二氯二氢硅的制备

一、前言四氯化硅在半导体工业中作为外延淀积硅源,虽然工艺早已趋于完善,但至今存在无法克服的技术问题,如外延淀积膜不均匀等。有人从硅源的原料进行改革,即以二氯二氢硅来代替四氯化硅,经试验,有如下特点。     

二氯二氢硅的纯化

采用化学改性的吸附剂和络合剂，能够有效地除气体中的金属和硼，砷，磷等非金属杂质。纯化后的气体经气相色谱分析，表明化学改性的吸附剂和络合剂对二氯二氢硅无歧化作用。     

络合法纯化二氯二氢硅

本文叙述了纯化二氯二氢硅的方法。结果表明：络合法是除去二氯二氢硅中杂质“硼”的有效方法。     

二氯二氢硅液位测量

介绍了利用超声波测量二氯二氢硅精馏装置的塔釜液位和产品充装时充装数量的监测原理，方法，可靠性，并对二氯二氢的声速作了简单测量。     

生产二氯二氢硅的催化剂研究现状

概述了二氯二氢硅生产的各种催化剂的性能，并对其进行了简平。     

高纯二氯二氢硅的生产和应用

叙述了二氯二氢硅的主要生产方法及其用途。     

工艺因素对二氯二氢硅反歧化反应的影响

在特定催化剂作用下采用固定床的方法,消耗二氯二氢硅和四氯化硅生产出氯硅烷(三氯氢硅和四氯化硅的混合物)。分别研究四氯化硅、三氯氢硅在不同配比和温度下对氯硅烷二氯二氢硅的影响。采用气相色谱对三氯氢硅的体积分数进行测试。结果表明,当反应压力0.9MPa(G)、反应温度80℃时,二氯二氢硅的转化率达到极大值。     

二氯二氢硅中痕量碳,磷杂质的测定

采用氢火焰，火焰光度检测器测定二氯二氢硅中痕量碳，磷杂质含量。     

特种气体贮运,应用,安全与特性——硅烷,砷烷,二氯二氢硅

特种气体贮运、应用、安全与特性——硅烷、砷烷、二氯二氢硅梁国仑（化工部光明化工研究设计院大连１１６０３１）硅烷别名甲硅烷；四氢化硅英文名称Ｓｉｌａｎｅ；Ｍｏｎｏｓｉｌａｎｅ；Ｓｉｌｉｃｏｎｔｅｔｒａｈｙｄｒｉｄｅ分子式ＳｉＨ４１物化性质硅烷是一种无色...     

贮氢合金在气相色谱法测定高纯氢中痕量杂质的应用

应用贮氢合金可测定氢气中谐如氖、氩、氮、氪、甲烷和氙等痕量杂质。该系统由气相色谱仪与充填有贮氢合金的前置柱组成。在室温和载气压力下,贮氢合金有效地捕集氢。采用光电离检测器,检测极限可达:Ne、Ar、N_2、Kr、CH_4和Xe分别是4.7、0.02、0.02、0.01、0.01和0.01ppm。     

甲基氢二氯硅烷与β-蒎烯硅氢化反应的研究

以甲基氢二氯硅烷、天然产物β-蒎烯为原料经硅氢化反应合成了甲基蒎烷基二氯硅烷,研究了此反应的反应条件,并用IR、1H-NMR、13C-NMR对其进行了表征.     

载气热提取法与气相色谱法扩散氢测量结果差异性研究

进行了载气热提取法和气相色谱法的扩散氢测量对比试验,结果表明,载气热提取法扩散氢测量结果较气相色谱法的低,称重步骤和集氢方式是导致这种差异的主要原因。     

放电离子化二维色谱法分析高纯氢中痕量杂质

概述了放电离子化二维色谱法测定高纯氢中微量氧、氮、一氧化碳的工作原理,探讨了样品气不同流量、不同浓度通过中心切割对峰面积产生的影响,并对实验方法的可靠性进行验证。     

气相色谱法工艺气组分分析以及阀事件的探讨

研究用气相色谱法分析工艺气组成,试验结果表明：采用气相色法测定工艺气组成效果良好．分析结果快速准确,是目前分析煤气化气组分的有效方法：并就通过该分析系统探讨出分析永久性气体的六通阀较理想的切阀时间是110min,复位时间是6OOmin。     

氢燃料电池用氢气中甲酸的测定——气相色谱法

阐述了采用气相色谱法测定氢燃料电池用氢气中甲酸含量。该方法准确、可靠,便于操作。     

气相色谱法分析中色谱柱的选择

前言气相色谱法是近代重要的分析方法之一,它不仅能高效分离和快速分析,还能准确定性和定量测定,并易实现自动化。因此,目前,已被广泛应用于石油、化工、农业、医药、生化、食品、环保等领域。气相色谱法对于复杂体系具有强分离能力和高分     

气相色谱法分析高纯气体的几个问题

前言随着新技木的发展,各领域对高纯气体的品种和质量要求愈来愈高,半导体微电子器件工业,电真空材料加工,各种金属的冶炼和处理,大规模集成电路的研究和生产,色谱等精密仪器用的载气、零点气、标准气的制备,金属有机化合物的合成,石油化     

气相色谱法直接测定月桂酸

本文用添加H_3PO_4的DEGS作色谱固定相,气相色谱法直接测定月桂酸,分离性好,定量准确,测定的回收率为96～102％,变异系数0.14～3.1％。     

二氯二乙基锡的合成

二氧化锡透明导电薄膜主要用于非晶硅薄膜太阳能电池和其它光电子器件的透明导电电极，还可以用作除霜玻璃和红外反射玻璃。二氧化锡导电薄膜采用常压ＣＶＤ方法制备。以前一直用四氯化锡作为主要原料。ＳｎＣｌ４与Ｏ２或Ｈ２Ｏ在４００～６００°℃的温度下反应生成固态ＳｎＯ２沉积在玻璃衬底上，形成透明导电玻璃。作为反应产物，大量的ＨＣｌ酸气以废物排出，对设备、人员健康和环境造成损害。再则ＳｎＣｌ４极易在空气中水解氧化，带来设备制造和工艺控制的困难。中间生成的ＳｎＯ２粉尘对透明导电膜的质量影响很大，特别是均匀性差。…     

气相色谱法分析汽油中的含氧化合物

采用气相色谱法,使用极性和非极性色谱柱的组合,利用自动阀切换技术完成汽油中含氧化合物的分析。采用两根微填充柱串联的方法,常规的手动进样即可,不必再使用昂贵的自动进样器。使用适当的标样,依照相应的分析程序,可以随时检查预切柱的切割效果,减少误差的发生。