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金属涂敷硅锥阴极的工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
本文比较了金属和硅两种场发射阴极的优缺点,研究了将两者优点结合在一起的金属涂敷硅阴极的制造工艺,比较了电镀法和溅射法制备的金属涂层对硅的附着力;采用先溅射后电镀的两步工艺制作出了较为理想的包全硅尖阵列。 相似文献
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本文提出了以玻璃为基质,以厚感光有机膜为铸模,利用光刻法制作大面积金属场致发射阴极阵列的新方法,对该方法的工艺结果进行了计算机模拟并在现有条件下进行了初步的工艺探索,最后讨论了改进措施。 相似文献
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近年来,随着微机械加工技术的不断发展,人们对小功率的场致发射阴极的研究日趋活跃,本文介绍了近年来国内外对场致发射阴极的制备,电学特性及应用方面的研究进展情况,并说明该技术的发展必将取得更广泛的应用. 相似文献
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场致发射阵列(FEA)平板显示器的实现,标志着FEA发展到新的阶段,对FEA的研究析的要求。场致发射的实验研究是目前推进FEA技术的一种重要手段。文中主要从FEA场致发射的过程和分析发射失稳现象,并从理论上加以探讨研究。结果表明,FEA中发射不均匀是普遍的,设计中采取均流均温措施是必要的;FEA使用前的老化钝化是必不可少的工艺手段;场致发射常伴随着热发射,对热发射的控制和利用是场致发射研究的重要内 相似文献
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介绍一种国内外研究的用于场发射显示器的火山口型场发射阴极,它相对于尖锥型场发射阴极来说,具有制作方法简单,制作成本更低,发射一致性更好,更适合大规模工业化生产。但不足之处是发射电流密度太小和有较大的栅极电流。文章详细介绍了火山口型场发射阴极的制作过程,分析并测试了其发射性能以及转移到玻璃基底上的制作方法。最后还介绍了火山口型场发射阴极的改进型-跑道型场发射阴极。 相似文献
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提高钼尖锥场致发射阵列阴极发射性能的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
在利用微细加工技术和双向薄膜沉积工艺制得的钼尖锥场致发射阵列阴极进行实用化的过程中,目前存在的两个主要障碍是,阴极发射电流密度低和工作不稳定。通过对阴极发射失效机理和失效阴极的SEM照片进行研究认为,导致电流密度较低的原因是由于尖锥阵列的不均匀性造成只有部分尖锥发射电子;引起发射不稳定的主要因素是由于尖锥表面的微凸起和毛刺以及它吸附的各种影响有效功函数的污染物。采用电阻限流技术提高了阵列发射的均匀性,同时通过阴极老炼技术增强了场发射的稳定性,使其电流发射密度有很大程度的提高,而且电流波动也大为减小。研究结果对于该阴极在射频功率和平板显示等器件上的应用有着重要的意义。 相似文献
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通过改变SiO2纳米溶胶与碳纳米管的比例,选择合适的表面活性剂解决SiO2表面湿润问题,使SiO2得以均匀包裹CNT.采用Sol-Gel工艺制备CNT/SiO2复合物阴极,使用TEM对复合物的形貌、结构进行表征,对其场发射性能与稳定性进行了研究,获得了高增强因子及低屏蔽效应的阴极.发射测试实验表明:复合物中SiO2/CNT含量为80%时,阴极具有高发射电流和较佳的场发射稳定性能.在场强为2 V/mm时,发射电流为56 mA/cm2,开启场为0.71 V/mm,发射电流波动3 h,波动<3%.该阴极发射电流高,稳定性良好,容易采用低成本的丝网工艺制备成各种不同尺寸FED阴极. 相似文献
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本文从化学反应平衡观点出发,应用平衡常数的统计表达式,说明了阴极“中毒”与阴极发射物质化学反应内能的关系,解释了阴极中毒的实验曲线,进而得到测量反应内能的一个方法。 相似文献
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本研究探索了一种电泳选域组装碳纳米管发射器到正栅极结构的衬底中作为三极管结构的场发射显示阴极的工艺.在这个工艺中,悬浊液中的碳纳米管在施加于栅极电极和阴极电极的电压的作用下移向并淀积到三极管结构的衬底中.同时,这个栅极电极的正电压能够排斥悬浊的碳纳米管,使栅极电极不吸附碳纳米管.实验结果表明,碳纳米管选域组装到栅极孔洞中去,并且每一个孔洞中碳纳米管具有相同的组装密度.该工艺成本低、可实现大面积阴极的制备,是一种在制备三极管型碳纳米管场发射显示阴极中可供选择的工艺. 相似文献
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本文从氧化物阴极的工作机理出发,分析了氧化物阴极在使用时出现的异常现象和消除办法。讨论了如何正确的使用氧化物阴极,延长其使用寿命。根据动态发射中心理论提出了在动态真空系统中工作的电子枪多次曝露大气使用的方法,使在动态真空系统应用中阴极的使用寿命大大地延长。 相似文献
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本文基于对氧化物阴极热平衡关系的分析,提出了实现氧化物阴极迅捷准确改型的方法。文中以热子改型一次成功的实例,说明改型时的计算设计和相应的工艺处理所必须遵循的原则,该原则对间热式氧化物阴极和直热式氧化物阴极的改型乃至重新设计都同样适用。 相似文献
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扼要地阐述了孔度可控扩散式阴极的发展与特性。着重介绍W+25wt%Re合金箔孔度可控扩散式阴极工作范围宽(850~1100℃),发射电流密度大(3~50A/cm2)、蒸发少,抗中毒,耐轰击,长寿命的特点。 相似文献
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