快放电激发XeOH准分子的发射谱

本文报道了Xe/H_2O/He混合气体在快放电激励下XeOH准分子的紫外发射谱。无结构荧光谱带半功率点宽度为6nm,峰值在235nm。给出了谱的强度与H_2O分压、Xe分压、总气压及工作电压的关系。     

大气压大体积非平衡等离子体放电技术

大气压大体积非平衡等离子体技术对燃烧和激光等领域的发展起到了良好的推动作用.本文以解决大气压下放电不稳定性问题为主线,介绍了阵列式针状阴极放电、毛细管介质阻挡放电、等离子体阴极放电、微空心阴极放电以及微空心阴极辉光放电发生器的结构特点和设计思想,分析了不同放电装置的优势与不足,总结了目前实际应用中大气压大体积非平衡等离...     

射频辉光放电硅烷等离子体的光发射谱研究

通过对RF—PECVD技术沉积氢化非晶／微晶硅(a—Si：H/μc—Si：H)薄膜沉积过程中硅烷(SiH4)等离子体的光发射谱(OES)原位测量,系统地研究了不同的等离子体工艺条件下,特征发光峰强度(ISiH、IHα和IHβ)的变化规律。结果表明：随着SiH4浓度增大,ISiH^*单调增大且在不同浓度范围内变化快慢不同,而IHα和IHβ峰表现为先增后减的变化,最大值位于3—5％的SiH4浓度之间;工作气压的增大,各特征发光峰均呈现出先增后减的变化,但最大值对应的工作气压点有所不同;增大等离子体功率,所有的特征发光峰单调增加,但在不同的功率区间内变化快慢存在明显差异;气体流量在40一75sccm范围内变化时对特征发光峰的影响最为显著,更低流量时变化很小,更高流量则趋于饱和;衬底温度不仅影响生长表面的发应,对SiH4分解机制的影响不容忽视。     

放电准分子激光器的泵浦强度

放电准分子激光器的泵浦强度引言众所周知，准分子激光器要求相当高的泵浦强度水平。放电准分子激光器中一般的泵浦强度为每立方厘米几十兆瓦到几兆瓦［‘－’］，而且对于某些类型的准分子激光器，从最大泵浦效率的角度来看，这一参数的最佳值完全不同。例如，对于含氟气...     

准分子激光放电回路的研究

对高压放电泵浦的准分子激光放电回路进行了探讨。运用等效电路方法，给出了准分子激光工作气体在击穿放电前后的电路变化规律，同时分析了能量转移效率与回路参数之间的关系，这为设计高效率和稳定可靠的准分子放电回路提供了理论上的参考依据。     

直流辉光放电中电子分布特性的研究

采用粒子模拟与蒙特卡罗相结合的方法,通过编写三维的直流辉光放电电离的模拟程序,对其中的电子进行了研究,得到了直流辉光放电中电子的相空间分布和电子的能量统计分布等特性。模拟结果很好地解释了直流辉光放电的电离特性。     

微空心阴极放电与高压辉光放电等离子体源

首先综述了微空心阴极放电的基本原理,然后详细论述了微空心阴极维持的辉光放电(MCSD)以及MCSD的放电参数对产生大体积高压辉光放电等离子体源的影响,最后论述了MCSD运行方式对产生高压辉光放电等离子体源的影响。     

高频辉光放电等离子体系统中自负偏压现象的数学解析

讨论了高频辉光放电等离子体繁育中绝缘衬底表面的自负偏压问题，用等效电路方法给出了自负偏压的数学解析。     

放电激励的100W XeCl准分子激光器

介绍一台放电泵浦的ＸｅＣｌ准分子激光器。其最大单脉冲能量５５０ｍＪ，在２８０Ｈｚ工作时输出功率达１０６Ｗ。     

脉冲放电时间对XeCl准分子激光输出的影响

本文研究了脉冲放电时间对X光预电离XeCl脉冲雪崩放电激光器激光和荧光特性的影响。结果表明限止放电型XeCl准分子激光脉冲持续时间的因素是HCl在放电过程中分解产生的H对XeCl（B）态的猝灭效应。     

100W XeCl准分子激光器的放电特性

通过对一台放电泵浦的100WXeCl准分子激光器进行实验,给出了放电波形和放电能量在激光气体中的耦合情况。     

采用聚四氟乙烯板表面预电离放电激发XeF准分子紫外发射谱

无外加氟施主情况下，在装有聚四氟乙烯面预电离板的准分子激光器中，放电激发Ｘｅ／Ｎｅ混合气体产生了ＸｅＦ准分子。研究了中心波长为３５１ｎｍ，３５３ｎｍ和３０８ｎｍ的发射谱。放电激发Ｋｒ／Ｎｅ混合气体，观察到了ＫｒＦ２４８ｎｍ发射谱。     

磁约束放电激励的XeCl准分子激光器

本文对激光激励的一种新技术—磁约束放电激励技术在XeCl准分子激光器中的应用进行了实验研究。并分析比较了以Ar或He为缓冲气体时磁约束放电激励对XeCl准分子激光输出的影响。     

建立100TW飞秒放电准分子系统的可能性

数值模拟表明，对飞秒ＸｅＣｌ准分子系统的辐射进行受激拉曼散射变换时，能获得具有 列可观特性的脉冲：增益带逆向宽度小的持续时间，高度倾斜的前沿和高的反差。提出一种四通道串联受激拉曼散射脉冲合成的原则系统，表明在电极间距为１０ｃｍ，光束为２１束，每束能量为１Ｊ的输出放电模型中放大时，可获得１２０ＴＷ的总输出功率。     

辉光放电等离子体鞘层的计算机模拟

本文利用蒙特卡罗方法,模拟了氩气辉光放电鞘层内离子的运动过程,得到了不同气压和不同放电电压下离子入射阴极的能量分布和角度分布。模拟基于离子与中性原子的电荷转移碰撞和弹性散射两种物理过程,并且分别考虑了碰撞截面与能量相关和不相关两种情况。同时较为系统地研究了放电参数对离子能量分布和角度分布的影响。     

放电激励XeF（B→X）准分子激光器的高效率运转

在一台Ｘ射线预电离的ＸｅＦ（Ｂ→Ｘ）准分子激光器中，我们应用磁开关隔离的预脉冲－主脉冲放电激励电路和磁脉冲压缩技术，研究了激光输出能量和转换效率对气体组份、总气压、电路参数和延迟时间的依赖关系。     

微空心阴极放电与准分子光源

微空心阴极放电是一种新颖的、非平衡、高气压辉光放电.综述了微空心阴极放电的基本原理;详细论述了微空心阴极放电中的准分子辐射,以及微空心阴极放电的放电方式(直流放电、脉冲放电、射频放电)对准分子辐射强度和效率的影响;最后论述了微空心阴极放电的运行方式(串联运行、并联运行)对准分子辐射的影响.     

工业应用放电泵浦准分子激光器研究进展

本文主要介绍工业应用对于放电泵浦的KrF、XeCl、ArF准分子激光器的一般要求 ,以及对于极端高重复频率、高平均功率准分子激光器要解决的关键技术问题与国际研究进展。并简要介绍电子束泵浦的重复频率高能、高功率准分子激光器研究进展     

微空心阴极放电作大体积辉光放电电子源的模拟研究

基于MATLAB与VC 混合语言，采用Monte Carlo模拟对高气压下亚毫米级微空心阴极放电(MHCD)在第三电极牵引下电子的运动过程进行了研究，计算出不同电压、不同的尺寸结构下，电子的空间分布和被牵引出MHCD的电子能量分布。从理论上分析了MHCD结构要求，以及电压等参量对出射电子的能量分布影响。     

高效率放电抽运KrF准分子激光器

248 nm放电抽运KrF准分子激光器在微电子学和医学等领域有重要的应用价值。在大多数应用中,激光器的最大输出效率和能量都是十分重要的参数。为了提高激光器输出效率和能量,实现KrF准分子激光器的稳定放电,采用新型开关电源和结构紧凑的张氏电极,并通过优化储能/放电电容比例和工作气体配比等方法,研制出了一台小型高效率放电抽运KrF准分子激光器。研究了开关电源对充放电特性的影响,以及气体配比对激光输出效率和能量的影响。该激光器的各项参数相比以往的产品有了较大改善,可重复频率为1~80 Hz,输出效率最高达2.5%,最大单脉冲输出能量380 mJ;当工作电压高于25 kV时,激光输出能量不稳定度约为1.8%。