激光调阻工艺参数对调阻精度的影响分析

激光调阻的工艺参数主要包括光斑重叠率、激光功率、调Q频率和调阻速度 ,它们选择的合适与否直接影响激光调阻精度 ,如何确定激光调阻工艺参数是激光调阻控制中的重要问题。文中从理论分析和实验数据分析两个方面研究了激光调阻工艺参数对激光调阻精度的影响 ,并给出了激光调阻工艺参数之间的函数关系式和实际应用 ,为激光调阻工艺参数的选择提供了必要依据。     

用YAG声光调Q激光进行电阻调整

本文综述了用YAG声光调Q激光对薄、厚膜电路进行微调的原理、器件和光学系统。叙述了激光调阻的优点、工艺及影响激光调阻精度的几个参数。给出了激光调阻的二个实例。     

激光调阻规律初探

本文导出了插入式和L形激光调阻时,阻值随调阻过程切割比例变化的规律,为激光调阻工艺的设计提供了理论依据。     

激光对Si单晶热敏电阻作用的实验研究

利用调Q-YAG激光对硅单晶热敏电阻的气化烧蚀效应,对硅单晶热敏电阻进行高精度激光调阻.用等效电路网络分析阻值变化情况,与实验结果相符.     

激光调阻预置式变速光刻控制

全自动激光调阻机是各种薄、厚膜片式电阻的工业化专用生产设备,提高调阻性能是提升设备生产力,降低生产成本,节能增效的主要途径.因此,在原系统基础上对激光调阻中光束定向控制系统进行改进设计,以先验知识为基础,构造预置、简单变速、实时变速等光刻控制模型,得到预置式变速光刻控制方法.它能根据不同的精度、速度要求和片阻初值偏差进行优化决策,实现在激光粗调电阻时,采用快速光刻;在激光精调电阻时,采用慢速光刻.这样不仅动态改变了片阻的光刻阻值变化率,提高了调阻精度,而且缩短了粗调光刻时间,提高了调阻速度,从整体上提高了激光调阻性能.     

厚、薄膜电阻激光快速微调技术

详细介绍了激光微调厚薄膜电阻的基理、激光调阻系统的构成、激光器选择、光束定位扫描系统及实时检测原理,并给出了调阻过程中各种相关参数。     

基于厚膜混合集成电路的激光调阻工艺研究

激光调阻具有高精度、高效率等特点,是目前厚膜混合集成电路最为常用的电阻修调方法。为了实现厚膜混合集成电路中精度电阻的制作,文章对激光调阻工艺进行了系统研究,内容包括探针卡焊接组装、调阻程序编制以及工艺试验研究。通过进行试验验证,选用L型调阻路径,调阻精度已达到±0.5%,满足设计要求。     

激光调阻机的光学系统设计

激光调阻机是通过激光打点切割,改变电阻体的导电截面积,从而达到把低于目标阻值的电阻体阻值修调到要求阻值允许的偏差范围内,适用于片状电阻器的快速大规模生产.在激光调阻过程中,通过高精度的数字电桥实时监测阻值变化,控制调阻进程,辅之以系统复杂的机械手操作,脉冲激光器高频输出,光束精确定位控制及其它机电操作控制,自动完成每小时十几万支电阻的调修生产,是集光、机、电一体的现代化高科技生产设备.调阻机光学系统主要由三部分组成:1)光源系统,2)光束扫描系统,3)光学监视系统.光源系统包括激光器、光束能量衰减器、扩束器等.作为激光调阻机的加工用光源,其特性参数对调阻效率、精度有直接影响,本机采用Nd∶YAG声光调Q脉冲固体激光器,光束模式为TEM00模.激光调阻时,薄膜电阻材质不同,所需要的激光功率也不同,通过在光路中加入衰减片的方法,可获得稳定的调阻功率.光束扫描系统由双向扫描振镜和聚焦f-θ透镜组构成,前者实现光束按要求偏转,后者对光束进行聚焦,使其焦点位于电阻片表面.聚焦镜头由多片透镜组成,除有普通光学系统的一般要求外,还要求该镜组达到扫描距离与扫描角度成线性关系.光学监视系统包括分光镜、变焦镜头、CCD相机和照明光源等.分光镜经过特殊镀膜处理,以实现对不同波长光的透过及反射要求.调阻用的激光是单色光,f-θ聚焦镜组在设计时无须考虑消色差.照明光源采用高亮度红光二极管,可获得清晰的观察效果.(OE33)     

一种复合型激光调阻工艺

激光调阻是混和电路常用的一种工艺，调阻方式主要有单刀型，双刀型，Ｌ型，Ｊ型，Ｕ型等。本文给出一种复合型调阻方式，它是为避免高精度电阻的Ｌ型调阻可能产生废品而设计的。这种废品的产生，主要是由于电阻器本身的阻值不稳定而重复进行微调时发生的。     

激光用于集成电路调阻

本文报导激光调阻仪在集成电路中之应用。这种设备是集成电路生产线上的基本设备。     

激光横向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究

激光在片式电阻上的横向切割长度对阻值影响较大 ,合理设计其长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率。通过实验数据分析得出激光横向切割的长度变化率与阻值变化率之间的定量结论 ,并拟合了有效横向切割长度的阻值变化率与切割长度变化率之间的关系函数 ,二者能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据。     

TureType字库在激光调阻机中的应用

为了获得一种用于自动激光调阻机中的激光打标系统,选用VB程序设计语言并采用API函数从TureType字库中提取字符信息,将字符信息保存为激光调阻机可读取的文件,以激光划线和激光扫描打点的方式打印空心字和实心字,并将激光打印程序指令化。结果表明使用API函数可以方便地提取字符信息和进行各种字符格式的变换,该系统已经运用到自动激光调阻机中。     

激光调阻机的使用与维护

对激光调阻机各个参数的确定及维护要点作出说明。     

片式电阻激光微调过程中的调阻精度控制

提出了一种基于激光刻蚀路径的修调电阻精度控制方法。该方法通过动态确定L型调阻图形的横、纵向切割长度实现对调阻精度的控制。存保证阻值测量精度的条件下,应用该法在0．1Ω～100MΩ的薄膜电阻阻值进行修调,调阻精度可达到1％。     

基于自适应测量步长的激光调阻控制策略

针对0603型片式电阻在不同位置的阻值变化率不同,提出了基于自适应测量步长的激光调阻控制策略。这种调阻控制策略可根据当前阻值与目标值的偏差百分比自适应选择测量步长。经过实验分析,与固定测量步长的控制策略相比,这种控制策略不仅能够保证激光修调精度也能提高激光修调效率。为了使这种控制策略能够广泛应用于不同电阻型号的激光修调,介绍了自适应测量步长控制策略的建模过程,在不了解刻蚀路径对阻值变化率的影响时可建模之后再应用这种控制策略。     

厚膜混合集成电路用的激光调阻系统

介绍厚膜混合集成电路用的激光调阻系统的机理，结构，切割图形及工艺参数。     

基于有限元法的激光横向刻蚀路径对片阻阻值影响的研究

应用激光对片阻阻值进行修调时,垂直于电流方向的横向刻蚀对片阻的阻值影响较大,合理设计横向刻蚀的起刻位置和刻蚀长度能够以较低成本提高激光调阻精度及调阻效率.应用有限元法可得激光横向刻蚀长度和横向起刻位置对片阻阻值影响的定性、定量结论.经实验验证:应用有限元法得到的横向刻蚀路径对阻值影响的定性结论与实验结论一致、定量结论的计算偏差不大于2%,能够为提高调阻精度和调阻效率提供控制依据.     

基于电阻细分的激光纵向切割长度对片式电阻阻值影响的实验研究

激光在片式电阻上的纵向切割对阻值变化影响较小,合理设计其长度可以提高激光调阻精度及保证阻值稳定性。通过电阻细分和实验数据分析得到激光纵向切割长度对阻值影响的定量公式。经实验验证：该公式的估算偏差不大于1％,能够准确预测经激光纵向切割的电阻阻值的变化趋势和速度,进而为提高调阻精度和保证阻值稳定性提供控制依据。     

自动激光调阻仪中主控计算机的改造

介绍了以通用微机替代激光调阻仪中主控计算机的一个实例。通用微机配有自行研制的ＧＰＩＢ接口卡及ＧＰＩＢ操作语句；在分析了激光调阻仪的工作原理及原测试软件的基础上，采用ＥＳＢＡＳＩＣ语言及大量调用汇编的方法编制了新的测试程序，它除了原有功能外，还可扩展新的电阻品种，十分灵活。原设备改造后经长时间运行，证明改造是成功的。     

DC／DC电源功能调技术研究

本文对ＤＣ／ＤＣ电源电路研制，生产过程中的功能调方面，提出了一个新的可行方法，从原理和参数确定等方面，阐述了如何提高激光调阻的工艺水平。