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模拟自对准硅化物技术的两步退火工艺,对超高真空(UHV)下制备的Ti/Si样品依次进行低温退火、腐蚀和高温退火。利用俄歇微探针(AES)和X射线衍射(XRD)分析样品的组分及晶相。发现高温退火后,薄膜内同时生成了Ti的硅化物及氮化物,这对发展MOS器件工艺中自对准硅、氮化物技术很有意义。另外,还利用扫描电镜(SEM)观察了薄膜形貌,用VandePauw法测量了薄膜电阻。 相似文献
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氧化物和氧氮化物硅酸盐玻璃中铝配位数的测定 总被引:2,自引:0,他引:2
本文用 PW 1404 X 射线荧光光谱仪定量测定了氧化物和氧氮化物玻璃中铝的配位数丰度。作者在用AlK_α 的化学位移值定性确定铝配位情况基础上,选用适当的标准,以 AlK_β的化学位移值和标样的铝四配位丰度值作校正曲线,进行定置测定,取得了较好的结果。研究发现,在 Li~(1+)∶Al~(3+)>1的 Li_2O_(?)-Al_2O_(?)-SiO_2和 Li_2O-AlN-SiO_2玻璃中,Al~(3+)离子并非均以四配位形式存在,而是以配位四面体[AlO_(?)]为主要形式,其中也含有少量[AIO_(?)]配位八面体形式。 相似文献
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特殊钢是一类具有特殊用途的钢种,在工业生产中起着非常重要的作用。本文着重就钢中的氮化物对特殊钢性能的具体影响展开讨论。 相似文献
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合成了硼吖嗪和全氢聚硅氮烷的混杂先驱体并对其结构进行了表征;以混杂先驱体和3D炭纤维编制体为原料,采用先驱体浸渍-裂解(PIP)工艺制得了炭纤维增强氮化物基体的复合材料,并对复合材料基体的抗氧化性以及抗烧蚀性能进行了研究。结果表明:混杂先驱体中含有B-N、B-H、Si-N、Si-H、N-H等结构,无其他杂质;基体材料在空气中具有优良的抗氧化性能,温度升至1000℃时仍未发生明显的质量变化,明显优于C/C复合材料;四个PIP工艺循环所制得的复合材料烧蚀表面平整,氮化物基体比增强炭纤维具有更好的耐烧蚀性能。 相似文献
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计算机模拟二元,三元不饱和聚酯网络 总被引:1,自引:0,他引:1
用计算机模拟含不饱和聚酯长链的二元、三元网络,得到了序列分布、假交联点间平均分子量M′_c和交联点间平均分子量等重要结构参数,并据此讨论了组成对网络结构的影响。模拟数据与实验结果表明,计算机模拟是有效可行的。 相似文献
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我国建立镀铝纸工业已有10余年历史,全面回顾了我国镀铝纸工业从起步到第一个高峰期直至1982年大跌的历史进程。指出“七五”规划是我国镀铝纸工业发展的新动力;同时还冷静客观的分析了新的形势与任务,以及我国镀铝纸工业的现状。在此基础上,提出并论述了发展我国镀铝纸工业的技术途径。 相似文献
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美国海恩斯国际公司正在开发一种新型变形钴合金,通过添加氮化钛和氮化铌弥散相强化,可用于板材应用。该公司项目的目标是开发一种具有高温强度的板材合金,同时又具有现有合金的性能。这种名为海恩斯NS.163的新型合金在900℃时在70MPa的应力下,其应力断裂寿命大于1000h。在982℃和55MPa的应力下,应力断裂寿命大于250h。 相似文献