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相似文献
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1.
为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜,研究其结构和光学性质,采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜。实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜。利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析。所制备的样品均表现出高度的c轴择优取向,衬底温度为300℃时,薄膜表面形貌均匀致密;在样品的光致发光谱中,发现样品除了在380nm附近出现紫外发光峰外,在460nm附近出现了蓝光发光峰,真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射。结果表明,衬底温度对其晶体质量有较大影响。  相似文献   

2.
为了制备结晶质量好的Cu掺杂ZnO薄膜,研究其结构和光学性质,采用脉冲激光沉积方法,在Si衬底上选择不同的衬底温度来制备薄膜.实验成功制得了结晶质量较好的Cu掺杂ZnO薄膜.利用X射线衍射仪、扫描电子显微镜和荧光分光光度计对样品进行了测量和分析.所制备的样品均表现出高度的c轴择优取向,衬底温度为300℃时,薄膜表面形貌均匀致密;在样品的光致发光谱中,发现样品除了在380nm附近出现紫外发光峰外,在460nm附近出现了蓝光发光峰,真正意义上实现了ZnO薄膜的蓝光发射.结果表明,衬底温度对其晶体质量有较大影响.  相似文献   

3.
脉冲激光沉积制备NiO(111)外延薄膜及其结构研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
采用脉冲激光沉积法(PLD)在具有六方纤锌矿结构的蓝宝石衬底上制备了NiO外延薄膜,研究了沉积温度、氧分压对薄膜结构和形貌的影响。在650℃、20Pa氧分压的条件下制得了高结晶质量的单晶NiO薄膜。高能电子衍射分析发现,该NiO薄膜沿Al2O3[11–20]方向入射的衍射图像为清晰的斑点,说明NiO薄膜的生长模式为岛状模式,薄膜与衬底的外延匹配关系为:(111)[11–2]NiO//(0001)[11–20]Al2O3。  相似文献   

4.
利用脉冲激光沉积法在石英衬底上制备了镓掺杂氧化锌(ZnO:Ga)透明导电薄膜,研究了衬底温度对薄膜的结构、表面形貌和光电性能的影响.研究表明:制备的ZnO:Ga薄膜是具有六角纤锌矿结构的多晶薄膜.随着衬底温度的增加,衍射峰明显增强,晶粒尺寸增大.当衬底温度为450℃时,薄膜的最低电阻率为8.5×10<'-4>Ω·cm,...  相似文献   

5.
脉冲激光沉积制备Ge纳米薄膜的研究   总被引:1,自引:0,他引:1  
利用脉冲激光沉积(PLD)技术,在Ar环境下于Si基片上制备出Ge纳米薄膜.用X射线衍射(XRD)仪和原子力显微镜(AFM)观测了薄膜的微观结构和形貌,分析了它们随激光能量密度和衬底温度的变化情况.结果表明:Ge薄膜在室温下即可以结晶,其平均品粒尺寸随脉冲激光能量密度的增大而增大.当脉冲激光能量密度为0.94 J/cm2时,所制备的薄膜由约13 nm的颗粒组成;当脉冲激光能量密度增大为1.31 J/cm2时,颗粒的平均尺寸增大为56 nm,凡薄膜表面变得比较均匀.此外,当衬底温度从室温升到450℃过程中,晶粒平均尺寸随温度升高而增大.在实验基础上,对薄膜的生长机理进行了分析.  相似文献   

6.
脉冲激光沉积法制备PZT铁电薄膜及衬底温度对膜的影响   总被引:6,自引:1,他引:5  
罗皓  郑学军  周益春 《中国激光》2001,28(6):570-572
采用脉冲激光沉积法在Si(10 0 )衬底上制备了Pb(Zr0 .52 Ti0 .4 8)O3 铁电薄膜 ,并用X射线衍射 (XRD) ,扫描电镜 (SEM )对其结构、形貌以及结构随沉积时衬底温度的变化进行了研究。由脉冲激光制备薄膜的机制出发 ,从PbO ,ZrO2 和TiO2 熔融体的化学反应及应力造成能量释放引起的相变两方面分析了铅基铁电薄膜制备时衬底温度的影响。  相似文献   

7.
李可为 《半导体技术》2012,37(10):776-780,789
利用微波-电子回旋共振等离子(ECR)增强型PVD设备,低温外延生长了SiGe(C)薄膜。对所制备样品的结晶性、表面形貌和成分与衬底温度、衬底偏置电压的关系进行了讨论,采用反射式高能电子衍射仪(RHEED)、原子力显微镜(AFM)和X射线衍射仪(XRD)对薄膜的晶体质量和表面形貌进行了分析。结果表明,用单靶制备Si(C)薄膜,在衬底温度为450℃时会得到质量较好的单晶薄膜。而利用双靶制备SiGe(C)薄膜,衬底温度为400℃、衬底偏置电压-15 V时会制备出更好的单晶薄膜。在衬底温度为400℃条件下,添加电流导入端子,在原有设备和衬底温度不变的条件下,当电流导入端子电压为-15 V时,制备的SiGe(C)单晶薄膜材料的AFM均方根粗糙度(Rrms)由原来的0.52 nm降低到0.41 nm。  相似文献   

8.
用脉冲激光沉积方法,以多靶交替溅射方式,在SiO2/Si基底上沉积镱铒共掺Al2O3光学薄膜,讨论了脉冲激光能量对薄膜沉积速率、表面形貌、光致发光强度的影响.在脉冲激光能量较高条件下制备出的薄膜的光致发光性能较好,脉冲激光能量较低条件下制备出的薄膜的表面形貌较均匀.综合放大器增益系数对光致发光强度和光刻工艺对薄膜表面形貌的要求,薄膜应该在合适的激光能量下制备.脉冲激光溅射沉积方法与中频磁控溅射方法相比,在抑制上转换发光方面具有优越性.  相似文献   

9.
PLD法制备纳米类金刚石薄膜及衬底温度的影响   总被引:2,自引:1,他引:1  
欧阳钢郭建  颜晓红 《光电子.激光》2004,15(12):1456-14,591,463
利用脉冲激光沉积(PLD)技术在O2氛围下于α-Al2O3(0001)基片上制备出纳米类金刚石薄膜。借助扫描电子显微镜(SEM)、原子力显微镜(AFM)和Raman光谱分析了薄膜的形貌和结构随沉积时衬底温度的变化情况。结果表明:随着衬底温度的升高,薄膜颗粒尺寸减少;在衬底温度为550℃时,所制备的薄膜均匀、光滑,且大约是由14nm大小的颗粒组成。对薄膜的生长机理作出了分析。  相似文献   

10.
为掌握机械瓣膜衬底温度对类金刚石薄膜的影响规律,在实验中保持其它实验参数不变,机械瓣膜衬底温度分别取室温和150℃时,用脉冲激光沉积法在机械瓣膜上制备类金刚石薄膜。用Raman光谱仪对薄膜的微观结构进行检测;用原子力显微镜对薄膜的表面形貌和粗糙度进行检测。结果表明:当其它实验参数不变时,机械瓣膜衬底温度从室温升高到150℃时,薄膜的微观结构没有发生明显改变;薄膜表面的粗糙度减小。类金刚石薄膜和机械瓣膜衬底之间具有很好的黏附性。  相似文献   

11.
物联网的应用已逐步进入我国的某些领域,取得了很大成功.在未来的5至10年物联网将会在更大范围于全社会展开.本文首先介绍了物联网的概念和发展历史,分析了物联网应用的关键技术及体系,列举了物联网应用的现状及发展趋势,阐述了物联网应用过程中存在的主要问题,最后提出了武汉市在物联网发展过程中应采取的对策  相似文献   

12.
"杀手锏"、"产业链"问题及创新与发展策略   总被引:17,自引:1,他引:16  
随着3G的演进与宽带多媒体业务的发展,用户需求、市场运营模式已发生了本质改变,在这种多方依赖、共赢合作的环境中,必须处理好技术驱动与市场驱动关系,以及“杀手锏”和“产业链”问题,企业才能作出正确的战略决策,在激烈的市场竞争中取得成功。本针对这些情况,并结合中国国情,介绍了应关注的新技术,重点论述“杀手锏”、“产业链”问题及持续发展与不断创新关系的一些策略考虑。  相似文献   

13.
便携式温湿度无线监控系统的设计与实现   总被引:2,自引:1,他引:1  
利用新一代单片全校准、高集成度、小体积的数字式温湿度传感器SHT71,通过单片机的控制实现对温湿度的采集与显示,再经由无线收发传输采集到的数据与遥控各温湿度调节设备,并结合了便携式与PC机操作。使得此系统具有体积小、适用面广、使用方便等特点。  相似文献   

14.
利用软硬件结合方式,设计一种针对舰艇雷达及电子对抗装备主要性能的测试及评估系统,实现非接触测试,无须上舰,在距离舰艇100~200 m的码头,采用"定量比对法"对雷达及对抗装备的关键参数进行测试和评估。  相似文献   

15.
有线电视收费管理系统的研究与实现   总被引:2,自引:1,他引:1  
随着我国有线电视的发展,有线电视的收费管理问题日益突出,收费难已经成为全国各有线电视台有待解决的难题之一,严重制约了我国有线电视的发展。提出一种成本低廉、效果明显的有线电视收费管理系统,能够较好地解决上述问题。  相似文献   

16.
A brief review of the models that have been proposed in the literature to simulate the emissivity of silicon-related materials and structures is presented. The models discussed in this paper include ray tracing, numerical, phenomenological, and semi-quantitative approaches. A semi-empirical model, known as Multi-Rad, based on the matrix method of multilayers is used to evaluate the reflectance, transmittance, and emittance for Si, SiO2/Si, Si3N4/SiO2/Si/SiO2/Si3N4 (Hotliner), and separation by implantation of oxygen (SIMOX) wafers. The influence of doping concentration and dopant type as well as the effect of the angle of incidence on the radiative properties of silicon is examined. The results of these simulations lead to the following conclusions: (1) at least within the limitations of the Multi-Rad model, near the absorption edge, the radiative properties of Si are not affected significantly by the angle of incidence unless the angle is very steep; (2) at low temperatures, the emissivity of silicon shows complex structure as a function of wavelength; (3) for SiO2/Si, changes in emissivity are dominated by substrate effects; (4) Hotliner has peak transmittance at 1.25 μm, and its emissivity is almost temperature independent; and (5) SIMOX exhibits significant changes in emissivity in the wavelength range of 1–20 μm.  相似文献   

17.
对城域传送网PTN独立组网及OTN+PTN联合组网模式的网络结构及演进进行了深入探讨,并提出了组网时应注意的有关问题。文中有关数据主要借鉴烽火通信相关设备(OTN设备型号为FONST3000,10GEPTN设备型号为CITRANS660)。  相似文献   

18.
对敌威胁扇面角的确定是战斗机对敌舰进行打击、执行海上作战计划的重要环节,有助于提高编队体系作战能力。美国海军的“伯克”级驱逐舰拥有强大的攻击能力、卓越的防空和对舰作战能力。针对美国海军的“伯克”级驱逐舰,分析了有人战斗机和无人战斗机对其构成的威胁扇面角与预警半径、敌我距离、我机作战半径、导弹射程的关系,建立了对敌空中威胁扇面角定量模型。仿真结果表明了无人战斗机在远程打击上的优势。  相似文献   

19.
分别介绍了MMDS与HFC系统,通过对MMDS与HFC的比较分析,确立HFC在CATV系统中的主体地位,同时也肯定了MMDS系统在某些地区的不可替代作用和独特的五大优点。  相似文献   

20.
"电路原理"与"信号与系统"课程的整合与优化   总被引:2,自引:2,他引:2  
科学技术迅速发展,新兴学料不断增加,知识总量不断增长,迫使本科教育不断向着基础化方向发展,基础课程教学在本科教育中的地位愈来愈高。计算机技术的广泛应用,离散信号与系统的基础知识已是电气类各专业的必要的教学内容。因此基础课程要从根本上整体优化课程结构。本文提出了电气类专业“电路原理”与“信号与系统”课程教学改革方案,将两门课程教学内容进行整合与优化,并在实际教学过程中进行了教学试验,缩短了教学时间,提高了教学质量。  相似文献   

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