提取共面微波探针S 参数的方法*

共面微波探针是裸芯片测量信号输入/输出的重要媒介,通过与晶圆片物理接触,建立起测量系统与芯片之间 的信号连接通道。为了获得共面微波探针完整准确的S 参数,设计并实现了“两步法”测量方案,首先在同轴端口进行校准,然 后在探针尖端口进行第二步校准。通过与出厂数据进行对比分析,证明了方案的可行性,同时指出在片校准件预校准的重要 性。另外,讨论了氧化铝和砷化镓两种材料在片SOLT 校准件对于探针S 参数提取中的影响,实验显示二者相角偏差达到 39.8°,回波损耗呈现规则性的变化,全部测量数据的频段覆盖1~40 GHz,最终给出了优化的测量方案。     

GaAs功率单片脉冲在片测试技术研究

讨论了功率单片在片脉冲测试中在片校准技术、脉冲功率测试技术等难题,并在讨论以上问题的基础上,实现工程化应用,该测试技术能够有效覆盖至40GHz。在建立的脉冲大功率在片测试系统上对输出功率典型值5W的GaAs功率单片放大器进行测试验证,测试结果和装架测试结果相比较,输出功率误差<0.2dB。     

共面微波探针在片测试技术研究

本文描述了使用共面微波探针的半导体芯片在片测试技术.设计研制出的多种微波探针性能参数稳定,使用寿命在十万次以上,用于在片检测各种GaAs共面集成电路芯片.触头排列为GSG的微波探针,-3dB带宽及反射损耗分别为14GHz和小于-10dB.     

Load Pull系统高频测试误差分析及新型测试方案

负载牵引(Load pull)测试系统是一个复杂的微波测试系统,在不同的频段有不同的实现方案以及测试误差。本文从Load pull系统及待测器件的固有特性出发,分析了系统高频测试误差产生的原因,并且提出了一种提高系统高频测试精度的新型测试方案。     

微波在片测试数据离散剔除算法研究

针对微波在片测试项目多、参数复杂、数据处理灵活性大的特点,开发了工艺控制微波数据处理软件,但该软件存在离散数据剔除难的问题。文章讨论了如何对离散数据进行剔除的几种算法:模拟EXCEL表格画图法、一致性剔除离散算法、累积均方差剔除离散法、拟合正态分布曲线算法,最终选定拟合正态分布曲线算法作为剔除离散方法。将剔除离散数据功能完善到工艺控制微波数据处理软件,将使微波在片测试数据处理最终实现自动化。     

在片高低温S参数TRL校准件的研制

为了经济有效地提高在片高低温S参数试验系统的准确度,设计制作了在片高低温TRL校准件.首先,总结了目前常用的3种在片高低温S参数校准方法的具体做法和不足;其次,介绍了TRL校准件的设计和定义的方法;然后,阐述了校准件的使用方法;最后,通过相关试验,对该校准件的校准效果进行了验证,结果表明,该方法的测量效果较为理想,具有一定的推广使用价值.     

太赫兹在片S参数测量串扰修正方法研究

为修正太赫兹在片S参数测试时探针间串扰误差,提出了一种包含串扰的新型误差模型,以及基于此误差模型的校准方法.该方法分别对待校准和测试时的串扰误差.基于这一概念,开发了一种新型12项误差模型,将串扰误差视为与被测件(DUT)并联的独立二端口网络.在测量DUT前通过测量一对长度与DUT相同的开路标准实现对串扰误差的表征并移...     

微波器件噪声参数的测量方法

作为微波低噪声器件研制和应用的一项关键技术,噪声参数的测量工作引起行业的广泛关注。论述了噪声参数测量原理,研究了测量系统校准方法,分析了噪声源的反射系数、噪声温度,阻抗调配器的反射系数、S参数、增益,接收机的反射系数、噪声功率等20余项物理量对噪声参数测量的影响,对比了直接冷源法和简化冷源法在接收机传输增益测量中的优缺点,提出了改进型冷源法。最后给出了噪声参数测量不确定度主要影响量的归类分析,为下一步开展噪声参数不确定度评定工作奠定了基础。     

微波裸芯片的测试技术

鉴于目前对微波裸芯片的旺盛需求,介绍了几种测试技术,主要包括探针台测试技术、夹具测试技术和非侵入式测试技术,并对不同的测试技术进行了对比,分析了各种测试方法的优缺点及存在的问题。     

X参数于负载牵引测量中的应用

随着有源器件不断地被应用在非线性工作区域,器件的非线性特性进行快速和准确的测量显得尤为重要,X参数作为S参数的自然扩展[11可以被用来表征器件的非线性特征.本文对X参数定义进行阐述,并采用安捷伦的先进设计系统软件ADS提取X参数,最后将X参数用于负载牵引测量,对X参数的特性进行仿真.     

一种用于在片器件直接测量的新型SOLT校准方法

介绍了一种“针尖前移”的在片SOLT校准方法,使用这种校准方法可以将测试参考面直接校准到内部被测件,从而可以进行无去内嵌(De-embedding)操作的直接测量。通过对在片平面螺旋电感的测试验证,证明这是一种精确高效的新校准方法。     

微波测量的发展动态和趋势

微波测量是微波领域的重要方面,它直接关系到设计的微波系统和微波器件性能的好坏.本文从测量仪器的发展动态和趋势出发,论述了微波测量发展的六个可能方面,供读者参考.     

SOLT校准方法及其在射频测量中的应用

分析了矢量网络分析仪测试系统的误差来源,给出二端口SOLT校准的12项误差模型,由此推导了待测元件的真实S参数,并且详细讲述了SOLT校准件的制作方法,确定出开路件的边缘电容。最后,使用自制的PCB夹具测量了0603封装的电感和电容．对校准前后的测量数据进行了对比、分析,并成功地提取了封装后的模型参数,结果证明该方法可以用于射频夹具测量的校准。     

红外成像光学系统进展与展望

随着红外焦平面探测器向大面阵、多维度(例如双/多波段)信息获取、高灵敏度的第三代探测器技术发展,对红外成像光学系统的设计、光学元件加工、光学膜镀制、红外光学系统装调与测试等方面提出了新需求.本文在简述第一代热成像系统红外光学、第二代红外/热成像红外光学的基础上,梳理了第三代红外/热成像系统对红外光学的要求,综述了第三代红外成像光学系统解决这些新要求的技术进展,并展望了新技术的发展趋势.     

基于CMOS传感芯片的荧光检测系统研究进展

回顾了荧光检测系统的发展历史,详细阐述了与半导体CMOS技术结合后荧光检测系统微型化的发展过程,包括基于CMOS荧光传感芯片的直接式和间接式荧光检测系统。最后,提出了一种新型的微型化单片集成CMOS荧光传感芯片,为荧光检测系统的设计和应用提供了新思路。     

几个扬声器测试系统

简要介绍了基于PC机的扬声器测试系统在国内的使用状况。重点介绍了LMS，MLSSA，Clio，DAAS，SYSid5种测试系统的基本组成，测试条件和基本功能；比较了它们的异同；指出了在开发和生产中还存在的问题。     

L波段雷达发射机中功率放大器的研制

针对在全固态雷达发射机的功率放大器设计中,大信号S参数无法获得的情况,采用小信号S参数法和负载牵引法设计了一种工作于1.9～2.0 GHz的3级功率放大器.通过对功率放大器的仿真,得到满足设计指标要求的精确的匹配参数,再根据这些匹配参数构建了实际的功率放大器,并对放大器进行了实际测试.实际测试结果表明,在其工作频段内,最大输出功率为34.3 dBm,增益高于30 dB,增益平坦度也小于1 dB,均达到设计要求,可用于实际的全固态雷达发射机中.     

Microwave Oscillator Phase Noise Requirement for TD-SCDM A Wireless Communication Systems

In time division synchronous code division multiple access （TD-SCDMA） wireless communication systems, QPSK or 8PSK has been employed to support high data rate services and high efficiency in available bandwidth. The performance of such systems is affected by the phase noise of the microwave local oscillator. The phase noise model of synthesizer and the RF transceiver model for the phase noise effect are proposed for applications of TD-SCDMA systems. The relationship between the power spectral density （PSD） and root mean square （RMS） phase error is given. Then, the error vector magnitude （EVM） performance is analytically evaluated by using the single side band （SSB） phase noise. Theoretical results show agreement with those obtained by measurement data and therefore can be used to derive the TD-SCDMA system performance.