜;薄膜的组织致密均匀,是典型的柱状晶结构;沉积偏压为-50~-200V时,梯度膜均可获得比(Ti,Al,Zr,Cr)N单层膜更高的硬度(最高值为HV4000)和膜/基结合力(临界载荷大于200 N).  相似文献   

8.
张鑫  邱万奇  史新伟  李春明 《真空》2007,44(2):48-50
利用AIP-01多弧离子镀膜机,通过改变铬靶电流,在高速钢基体上沉积出不同Cr含量的(Ti,Cr)N复合膜涂层,用扫描电子显微镜、微纳米力学测试仪和X射线对薄膜的表面颗粒、硬度及内应力进行了分析.结果表明薄膜中添加Cr能减小表面颗粒尺寸,提高硬度,当Cr的含量达到31%(wt%)时,薄膜硬度达到最高值,此时薄膜的内应力也最大.  相似文献   

9.
采用多弧离子镀在高速钢基底上沉积Ti Al N薄膜。利用扫描电镜(SEM)观测薄膜的表面形貌;用EDS分析薄膜表面的成分;用表面轮廓仪测试薄膜的厚度并结合沉积时间计算出沉积速率;用维氏硬度仪测量薄膜的硬度;用XRD表征薄膜的微观结构。结果表明,随着偏压峰值的增大,表面大颗粒逐渐减少,致密性逐渐变好,薄膜硬度也随之增加。沉积参数对薄膜成分有影响,偏压峰值对薄膜中Al含量有较明显的影响,而占空比则主要影响Ti含量。本文对实验结果进行了较详细的讨论和分析。  相似文献   

10.
评价气相沉积硬质薄膜的韧性具有重要的工程意义.本文讨论了压入法评价硬质薄膜韧性的原理、方法和参数选择.压入法的原理是载荷导致裂纹形核、扩展,最终形成压痕周围的径向裂纹,而断裂韧性和裂纹之间存在对应关系.压入法的方法是比较压痕形貌特征,其主要影响因素有基体和载荷.对于韧性基体(如金属),小载荷时硬质薄膜与金属同步塑性变形;大载荷下薄膜破裂,但这种情况可能是结合失效破裂,并不反映薄膜的韧性.对于脆性基体(如硅片),小载荷时裂纹会在Si片中形核,并扩展到薄膜中,形成压痕对角线径向裂纹;大载荷时薄膜会严重破裂.定量评价薄膜韧性时,一般采用硬质薄膜/Si片体系,以0.98~9.8N载荷压入脆性基体,采用纳米压入仪测定薄膜的硬度和弹性模量,采用显微镜测量径向裂纹的长度,利用Lawn公式计算得到断裂韧性值.  相似文献   

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13.
14.
Infrared optical constants collected from the literature are tabulated. The data for the noble metals and Al, Pb, and W can be reasonably fit using the Drude model. It is shown that -epsilon1(omega) = epsilon2(omega) approximately omega(2)(p)/(2omega(2)(tau)) at the damping frequency omega = omega(tau). Also -epsilon1(omega(tau)) approximately - (1/2) epsilon1(0), where the plasma frequency is omega(p).  相似文献   

15.
Experimentally determined p,V,T data are reported for toluene, trichloromethane, dichloromethane, acetonitrile, aniline, and n-dodecane at 278, 288, 298, 313, and 323 K, except for dichloromethane, for which the highest temperature was 298 K. At each temperature, measurements were done at pressures up to about 280 MPa or (for aniline and n-dodecane) at a lower pressure slightly below the freezing pressure at the temperature of measurement. Values of the isobaric expansivity isothermal compressibility and (for toluene, trichloromethane, dichloromethane, and acetonitrile) internal pressure, derived from the p,V,T data, are presented.  相似文献   

16.
通过优化微波消解条件,并根据不同元素性质,调谐ICP-AES工作条件至最佳,实现了茶叶中K、Na、P、S以及Fe、Mn、Cu、Zn、Ca、Mg 10种元素的同时测定。10种元素测定结果 RSD%为0.67(Cu)~5.57(Na),回收率为84.0%(Na)~101.5%(Fe),检出限为0.001(Mn)~0.029(S)μg·g-1,表明该方法准确可靠,能够满足茶叶中K、Na、P、S、Fe、Mn、Cu、Zn、Ca、Mg分析要求。  相似文献   

17.
我所2001年9月份顺利地通过了中国实验室认可委紧张而严格的评审,得到了权威机构认可,成为西南地区较早通过国家实验室认可的省级计量校准机构.在建立质量体系、运行质量体系走过了艰辛之路,我们将全所职工的艰辛之路介绍给大家,希望能给将要申请认可的实验室得以参考.  相似文献   

18.
Standards IGRS:First Complete International Standards System in 3C Collaboration Field After ISO and IEC released three international standards of Intelligent Grouping and Resource Sharing (IGRS) including Core Protocol,File Communication Framework and Device Validation,four standards of IGRS,Application Framework,Basic Application,Service Types and Devices Types,got approved with high passing rate in the voting of Final Draft International Standard (FDIS) and will be officially issued soon around the world. It symbolizes that all  相似文献   

19.
This review compiles various nanostructures fabricated by a distinct “dry autoclaving” approach, where the chemical reactions are carried out without solvents; above the dissociation temperature of the chemical precursor(s) at elevated temperature in a closed reactor. The diversity to fabricate carbides (SiC, Mo2C, WC), oxides (VOx‐C, ZnO, Eu2O3, Fe3O4, MoO2), hexaborides (LaB6, CeB6, NdB6, SmB6, EuB6, GdB6), nitrides (TiN, NbN, TaN), phosphides (PtP2, WP), sulfides (ZnS, FeS/C, SnS/C, WS2, WS2/C), and selenides (Zn1‐xMnxSe/C, Cd1‐xMnxSe/C), with various shapes and sizes is accounted with plausible applications. This unique single‐step, solvent‐free synthetic process opens up a new route in the growing nanomaterials science; owing to its considerable advantages on the existing approaches.  相似文献   

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