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通过对混合微波集成电路图形镀金工艺的分析研究,提出了以液态感光油墨作为掩蔽层,硫酸盐镀镍体系及柠檬酸盐镀金体系镀镍/金的最佳施镀方案,并通过一系列可靠性试验,证明了该镍/金镀层良好的抗蚀能力和焊接可靠性. 相似文献
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文章简要了介绍脉冲电镀原理,优点,并详细讨论了脉冲电镀用于薄膜混合集成电路金导带选择加厚的方法,同时研究了掩膜制作 技术及脉冲电镀时的影响因素,最后对加厚导带的光刻方法进行了讨论。 相似文献
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介绍了HJ型镀金工艺电解液的配方及工艺条件;采用预镀金以确保镀金层与底金属的结合力;与亚硫酸盐镀金工艺相比较,电解液容易维护、稳定、操作方便。用HJ型镀金工艺所得镀层柔软、其结合力、耐蚀性能和可焊性均可满足军用微电子器件的要求。 相似文献
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多层结构微波毫米波薄膜电路制作工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
近年来,随着通信和侦察技术向更高频率发展,对诸如频谱分析仪、扫频信号源和网络分析仪等测试计量仪器提出了更高的要求。众所周知,作为这些微波测试计量仪器中的关键部件,薄膜混合集成电路是测试仪器向40GHz以上发展的一个主要难点。微波毫米波工程中大量使用薄膜混合集成电路,这些电路是由多种材料组成的多膜层结构。研究了多层微波薄膜电路的材料性能、膜层结构特征及制作过程的工艺控制方法。还给出试验结果,并作了简单讨论,这对于微波和毫米波元器件的设计和应用有着一定的参考价值。 相似文献
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介绍了薄膜微波电路制造的新工艺,包括一次性蒸厚铜工艺和表面金属化的铬层钝化镀金、化学镀镍/化学镀金工艺。将此新工艺用于L波段低噪声放大器电桥的制造和高功率开关的研制,取得了满意的效果。 相似文献
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随着电路设计水平的提高,对薄膜基板的导电性能有了更高的要求。本文叙述了利用光刻技术制作电镀掩膜,通过电镀加厚薄膜导体的方法,实现降低局部导电方阻的目的。 相似文献
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该文针对镀金微波组件微带烧结强度低,焊料漫流严重的问题开展工艺研究,从焊料选用、焊料用量、烧结温度、烧结氛围设置以及助焊剂使用剂量方面综合解决了微带烧结问题,收效良好。 相似文献
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微波多层电路与低温共烧陶瓷(LTCC) 总被引:5,自引:2,他引:5
讨论了微波多层电路在雷达系统中的应用,与常规的微波网络设计做了优劣的比较。还介绍了低温共烧陶瓷基板以及向微波频率扩展的前景与相应的工艺要求。 相似文献
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用于制作微波器件的脉冲图形镀金工艺研究 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了微波成电路中一种新的制作技术-脉冲图形电镀技术,并对影响脉冲电镀技术的关键因素-亚硫酸盐镀 组成及稳定性,添加剂TT-1和PP-1的作用脉冲波形的影响,产生镀层结瘤和微坑,夹杂的原因等作了详细的分析和探讨。 相似文献
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结合自己的研究工作,介绍了微波等离子体沉积金刚石薄膜的优点及其应用;还介绍了美、英、苏等国利用微波等离子体沉积金刚石薄膜的最新动向。 相似文献
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本文从技术和设备的角度出发,讨论了薄膜微波混合组件制造。薄膜电路制造技术,混合组装技术,混合集成技术和封装检漏技术是必须具备的几大基本技术,对基本技术所需要的关键设备也作了介绍。 相似文献
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在真空开关管不钢波纹管上镀金,效果要优于镀镍。本文在实验的基础上,结合图片通过比较、分析,从电镀时间、温度、电镀方式三个方面给出了波纹管镀金的有关工艺参数。 相似文献
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讨论了LTCC工在板薄膜金属化技术中,有效阻碍层的选择对基板共晶焊的影响。实验结果表明,Ti/Ni是一种高可靠性的阻碍层,而且Ti/Ni/Au也是一种较理想的LTCC基板薄膜金属化结构。 相似文献