微型机械的特点,研究现状和应用

简明地叙述了微型机构的特点,综述了微型机构在国内外的研究现状,强调了微型马达的研究在微型机械发展中的重要地位,列举了微型机械应用的典型实例,最后对我国在九五期间发展微型机械提出了一些建议。     

微型机电系统在医疗中的应用

微型机电系统是一个新兴的技术领域,其主要优点是体积小、重量轻、能耗少、响应快、大批量、成本低等,有广泛的应用前景。在概述微型机电系统的基础上,介绍了用于医疗的微型机电系统,包括微型传感器、微流量系统、微仪器,以及其它MEMS系统。最后简介了国内在这方面的发展状况。     

微型机电系统

分析了微型机电系统的特点、主要科学技术问题、应用和市场.预计到2003年微小系统的市场约为400亿美元,是商用航空业的一半.简介了我国的研究情况.国际上微型机电系统技术刚走向全面发展,正是我国发展该领域的好时机.     

微型齿轮研制中微细加工技术的应用研究

本文研究了在紫外光光刻条件下用微细加工方法研制微型齿轮的加工工艺,对加工过程进行了分析,加工水平已达到准ＬＩＧＡ水平。     

微型机械设计基础研究

针对微型机电系统发展过程中存在的问题 ,论述了开展微型机械设计基础研究的意义和必要性 ,并且总结出微型机械研究中关于微机械设计基础研究的范畴和特点 ,提出了目前迫切需要开展的一些主要研究方向     

基于MEMS技术的微型分光光度计

研制出了一种采用微硅片对准技术和微硅片狭缝的新型微型分光光度计。采用MEMS工艺制造出了体积小、精度高的微硅片对准机构和微硅片狭缝,并且对其性能进行了分析和论证。同时对影响分光光度计线性度精度的样品池的光学特性进行了分析,推导出了透射光强与样品池的折射率、被探测介质的折射率关系式,并进一步分析因折射率引起光强的变化对吸光度的影响。实验结果表明,该微型分光光度计可以分辨出介质折射率相差0.01介质,同时参比介质的不同仅仅对A-C曲线产生平移,而对相关系数和斜率无任何影响,通过对实验数据的计算得到以空气和蒸馏水两种折射率的介质为参比时的系统相关系数都大于0.999,说明所研制的基于MEMS技术的微型分光光度计具有高度显著线性相关性。     

纳米技术及其在微型机械中的应用

纳米技术及微型机械被认为是２１世纪的核心技术。文中介绍了纳米技术及微型机械的基本概念及纳米加工技术、纳米材料技术、纳米摩擦学等纳米技术在微型机械中的应用。     

微尺度热科学及其在MEMS中的应用

主要介绍了微尺度热科学最新研究成果及其在MEMS中的应用。微电子机械系统（MEMS）的高速发展为微尺度物理现象及其内在机理的研究提供了机遇和挑战。微尺度热科学是微尺度物理学的一个重要分支，包括微尺度传热学、 微尺度动力学和微尺度热测量学等。一般来说，微尺度热现象的尺度效应可以归结为热流密度大和热惯性小这两个特点，在MEMS器件中有广泛的应用。尽管近年来微尺度热科学取得了快速的发展，但仍处于不断发展的阶段，完整的理论体系还没有建立；微尺度下成熟的实验方法还在摸索中，实验数据处在原始积累阶段；大规模计算条件的实现和分子水平的数值模拟方法的解决提供了另一条途径。     

微机械的制造技术及应用

介绍了微机械系统制造工艺技术,体微机械,表面微机械加工技术,键合技术及ＬＩＧＡ技术,并对这些技术的应用进行阐述。     

一种用于微器件装配的系统设计与研制

首先概述了国内外微装配系统的研究现状,在分析微装配系统的特点和功能需求基础上,提出一种基于计算机视觉伺服控制的微装配系统设计方案,详细描述了系统中精密三维微定位工作台、SMA微夹持作业工具以及视觉伺服控制系统等关键技术的解决方案,并以直径为几百微米级的典型微轴孔的装配为目标开展各项关键技术的试验研究.     

MEMS传感器和智能传感器的发展

MEMS传感器和智能传感器是新型传感器的代表，具有集成化和智能化的特点。介绍了2种传感器的最新发展状况，包括测量精度、灵敏度、体积、转化机理、融合理论等方面。列举了2种传感器的应用实例，如仿生机器人、微纳卫星、计算机视觉系统等。分析了传感器发展的趋势，涉及精度、可靠性、微型化、微功耗、智能化、数字化等方面。     

基于电泳分离的生物芯片的设计与改进

在一种低压驱动电泳分离的阵列电极模块基础上，设计制作了一款电泳分离用的基于1VIEMS技术的微流体沟道芯片，与电极模块及控制检测系统共同组成微全生物芯片系统。通过控制系统进行了一系列电泳实验，根据实验结果确定了沟道芯片的最佳尺寸参数。对阵列电极模块进行了改进，在上面增加了一对检测电极，通过比较几种检测方法选择对电泳分离实验进行阻抗检测，以实现检测系统的微型化。通过基于单片机的检测系统对电泳实验分离结果进行一系列的阻抗检测实验，实验结果证明检测电极的设计是可行的。     

MEMS器件及其在生物医学上的应用

介绍了MEMS技术的发展概况及MEMS器件在信息领域、传感领域、生物技术领域的应用,重点介绍了MEMS在生物医疗中的应用及未来发展的趋势。     

机电一体化宏观和“微观”方向的发展

机电一体化已分化为宏观的机电一体化（机械电子学）和"微观"的机电一体化（电子机械学）。现就其宏观发展现状和"微现"动态予以综述，并对发展我国机电一体化技术提出些许建议。     

MEMS尺寸效应的分析模型及应用

论述了尺寸效应的内涵及其对微电子机械系统(MEMS)基础理论研究的重要影响；提出了广义尺寸效应、狭义尺寸效应，正效应、负效应及其判据；建立了狭义尺寸效应的分析模型，从尺寸泛函的绝对值、相对值和对尺寸的灵敏度三个方面进行泛函分析。将该模型应用到两端固支多晶硅微梁的弯曲测试，分析结果与实验相符。     

中国MEMS的研究与开发进程

微机电系统（Micro Electro Mechanical Systems)是80年代发展起来的新兴交叉学科，其系统包括能源、微驱动器、微执行器、微传感器、微控制器以及与外界的接口等。由于该系统能够实现各类产品的微型化、集成化与便携化，因而在天上、地面和海洋的诸多领域有广泛的应用与产业前景。本文概括地介绍微机电系统学科的重大意义，13年来中国MEMS研发的总体概况，以及关注的热点。