F—3500型涡轮分子泵设计计算及性能测试

七十年代以来，国内各真空应用领域和科研部门对涡轮分子泵的发展高度重视。许多学者和专家对涡轮分子泵都做了大量的工作。从理论研究到设计制造都积累了许多宝贵经验，目前已趋于完善阶段。中、小型涡轮分子泵的产量逐年增加，泵的主要性能指标接近国外水平，为补全涡轮分子泵的系列，增加大规格产品，进一步满足各使用部门的急需，１９８２年，由原第一机械工业部军工局下达给我所Ｆ－３５００型涡轮分子泵的研制任务。经过三年多的努力，我所自行设计、制造和调试成功。于１９８６年９月通过部级鉴定。鉴定结论指出：Ｆ－３５００型涡轮分子泵的极限压强、压缩比和抽速三项主要性能指标都达到了原设计技术要求，几项参考指标也不低于同类型产品水平。     

涡轮分子泵制造工艺的一些改进及其在微波管排气的初步应用

我所制造的ＡＧ０７５、 ０２８型立式涡轮分子泵与我国ＦＢ—１型立式涡轮分子泵是同一类型产品。在制做过程中对电机、隔离环等进行了一些改进。产品制成后，对Ｏ型运波管进行了排气实验，通过排气过程的质谱分析及管子封离后的频谱分析表明管子的主要性能（信／杂、寄生调频、边带噪声等）都优于有油排气系统（机械泵＋扩散泵＋冷阱），平于无油排气系统（分子筛吸附泵＋钛升华泵＋离子泵）。     

双拖动分子泵

介绍一种新颖拖动分子泵，其抽速达到传统拖动分子泵的３０倍左右，达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强（１－１００Ｐａ）性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。     

超高真空大抽速复合分子泵的设计

本文介绍了一种超高真空大抽速复合分子泵的研制,该型分子泵转子采用了涡轮叶片与螺旋槽式牵引级的复合结构,由整体加工而成。文中重点介绍了复合转子的设计及优化,并对定片隔环一体型结构与复合底盘结构的设计以及改进进行简要介绍。该型复合分子泵的抽速比同口径涡轮分子泵高10%左右,同时具有更高的压缩比与抗前级压力,可以在100Pa的真空压力下启动,排气端不需要匹配较大的前级泵就可满足抽气要求。该型分子泵动平衡性较好,结构简单,集成性较高,整机的制造成本相对涡轮分子泵更低。     

TURBOVAC型立式轴流涡轮分子泵的设计结构和数学理论计算

在ＳＮＥＣＭＡ和ＣＥＡ两家公司己取得经验的基础上，近几年来ＴＵＲＢＯＶＡＣ型涡轮分子泵已发展成为一个系列。本文介绍了其中的２００，４５０和１５００型的分子泵；描述了立式涡轮分子泵的设计结构和操作方法；详细地介绍了一种数学理论方法，这种方法参照单级和多级压缩机来设计涡轮结构。     

国外新产品

PFEIFFER—TURBO 040型涡轮分子泵 西德普法伊费尔公司最近研制成一种新式的微型涡轮分子泵──PFEIFFER-TURBO 040型泵,这是已知涡轮分子泵中最小最轻的泵。这种泵为单流式结构,具有其他涡轮分子泵的全部优点,抽速可充分进行利用,泵可以在任何位置进行安装,从直立式乃至水平位置都可以。另外,泵采用新式的混合轴承,因此使泵达到了最小的振动和最低的噪音,这样就更适用于真空分析仪。这种泵采用对流式空冷,冷却装置成为泵内的一个部件。采用各种不同的高真空连接法兰,使泵很容易连接到各真空系统上。 泵的对氮抽速为 40升/秒,对…     

ZhP－30型氦质谱检漏仪的设计特点和性能

ＺｈＰ－３０型氦质谱检漏仪采用涡轮分子泵真空系统，以逆扩散方式检漏；只有一个操作手柄的组合阀可完成预抽、检漏和放气的全部功能；取代传统的冷规，用总离子流测量质谱室压强并提供对灯丝的过压保护．本文给出分子泵作检漏用的各项特性。仪器最小可检漏率＜５×１０（－１１）Ｐａ·ｍ３／ｓ．     

亚暴环境材料试验设备真空系统的研制

为研究磁层亚暴环境中空间材料的表面电位、表面电导、体电导、光电子发射、二次发射，以及充放电特性而研制了此真空系统．设备主泵为抽速１２００ 升／秒的涡轮分子泵，其前级为液氮阱－罗茨泵－直联式机械泵组成的前级机组。由大气抽到１．３帕需１５分钟，涡轮分子泵启动后， ４０分钟可抽到 ６．５×１０－４帕。 本文由四部分组成。第一部分论述了磁层亚暴环境设备对真空度的要求，以及国外同类型的各种模拟设备；第二部分给出了设备结构．真空室直径为０．５米，长约０．８米，开有太阳模拟、电子、紫外、离子等入口。筒体用６毫米厚不锈钢卷制而成。活动接口米用金属密封。真空室中样品台可工作在－１００℃～十１００℃范圈内，低温使用冷氮气，高温采用空气加热器。样品台要求有往复直线运动，为保障高低温下均具有气密性，采用了套管结构。前级阱用液氮冷却，液氮胆直径１２０毫米，高２３０毫米，用２毫米厚不锈钢板制造，每小时耗液氮不足２升，第三部分示出了系统运转特性曲线，以及机械泵加冷阱粗抽系统的抽气特性和谱图；最后分析了设备的结构特点。     

兰州重离子加速器真空系统的设计问题

兰州重离子加速器是串列回旋加速器系统，用以加速从氢到氙的重离子。注入回旋加速器真空系统利用了原有油扩散泵。主回旋加速器真空系统是由一台１００立方米真空室和一套相应的超高真空系统组成的。本文介绍了主回旋加速器真空系统的设计要求、选取的设备和运行情况。选用的八台ＢＡＬＺＥＲＳ ＲＫＰ８００低温泵具有总抽速１６０ｍ２／ｓ，可满足设计气载的要求，在真空室内获得１０－６Ｐａ真空．两台ＰＦＦＥ　ＩＦＥＲ　ＴＰＨ５０００涡轮分子泵组成辅助排气系统．另外还有粗抽系统和液氮流程。全系统已于 １９８６年９月建成并投入运行。其性能满足设计要求．     

涡轮分子泵电源制动单元的研究

研究了涡轮分子泵电源制动单元的设计、制动功率和制动电阻的计算方法。为涡轮分子泵选用理想制动电阻提供依据。根据此设计和计算方法为我公司生产的FD系列涡轮分子泵电源选用了最佳的制动电阻,使涡轮分子泵的停车减速时间大为缩短,该泵的性能和效率显著提高。     

空冷型涡轮分子泵的研制

本文介绍新研制的空冷型涡轮分子泵系列。性能测试和现场试验与过去的水冷型相比，在抽速、压缩比、极限真空、剩余气体、振动、噪声等方面都得到了等于或超过以前的结果。新型空冷涡轮分子泵的特点是： （１）不需水冷，所以安装和操作简单，而且可靠。 （２）润滑油的寿命长，超过一年。 （３）与溅射离子泵和冷凝泵等其他超高真空泵相比，运转和维护费用最低。 该新系列的研制是把日本岛津多年经验的飞机用高速转动机器和各种真空机器的设计、制造技术为基础而实现的。同时还研制了具有不同特点的控制回路和保护回路的泵用高频电源。因为涡轮分子泵既适用于无油反复抽降，也适用于长时间超高真空抽气，所以可望广泛应用．目前研制的空冷涡轮分子泵有抽速 ２２０升／秒、４５０升／秒和１４５０升／秒三种规格。     

新书介绍

苏联最新出版一书──涡轮分子真空泵 共 119页,其内容丰富,篇幅短小精悍。是真空技术方面一本很有实用价值的新书。该书着重的介绍了有关涡轮分子真空泵的理论、转子的计算、抽气性能的计算,以及泵的结构设计等等。对我国涡轮分子泵设计、研制、使用将起到一定参考作用。此外本书还叙述了苏联以及西方国家试验研究结果。本书作者E· C· 是莫斯科鲍曼高等工业学校教授,长期从事分子泵方面的研究,是苏联分子泵方面的权威。 本书适用于从事涡轮分子泵设计、制造、应用的工程师及科研工作者,对从事各种类型真空设备的设计、调试及使用维修的…     

抽速可达40米^3／秒的高能力涡轮分子泵系列

本文记述了抽速为５－２０米＾３／秒（对Ｈｅ）的高可靠性涡轮分子泵及其参数，经系列泵根据双流层原理制成，其极限压强大的约为５×１０＾－８Ｐａ；压缩比为（０．６－２．１）×１０＾４（对Ｈ２）和（０．９～３．２）×１０＾５（对Ｈｅ）溅余气体的主要成分是氢气，同时，此原采用了动密封以防来自轴承装置的油渗入被抽空腔内。油通过轴承被排出，在泵设计中对其入口法兰不同位置进行了设想（角度为４５°）此系列泵对突然性     

涡轮分子泵电源分析与研究

本文主要对一种F-150型涡轮分子泵电源设计要求和工作原理进行详细地分析和讨论。     

JGP—600型磁控溅射薄膜沉积装置的研制

本文介绍了一种新的ＪＧＰ－６００型磁控溅射沉积薄膜装置。该装置采用射频和直流兼容的磁控溅射靶，靶－基距可以在工作时调节，ＫＡＵＦＭＡＮ源离子束清洗，涡轮分子泵真空系统，磁力偶合输送机构及行星转动工作架。测试表明本装置是一台先进的半导体工艺设备，７５ｍｍ样品的膜厚均匀度不大于５％。     

粒子加速器用磁滞式电机的涡轮分子泵

普通的涡轮分子泵采用电子变频电源或频率变换器，来提供涡轮分子泵的起动电源（频率发生器）和速度调节的保护控制。由于从几种设计中受到启发，研制了一种带有自动同步磁滞式电机的涡轮分子泵，用于核物理加速器或其它大型设备中。该电机不要求特殊专用电源。本文介绍了一种可以由中心电源操纵的涡轮分子泵，中心电源可以提供稳定电压和中频电源。该涡轮分子泵能够直接接在电源上，对于涡轮分子泵的广大用户来说，这样可以大幅度降低购价和安装费用。     

涡轮分子泵在磁场中的问题

随着涡轮分子泵在等离子物理学中应用的增加，在涡轮分子泵附近的强磁场问题，越来越经常地被提出来了。假如涡轮分子泵的旋转叶片，以高速度在磁场中旋转的话，则旋转叶片中的涡流，会引起泵的意外发热。每台涡轮分子泵的磁力线密度，由一系列泵的实验来测定。对磁场比较高的密度来说，必须使用屏蔽元件，因为泵的旋转叶片过分发热，会引起泵的损坏。     

涡轮分子泵叶列传输几率的计算──积分方程法

本文介绍了积分方程法计算涡轮分子泵叶列传输几率的数学模型和计算机程序框图，并用自编的电算程序对叶片角α＝１０°～４５°，节弦比Ｓ０＝０．５～１．８，速度比Ｃ＝－１．０～１．０范围内的各种不同参数的叶列传输几率Ｍ１２和Ｍ２１进行了计算，其值见附表１～１４，从而为涡轮分子泵进行定量的理论分析和理论计算提供了必须的手段．     

F-600型涡轮分子泵小批投产鉴定会园满结束

元月十六日至十八日,沈阳市通用机械工业公司组织鉴定会 议,对沈阳市真空机械二厂生产的F-600型涡轮分子泵进行产品 鉴定。东北工学院、沈阳真空技术研究所、二机部五八五所、中国 科学院高能物理所、上海核物理所及省市局领导同志等三十多个单位的代表参加了会议。二机部五八五所根据合同要求对产品进行了验收。 F-600型涡轮分子泵是沈阳真空技术研究所七八年科研成果,沈阳市真空机械二厂与沈阳真空技术研究所为推广这一科研成果,发展真空产品品种,提高真空工业技术水平,不断满足用户需要,决定将F-600型涡轮分子泵进行工业生产。沈阳市真…     

双拖动分子泵

介绍一种新颖拖动分子系，其抽速达到传统拖动分子泵的30倍左右，达到了涡轮分子泵的水平。该泵高压强（1～100Pa）性能明显优于涡轮分子泵。泵的结构则简单得多。