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微机电系统的加工技术及其研究进展 总被引:5,自引:0,他引:5
简要介绍微机电系统中的微机械加工技术,主要包括硅表面微加工技术、硅体微加工技术、光刻及电铸和复制技术(LIGA)、准LIGA技术和快速成型技术等,并综述了这些技术的研究进展情况。 相似文献
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机械零件加工过程中,影响机械零件加工质量的因素很多,其中机械零件加工精度是影响加工质量的主要因素。而工艺系统几何精度、受力变形和零件热变形等又对加工精度有一定的影响。为了更好的了解加工工艺和加工精度的关系,本文从机械加工和加工工艺概念、影响加工精度因素出发,结合实例对机械加工工艺与加工精度之间的关系进行分析,以期为今后机械加工方面的研究提供依据。 相似文献
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基于移动LIGA工艺的微针阵列的设计与制作 总被引:2,自引:1,他引:1
提出了一种聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)微针阵列的微细加工工艺,即移动X光光刻在光刻胶上得到与LIGA掩模板图形相似的曝光能量分布图,再利用显影技术获得了其断面形状与LIGA掩模板图形相似的PMMA微针阵列结构.为了解决空心微针阵列的加工问题,通过对准曝光实现空心孔的微细加工.用此纳米加工技术获得了高度为350~700μm、针锋尖锐度为1μm的PMMA的微针阵列.该阵列面积约为1cm^2,微针数约为900根,实验结果表明,利用这种新方法可以非常方便地加工出高质量的实心微针、空心微针和带流体沟道的分又微针等各种微针.该微针阵列可与微泵、微通道等集成为一体,实现无痛化注射或无痛化采血。 相似文献
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微细切削技术是传统加工工艺向微观尺度的延伸,在微加工领域具有重要的作用,尤其适用于三维零件及微结构的加工。与其他微细切削技术相比,微细磨削技术具有加工零件棱边精度高、适于硬脆性材料加工等优势,但其存在加工效率低、磨削热量大、微砂轮易磨损等缺陷。已有研究表明,于机械加工辅加超声振动的复合加工技术可有效降低切削力、切削温度,增大脆性材料脆-塑转变临界切削深度,改善加工表面质量等。因而超声振动辅助微磨削技术被认为是一种可有效解决微磨削加工现存缺陷的技术。主要从微磨削技术研究现状、尺寸效应机理研究、脆性材料塑性域去除机理研究、超声振动切削实验研究、超声振动切削断续切削机理研究及微磨削动态有效磨刃密度建模研究六个方面,对微磨削技术及超声振动辅助切削技术相关领域研究进行综述,并探讨超声振动辅助微细磨削技术加工机理研究及未来发展需注重解决的问题。 相似文献
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工业作为传统三大产业的成员之一,随着科技的进步,也获得了长足的发展。随着机械加工工艺的Ft趋完善,机械加工质量也不断得到提高。但是,在实际生产活动中,各种工艺系统还是存在一定的原始误差,使得机械加工质量存在问题。比如机床、夹具、刀具的制造误差及磨损、工件的装夹误差、测量误差、工艺系统的调整误差以及加工中的各种力和热所引起的误差等。本文通过对机械加工精度的概念和内容出发,总结机械加工应该遵循的原则,总结机械加工过程中的误差,以及提高机械加工质量的措施和技术。 相似文献
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在机械加工中,加工精度是衡量机器零件加工质量的一个重要指标。加工误差是影响机械零件加工精度的最主要原因之一,尽管误差在实际加工中是不可避免的,但是必须要将加工误差控制在合理的范围之内才能保证最后装配的总体运行精度,由于影响加工精度的因素诸多,不易有效控制,因此提高加工精度减小加工误差较为困难,研究机床加工过程误差的产生及防止对提高机床加工精度有着重要的意义。 相似文献
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1机械加工精度
机械加工精度是指零件加工后的实际几何参数(尺寸、形状和位置)与理想几何参数相符合的程度。它们之间的差异称为加工误差。加工误差的大小反映了加工精度的高低。误差越大加工精度越低,误差越小加工精度越高。加工精度包括三个方面内容:尺寸精度指加工后零件的实际尺寸与零件尺寸的公差带中心的相符合程度;形状精度指加工后的零件表面的实际几何形状与理想的几何形状的相符合程度;位置精度指加工后零件有关表面之间的实际位置与理想。在机械加工中总是存在一定的加工误差,误差都包括哪些方面以及怎样提高加工精度昵? 相似文献
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针对我国机械加工现状:一方面是传统的切削与磨削加工技术仍在不断发展,加工精度水平也日益提高,精密加工与超精密加工技术已进人实用阶段,另一方面加工技术向自动化方向发展.代写硕士论文正在沿着数控(NC),柔性制造系统(FMS)及计算机成品制造系统(CMS)的台阶向上攀登。国际机械加工工莩技术否断提高,为尽快提高我国机械加工技术水平,增强竞争力,提出了提高我国机械加工工艺和技术的相应对策和建议。 相似文献