真空的获得

真空是用排出或捕获气体分子的方法、使容器中气相分子数目减少来获得的。抽气可由真空泵、阱和消气剂来完成。真空抽气的原理和方法有:1、通过输运方法将气体分子由一方转移到另一方,最后被排出泵外。这类泵分为变容真空泵(往复变容泵和旋转变容泵)、动态真空泵(流体真空泵和曳引泵)以及离子输运泵(尚无实用泵型)。所用原理有:(1)气体的压缩和膨胀;(2)粘滞效应产生的曳引力;(3)扩散效应产生的曳引力;(4)分子曳引力;(5)离子在电(磁)场中的运动。     

节能低污染的抽气方法

真空技术已在科学研究和制造工艺等方面占有重要作用,各类真空泵及系统是获得良好真空环境的设备。在不同情况下,对真空获得设备都提出抽速、极限真空、污染及耗能等指标的不同要求。当前,我国能源供给紧张的情况,使我们对减少真空系统的能耗和降低污染产生兴趣。为此,我们对目前使用面最广,节能潜力较大的扩散泵抽气系统进行了节能低污染抽气方法的实验研究,尽管该技术在很早以前就曾得到使用。但由于需要对系统增添诸如     

EDWARDS公司IPUP2真空泵创立加载互锁和输送腔体应用新标准

精密真空产品和尾气处理系统领先制造商和相关增值服务领先供应商E dw ards集团有限公司已经推出了针对应用材料公司制造平台的加载互锁和输送腔体应用的全新集成式真空泵 IPU P2。该第二代泵在加载互锁抽真空时间、能耗和维护要求方面具有明显优势，这些先进性能结合起来为其带来同类最佳的性能和拥有成本。该泵已经获得初步成功，在应用材料公司的多类新设备平台上取得了使用认证，并且已经向主要半导体制造商提供超过180套系统。     

机载干泵——一个革新的真空技术

传统中为了得到良好的运行，真空干泵总是被安装在远离对真空环境要求苛刻的机台的地方。这主要因为真空泵的洁净度、稳定性、重量、尺寸、振动、噪声和表面温度都会直接影响到机台运行。BOC Edwards创造性的开发生产了一款既小又轻的干泵一EPX180，它符合所有机载真空的要求。此外，这种独特的设计还使得EPX500真空泵能达到更低的压力和更高的抽速。其优点是在高真空工艺中用一个EPX泵代替组泵，并且就只需一个阀件。此技术可以使一个单泵从大气抽到10—7Torr。     

关于低温泵抽氢问题的探讨

一、引言 众所周知,迄今国内外所使用的各种真空泵,对于不同的气体都存在着选择性抽气作用。也就是说,直到目前为止,还找不到一种能够对所有气体(包括蒸气)都有相同的抽气效果的泵。只是各种不同的真空泵对各种不同的气体。其抽气原理不同。就具有不同的选择性罢了。因此为了在一个真空系统中获得好的抽气效果和极限真空度。一般却采用几种不同原理的泵联合抽气。尽管如此,效果总还不是最佳,从各种金属真空系统中残余气体的分析得知。H_2气在残余气体分压中均占有相当大的比例。因此从极限压强的角度来说,H_2上极限压强的重要限制因素,特别是高真空和极高真空范围就更是如此     

冷阴极溅射钛泵的试验

超高真空的获得对于现代科学技术、电子管工业生产有着极其重大的意义.我们在毛泽东思想指导下,领导、工人、技术人员相结合,在试验冷阴极溅射钛离子泵获得超高真空方面,已收到一定效果.可供各种微波管排气使用.溅射钛离子泵目前已发展成为一种重要的超高真空泵,许多国家已成批生产.由于它具有一系列优点,深为人们重视.     

钛泵——新型的真空获得工具

没有油的真空泵在高真空获得方面,过去经常使用扩散泵.扩散泵的优点是:工作效率高、没有转动部分、不需要特殊的电源和控制台、使用简便可靠,而且价格比较低廉.但是它也有一些明显的缺点.首先是在超高真空范围内抽气速率跌落得十分显著,甚至完全不能工作;其次是扩散泵内工作液体的蒸汽将逆流入真空容器而使严重沾污.这两个缺点虽然在近年来已经用油挡板、串联冷阱(或者金属片阱和氧化铝阱)、可烘烤接头及无脂阀门等方法逐步加以克服,但在操作上无疑还有很多不方便之处.第三个缺点则是扩散泵体积虽然相对于抽气速率来说不能算大,但毕竟不容易移动.特别在电子管工业方面,它不能和电子器件组成一个封闭系统进行连续抽气.由于以上的缺点,就迫使人们对新的获得真空(特别是超高真空)的方法进行探索,结果就出现了“钛泵”.     

简单可靠的水位控制器

简单可靠的水位控制器李荐（西北矿冶研究院，甘肃白银市，７３０９００）我单位有一台１１ｋｗ的水环式真空泵，用水量较大，需解决水的循环利用问题。为此笔者设计制作了一台水位控制器，将水由低位槽泵人高位槽，然后再经水环真空系流回低位槽。经使用表明，该电路工作...     

螺杆式干泵SCREWLINE系列

SREWLINE系列螺杆式无油压缩真空泵是一种专门为工业应用设计的干式泵，用于太阳能光伏产业、大面积镀膜、工业炉等工业领域，用于解决苛刻的真空问题，如粉尘、焦油等。SCREWLINE系列有SP250及SP630两种规格，设计抽速为250～630m。／h，极限真空度可达到0．01mbar。SCREWLINE是无油真空泵，由于真空腔内没有油润滑，因此粉尘不会存留在泵腔内，而是随着气体从排气口排出泵外，无需处理废油，非常环保。     

电离吸气钛泵及其在金属陶瓷发射管排气中的应用

无油超高真空技术对于电真空器件的研制和生产来说具有特殊的意义,它不但提高了电子管的发射功率,改善耐压性能,提高了管子的合格率和优品率,而且还缩短了排气时间,改善了排气的环境,不怕停电,是电真空器件提高产品质量一个有力的技术措施。钛泵是目前使用最为普遍的无油超高真空泵,它与油扩散泵相比的优点是:避免了油蒸汽的污染,容     

无油真空泵在半导体生产中的应用

目前的半导体生产企业越来越多地用无油真空泵（干泵）来取代传统的旋片式真空泵（油泵），原因很简单，干泵的运行成本比油泵低得多，而且相对洁净，寿命长，在半导体生产中油泵的致命缺陷在于需使用昂贵的PFPE油。并且在CVD工艺，刻蚀，扩散等工艺上需经常做保养并换油，这使干泵无疑成为这些苛刻的半导体工艺的最佳选择。     

LNB500型冷凝泵的研制

一、概述随着空间技术的发展,受控热核反应的研究、大型低压风洞真空校准装置的制造,提出了要有极大的抽速或极高真空度的真空获得设备。冷凝真空泵无论是真空度,还是抽速,都能满足这些装置的要求,冷凝泵,有人称其为低温泵或深冷泵。从我国普冷,深冷、低温的温度划分范围来分,称为冷凝泵还是比较确切的。冷凝泵是利用极低温度的气体或液体(一     

涡轮分子泵制出更好的显像管

显像管生产中,蒸铝以及管子封离前排空这两道工序都需要使用真空泵。当采用涡轮分子泵代替传统工艺中使用的油扩散泵后,可改善产品质量,提高生产效率,并降低制管设备运行维修费用。涡轮分子泵还能更好地经受突然暴露大气的冲击、抽气小车移动过程中的振动以及环境高     

蒸发式玻璃钛泵在小型磁控管上的应用

小型蒸发式玻璃钛泵(以下简称小钛泵)是一种最简单的、极限真空度比较高的、而又无油蒸汽污染的真空泵。它适合于作为某些电真空器件的辅助抽气手段,或者用于完成某些小型电真空器件的部分排气过程。几年来,我们在研制生产信标磁控管、电压调谐磁控管等工作中,利用小钛泵的这些优点,作为在这些管子排气过程中的一种抽气手段,收到了较大的     

备用钛泵及电源自动投入装置

备用钛泵及电源自动投入装置是一台实用型装置,它用在原子核加速器中作为处于高电压高气压条件下的钛球真空泵供电的电源,能保证高真空系统不间断地可靠运行。众所周知,钛球真空泵是利用钛球加热到足够高温度使钛升华,钛膜沉积泵壁吸附气体分子以达到抽气目的。高温工作下的钛球有一定寿命,但是又不能随时打开加速器更换钛球,故必须设置备用。     

锥孔滚压头的开发设计

为了解决泥浆泵液力端泵头1：6锥孔表面加工精度不高,在使用中出现锥孔表面剌蚀而报废的问题,本文介绍了一种性价比较高,简单易行,安全可靠的锥孔滚压工艺方法,通过该工艺方法的实施,提高了锥孔表面加工精度和硬度,达到了设计要求,保证了泵头质量,延长了泵头的使用寿命,减少了阀及阀组件更换频次,大大的降低了运行成本,为用户安全生产提供了优质的产品保障。     

抽速为110升/秒、无油高真空和超高真空小型涡轮分子泵

本文报导抽速为110升/秒的小型涡轮分子泵,其重量只有6公斤。装上内径为100毫米的吸气法兰后,泵的轴向长度仅为200毫米。其极限压强可达10~(-11)毫巴。它同一个小型两级预真空泵连在一起便可组成一个非常小型、全自动化的排气装置。它主要用于真空实验室、粒子加速器、质谱仪、电子显微镜以及制管工作中。     

堆焊层的车削加工

在设备修理中,对磨损表面的尺寸可以采用堆焊的方法修复,由于堆焊修复层的厚度大,而且不均匀,堆焊层表面硬化,从而造成堆焊层切削加工性变差,堆焊修理法已广泛用于设备、工具以及模具等的制造与修理。     

本田CR-V型轿车巡航控制系统

<正> 本田 CR-V 型轿车的巡航控制系统属于电控真空膜片式控制系统。当汽车在巡航控制模式时,节气门的开度由真空电磁阀式执行器控制,真空电磁阀式执行器位于发动机室左侧防火壁处,它是由真空泵部件提供真空至通风电磁阀。阀和泵部件接收来自巡航电子控制单元 ECU 的指令,而巡航控制单元 ECU 接收以下部件的输入提供的信号;巡航控制主开关;车     

真空油扩散泵及其设备泵液返流率红外光谱测定法

本文叙述了用红外光谱分析法对真空油扩散泵及其设备进行泵液返流率的测定.该方法简便、精度高.一般可测量泵液返流率达10~(-7)毫克/厘米~2分.它还可以测定真空系统中泵液返流率空间分布状态以及返流物质和来源.