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砷化镓薄膜的电共沉积工艺 总被引:1,自引:0,他引:1
一、引言 众所周知砷化镓(GaAs)是一种重要的半导体材料,可用它制造太阳电池、光学滤波器、发光二极管、激光器和其它的光电器件。然而现有制备GaAs的工艺都是十分复杂、耗能大、生产周期长因而成本高,这样以来,就成为限制GaAs作为太阳电池等器件材料的主要因素。多年来,寻找低成本制备GaAs的工艺便成为半导体工作者的重要研究方向。这里介绍的称之为电共沉积工艺,就是一种低成本制备GaAs薄膜工艺。Chandra等人曾用此工艺成功地制备了CdSe、MoSe、WSe和CuIn-Se_2等薄膜,而对制备GaAs薄膜的研究报导却很少。 相似文献
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薄膜太阳能电池前景 总被引:2,自引:0,他引:2
本刊编辑部 《电子工业专用设备》2009,38(1):1-7
光伏产业已成为我国可再生能源产业中继风力发电之后发展最快的产业,光伏发电技术也是全球研究的热点之一。在薄膜太阳能光伏电池的优势和现有薄膜PV基础上,分析了薄膜光伏技术进入商业化的问题所在,探索了薄膜太阳能电池的应用及产能潜势,展望了α—Si与CdTe薄膜光伏产业前景。 相似文献
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对柔性GaAs基太阳电池的制备方法进行研究,报道了一种用于制备柔性倒置生长的AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池的剥离和转移方法——金属背支撑选择性湿法刻蚀技术.在GaAs/GaInP选择性腐蚀的基础上进行了GaAs衬底层的腐蚀,研究了不同类型和体积比的溶液对GaAs/GaInP/AlInP结构腐蚀的选择特性,最终选用不同配比的H2 SO4-H2 O2系腐蚀液,获得快速、可控制、重复性好的去除衬底的两步腐蚀法.原子力显微镜测试结果表明,通过此方法能够成功地将电池外延层薄膜转移到Cu衬底上,并且在剥离和转移过程中外延层薄膜没有受到损伤.柔性AlGaInP/AlGaAs/GaAs三结太阳电池的开路电压超过3.4V. 相似文献
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采用分子束外延方法在砷化镓衬底上生长了AlAs/GaAs双势垒量子阱薄膜结构。介绍了量子阱薄膜在单轴压力作用下的压阻实验,测试出薄膜在压力影响下的I-V曲线,并分析了量子阱薄膜压阻效应的成因。通过实验证实了量子阱薄膜具有较高灵敏度的压阻效应,其压阻灵敏度比目前常用的多晶硅的压阻灵敏度提高一个数量级。 相似文献
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提出采用超薄银薄膜和具有陷光结构的薄TCO薄膜组成的复合膜层作为薄膜太阳能电池前电极,有效利用了超薄银膜的高电导性、高透过性,并解决了单银膜无法制作陷光结构以及在产业化生产过程中存在的激光选择性刻划问题。实验采用直流磁控溅射法在9个不同厚度的SnO2:F薄膜导电玻璃上制备方阻为3/,透过率为89%,厚度为10-15nm的超薄银膜构成前电极,并采用相同的工艺制作成单节的非晶硅薄膜太阳能电池组件,结果表明,方阻为80/的SnO2:F薄膜与超薄银膜构成的前电极能获得最佳的非晶硅薄膜太阳能电池输出性能,相比于普通的非晶硅薄膜太阳能电池输出功率提升了4%。 相似文献
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PI衬底柔性透明硅薄膜太阳能电池的制备及性能 总被引:1,自引:1,他引:0
利用硬质玻璃为载板,采用传统硅薄膜太阳能电池生产设备,在聚酰亚胺(PI)塑料薄膜衬底上沉积了B掺杂的ZnO(BZO)薄膜,并以此作为前电极制备了单节电池结构及多节串联一体结构的非晶硅(a-Si)太阳能电池;研究了PI衬底上BZO薄膜的光学及电学性能。结果表明,PI衬底上沉积BZO薄膜后在300~1 200 nm波长范围的透光率为76.63%,方块电阻19.7?/□。所制备的单节和多节串联一体结构的a-Si薄膜太阳能电池的转化效率分别达到6.45%和5.1%,封装后电池组件具有一定的透光性,透光率约达到30.2%。 相似文献
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Aaron Hand 《集成电路应用》2008,(9):26-28
尽管薄膜硅太阳能电池的转换效率并不能和当今的主流技术相媲美,然而一旦考虑每千瓦(特)小时能量的生产成本,这项技术就能够脱颖而出。随着半导体和平板技术的发展,薄膜硅太阳能技术将能够帮助太阳能产业实现预期的宏伟目标,即太阳能发电成本与现有电力成本持平。 相似文献
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硫化锌薄膜的原子层沉积生长及表征 总被引:1,自引:0,他引:1
为满足硫化锌(ZnS)薄膜在光学薄膜领域进一步应用的要求,基于原子层沉积(Atomic Layer Deposition, ALD)技术在130℃温度下以二乙基锌(DEZ)和硫化氢(H2S)为反应源,在砷化镓(GaAs)衬底表面沉积了ZnS薄膜。用扫描电子显微镜(Scanning Electron Microscope, SEM)分析了样品的表面形貌和膜界面特性,用X射线衍射仪(X-ray Diffraction, XRD)分析了薄膜的结构特性,并通过X射线光电子能谱(X-ray Photoelectron Spectroscopy, XPS)分析了薄膜的化学成分。研究了厚度对薄膜结构和形貌的影响。结果表明,得到的ZnS薄膜为多晶结构,薄膜的厚度随循环数线性增加,速率为1.45 ?/cycle。对在75℃温度下烘烤48 h后的薄膜进行了XPS分析,得出的Zn/S比为1.07:1,表明烘烤除去了薄膜中残存的H2S。以较短生长时间得到的较薄的薄膜具有更好的表面平整度和更致密的结构。 相似文献
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太阳能电池及其设备 总被引:1,自引:1,他引:0
翁寿松 《电子工业专用设备》2008,37(4):1-5
以太阳能电池为代表的光伏产业是朝阳产业,目前它处在历史上最大爆炸式的成长期。2007年全球光伏产业市场212亿美元,2012年增长至709亿美元,2007~2012年年均复合增长率27.31%。目前太阳能电池处于以单晶或多晶硅为衬底的第一代产品,正在向以硅体或非晶硅(隐瓷或玻璃)为衬底的薄膜太阳能电池(第二代产品)过渡。目前太阳能电池的原材料多晶硅处于供不应求,预计2010年可得到缓得。 相似文献
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纵观世界光伏领域,各种技术百花齐放,各个厂家百家争鸣。薄膜技术与晶硅技术是目前两个最具代表性的技术,二者相辅相成共同承担了目前光伏发电的历史使命。其中薄膜太阳能技术本身发展已经有二十多年的历史,并不算是新兴的技术,自1992在美国加州建成世界上第一座290KWp的非晶硅电站以来,非晶硅薄膜技术一直在稳定可靠的为世界提供清洁能源。普乐新能源以改善世界环境为己任,努力为人类社会与环境的和谐发展做出自己应有的贡献。——普乐新能源有限公司总经理孙嵩泉博士 相似文献
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