微光机电系统国内外研究进展

本文概述了国际上十分重视的微光机电系统的产生、发展及其显著特点,并从微制造技术、微器件与系统及激光机电系统的应用等几方面简要介绍了国内外发展现状。我国微光机电系统的研究起步并不算晚,近年来成果十分显著,但要缩小与世界先进水平的差距,还需多方面的努力。     

基于微光机电系统的微感知技术

微光机电系统技术是在微机电系统技术基础之上发展起来的具有多种学科交叉融合特征的前沿高新技术,在该技术上建立的微感知技术是未来微系统技术的核心技术之一.由于微感知技术具有微型化、集成化和智能化的特点,未来在国防军工、精密仪器、特殊工业,以及环境检测等领域将有广泛的应用前景.首先描述了微感知技术的技术特征,同时对当前国内外的微感知技术研究情况进行了介绍,总结了微光机电系统的几个亟待突破的技术问题,并指出了微感知技术面临的挑战.通过对发展微感知技术需要关注问题的思考,对我国微感知技术的发展提出了建议.     

光电子技术

TNZ,TN713 2005010086徽光机电系统浦波器可调谐特性分析/沈伟东,朱勇,黄弼勤,陈海星,刘旭,顾培夫(浙江大学)11光学学报.一2004,24(s)一1125-1129分析了基于法布里一拍罗腔的徽光机电系统可调谐滤波器中,空气腔厚度与峰值波长间的关系.微光机电系统中,空气腔的厚度一般在一个波     

微电子学、集成电路

fN吐〔)1030543微机电系统科学与技术发展趋势/王立鼎,刘冲(大连理工大学)I]夕司奎理工大学学报一20(〕。,4。(5)一5 05一508阐明了微机电系统(M EMS)的学科内涵与应用范畴.着重介绍了国外M EMS的研究情况.研究表明微尺度下一些物理现象与宏观世界的存在差别;论述了LIGA加工、刻蚀技术等微制造技术.总结了国内的研究工作,给出了我国在基础理论、材料、工艺、元器件、测试及微系统等方面的研究情况,并提出发展我国微机电系统的jL点建议.参7(木)1、N4 01030544用于5 P ICE模拟高频互连效应的RLC电路模型/宋任儒阮刚,梁擎擎,朱兆nlil…     

微光机电系统

在过去的5年中,利用大规模集成电路制造技术制造的象衍射和透射微小透镜等微光学元件引人注目.这一重要科技成就引起一场光学技术革命.美国Rockwell科技中心的Ed-ward应《Optical Engineering》特约对此进行了综述.利用微光学元件缩小仪器尺寸能够改进很多光电系统,从电视摄象机,可视电话、小型软盘存贮器到自动成像观测,光学中继器到高清晰度投影显示.微光学系统中所应用的象二元光学元件和塑料微光学元件复制等技术在过去5年发展过程中已经能够应用到集成技术中去.与此同时发展了另一门前沿科学,称为微机电(MEM)技术.MEM技术已经应用到汽车、机械工具、气压传动和通用微传感器上.微光机     

微光机电系统及其应用

微光机电系统（MOEMS）是在微机电系统（MEMS）基础上发展起来的一种新技术系统,它是由微光学,微电子和微机械结合而产生的一种新型的微光学结构系统,MOEMS在信息,军事,航天,医学,工业等领域有着广阔的应用前景,综述了近年来微光机电系统的发展和应用。     

光电子技术

TNZ 00010191机载红外搜索跟踪系统/朱耘(华中光电技术研究所)冲现代防御技术.一1 999,27(5)一47一52红外搜索和跟踪(IRST)系统是迅速探测红外威胁源的存在,识别威胁源的种类,测定威胁源的方位并报警的一种光电系统.介绍了对机载IRST的性能要求,美国和欧洲等对机载IRST的研制及装备概况,分析了今后机载IFST系统的发展方向.图3参3(许)TNZ00010192卫星捕获与大气补偿技术/张景旭(中国科学院长春光机所)11光机电信息.一1999,16(10)一3一6文中详细介绍了人造卫星轨道状态及用地基望远镜的捕获方法,讨论了自适应光学技术对大气扰动的补…     

微电子学、集成电路

TN4 02040672微机电系统的研究内容与发展现状/李国平,陈子辰(浙江大学) 微电子学。-2001,31(6)。-389-391概述了微机电系统(MEMS)的定义和特征,从理论基础、技术基础和工程应用三方面,阐述了微机电系统的研究内容,简要介绍了MEMS基础技术及MEMS器件的研究现状。图1参10(午)TN4 02040673微电子机械技术的发展与现状/杨宏,王鹤(西安交通大学) 微电子学。-2001,31(6).-392-394文章回顾了微电子机械技术的发展历程和研究内容,介绍了国内外一些具有发展前景的微电子机械系统,以期揭示未来的发展方向。 (午)     

微光机电系统技术的研究与应用(下)

二光学研究和应用 　　微光学平台是微光机电系统技术应用的一个典型例子,它主要用于光学测量和实验.传统的光学系统平台体积大,系统中的元件是先分开制造然后组装而成,装配量很大,成本很高.而微光学平台体积小,系统中的元件可集成加工在单一芯片上,对准精度高,可成批生产,成本低.这些优点使微光学平台相对于传统的光学系统有很大的优势.所以,该方面的研究是微光机电系统研究的最基本部分.研究包括各种微铰链(图7(a))、微反射镜(图7(b))、微衍射透镜(Fresnel,多阶二元微透镜(图7(c))、微折射透镜(图7(d))、光束分离器和光栅等.图8所示为美国加州大学洛杉矶分校提出的微光学平台样机.该微光学平台由微透镜、分束器、反射镜和光栅等元件通过铰链组装技术集成在一个芯片上. 　　……     

微电子学、集成电路

TN4 00010535CLA加法器混合式BIST方案/曾平英,毛志刚,叶以正(哈尔滨工业大学)11电子学报,一1 999,27(5)一108一110文中以先行进位加法器为例,将确定性测试方法与伪随机测试方法相结合,提出了实现内建自测试电路中测试生成器的、在测试时间和测试电路硬件开销之间取得折衷的几种方案.最后,比较并分析了所得结果.图3表2参6(金)成电路得以迅速发展,微电子技术将与其它技术结合形成一系列新的增长点,微光机电系统(M OMEs)、DNA芯片等将得到突飞猛进的发展,1 999年的微电子技术将在超微细光刻技术、铜互连及低k互连绝缘介质、高k栅绝缘介…     

MEMS光开关的控制

ME MS（Micro-Electro-Mechanical Systems，微机电系统）是将微型机械、微型执行器、信号处理和控制电路等集于一体的、可批量制作的微型器件或系统。MOEMS则是Micro—Opto—Electro-Mechanical System的缩写。把微光学应用到微机电系统中，这是MEMS在光通信中的重要应用。微光电机械芯片通常是指包含一个以上微机械元件的光系统或光电子系统，其应用将遍及光通信、光显示、数据存储、自适应光学及光学传感器等多个方面。     

“第五届全国毫米波、亚毫米波学术会议”征文

第五届全国毫米波、亚毫米波学术会议将于2 0 0 4年11月在北海召开(具体时间、地址另行通知)。本次会议由中国电子学会微波分会毫米波亚毫米波专业委员会主办,南京理工大学毫米波光波近感技术研究所及微小型探测系统研究中心承办。1.征文范围1.电磁场理论与数值方法　　9.毫米波电路CAD2 .毫米波天线与散射10 .新材料及新器件3.毫米波有源器件及电路11.毫米波电子对抗技术4 .毫米波无源组件及电路12 .超导毫米波亚毫米波器件及应用5 .亚毫米波及光技术13.微机电(MEMS)器件在毫米波亚毫米波中的应用6 .毫米波系统及应用14 .微光电子机械(…     

印制电路与集成电路

SPIE-Vol.4019 0217346SPIE 会议录,卷4019:微机电系统/微光学机电系统的设计、测试、集成与封装=Proceedings of SPIE,Vol.4019:Design,test integration and packaging of MEMS/MOEMS[会,英]/SPIE-The International Society forOptical Engineering.—596P.(E)本会议录收集了在法国 Paris 召开的微机电系统/微光学机电系统的设计、测试与封装会议上发表的69篇论文,内容涉及微机电系统的计算机辅助设计,MEMS 惯性传感器的行为模拟,微光学系统的设计优化,CMOS 压控振荡器设计,表面微加工 MEMS 中高级故障模拟,CMOS 磁场传感器,硅光集成电路。     

微光机电系统的应用领域及近期进展

对微光机电系统（MOEMS）兴趣的惊人增长吸引了包括众多戌中心和工业企业的投入。大量的MOEMS应用领域为之发展提供巨大机遇，如光通信（光开关，交叉连接矩阵，DWDM系统等）、数字图像处理、自适应光学以及工业维护、环保、生物医疗等等。本文简述MEMS（微机电系统）和MOEMS的概念后，着重介绍MOEMS的应用领域和几种典型器件。采用MEMS工艺技术制备出诸如DWDM通信系统用的可调谐F－P干涉仪或用于障碍物探测的二维扫描器等器件。已开发出多种专用技术，制备成功应用于障碍物检测的二氧化硅一维扫描器件。另外，一些器件是微机械与集成光学相结合的MOEMS：例如通信系统中作为网络保护和重组应用的微光开关，用作电动机转动机械部件检测的微振动传感器等。     

微光机电系统

<正>微光机电系统(MOEMS)是以批量化的微电子技术为基础,通过各向异性腐蚀、各向同性腐蚀、牺牲层腐蚀、键合等技术,制造出各种微机械结构,并使之与电路相集成,组成一个可以完成信息获取、处理及执行功能的微系统。     

热畸变激光光束的闭环自适应补偿

随着基于硅微加工技术的微机电(MEMS)技术的发展,搭建低成本的自适应光学系统以校正激光束畸变成为可能。首先根据模态耦合理论分析了热畸变对光束质量的影响,并用数值方法得到理想基模和畸变基模耦合振幅与泽尼克(Zernike)畸变之间的关系。然后采用一种新型的微机电变形反射镜搭建了一个闭环自适应光学实验系统,用来对热畸变激光光束进行补偿,并对自适应闭环控制方法进行了研究。闭环实验结果显示闭环自适应光学实验系统能很好地改善激光束质量,斯特列尔比(StrehlRatio)平均可以达到80%。     

微机电系统关键技术及其研究进展

微机电系统(MEMS)是在微电子技术的基础上兴起的一个多学科交叉的前沿领域,集约了当今科学技术发展的许多尖端成果,在汽车电子、航空航天、信息通讯、生物医学、自动控制、国防军工等领域应用前景广阔.该文介绍了微机电系统发展的背景与基础理论研究,综述了微机电系统所涉及的器件设计、制作材料、3大加工工艺(硅微机械加工、精密微机械加工与光刻、电铸和注塑(LIGA)技术)、微封装与测试等关键技术,总结了微机电系统在微纳传感器、微执行器、微机器人、微飞行器、微动力能源系统、微型生物芯片等方面的典型应用,最后指明了MEMS技术的发展趋势,有望在近几十年将大量先进的MEMS器件从实验室推向实用化和产业化.     

第六届红外光电子材料科学和材料特性会议

1.计算光机电学及其在微机电垂直腔表面发射激光 器中的应用(Sergey E.Lyshevski)2.用于光学应用的空间毫微结构型硅(Dmitri I.Ko- valev等)3.红外探测器技术的竞争性(Antoni Rogalski)4.基于用分子束外延生长的碲镉汞层的红外光电探 测器(Vladimk V.Vasilyev等)     

总论

0118201微光学技术及其发展[刊]/杨国光//红外与激光工程.—2001,30(4).—235～240(E)微光学技术是90年代发展起来的光电学科前沿技术,是光电技术列阵化、微型化、智能化的主要发展方向。微光学技术已经在光通讯、光开关、光扫描、光互连中得到应用。文中就微光学的二元光学、衍/折混合光学、微透镜阵列的原理、工艺方法、主要应用、发展趋势以及我们的研究进行了叙述。     

集成微系统概念和内涵的形成及其架构技术

介绍了集成微系统概念与内涵的发展历程,从小型智能化和频谱开发两个方面总结了集成微系统技术的重要应用,分析了国内外集成微系统架构技术的研究进展。最后,简单介绍了高压高频光机电异构集成微系统技术,这是集成微系统中起点高、难度大、富有特色的一个重要研究方向。