应用线电极磨削法的电火花微孔加工

在微细电火花微孔加工中,微细工具电极的制作精度是决定微孔加工质量的关键。本文介绍了作者研制的微细电火花加工样机。该机床应用了线电极电火花磨削法制作微细轴,并在同一台机床上用制作的微细轴作为工具电极加工微孔;同时为提高微孔的加工质量,采用了主轴横轴布局结构。该机床还采用了微能放电电源、去离子水工作液等加工工艺。经过实验加工,获得了高质量的微细轴以及微孔。     

横轴布局微细电火花加工机床

介绍了作者研制的微细电火花加工实验样机及部分实验结果。该机床采用横轴布局的主轴结构；应用了先进的线电极电火花磨削法制作微细轴；采用了驰张式微能放电电源；以去离子水作为加工工作液。经实验，加工出了部分微细轴和微孔。     

群孔的微细电火花加工技术研究

对微细电火花群孔加工工艺进行了分析和研究。用微细电火花加工机床加工出单电极,并用该电极加工出2×2直径约100μm的阵列孔,在此过程中采用加大加工长度和适度欠补偿的方法,获得了质量较好的阵列孔。用此阵列孔作为工具加工出了2×2直径约100μm的群电极,然后用此群电极一次加工出2×2直径约100μm的群孔,从而实现了微细电火花阵列孔的加工。     

电火花摇动加工微细阵列轴和孔的试验研究

针对微细阵列轴和孔的电火花加工,提出了利用数控电火花加工机床摇动功能的摇动加工微细阵列轴和孔的方法.此法是基于电火花反拷贝加工的原理,先用丝电极在薄平板(中间电极)上按要加工的阵列轴和孔间距或数倍间距加工阵列小孔(直径0.1 mm以上),然后用加工的薄平板(中间电极)作电极,电火花摇动加工微细阵列轴(电极),最后用此微细阵列电极加工阵列孔.进行了电火花摇动加工微细阵列电极试验,得到了单电极直径为50 μm、长径比为16的3×3阵列电极,并用此电极在70 μm厚的不锈钢板上加工出单孔直径为70 μm的3×3微细阵列孔.试验结果表明,电火花摇动加工方法可实现微细阵列轴和孔的加工.     

微细孔电火花加工设备及其加工实验研究

开发了一种电极丝辅助激振微细孔电火花加工设备,主要由微细电极丝伺服进给与导向模块、加工状态监测与控制模块、高频脉冲电源、微细电极丝辅助激振模块以及工作液循环系统等组成.采用拉拔微细钨丝作为工具电极,可加工直径100～300 μm的微孔及阵列微细孔.实验结果表明,使用直径0.07 mm的电极丝可连续稳定地进行阵列微孔的加工(孔径为100 μm,16×16阵列).加工使用的微细电极丝最小直径为50 μm.     

特种加工机床企业及重点产品介绍

正苏州电加工机床研究所有限公司数控精密微孔电火花加工机SE-WX018加工孔径范围:0.07～1.0 mm;具备电火花多轴联动铣削加工功能,可采用微细长圆电极或异形电极铣出0.07 mm的微细窄槽和需求的各类微小异形孔。适用于精密零件刻伤及航天航空精密电子元件等加工需求;具备扁平电极等各种类型电极加工各种精密微细型腔、微细窄槽和微小异形孔。适用于各类喷丝板、熔喷板等纺织化纤行业需求;     

微细电火花加工工艺研究

介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究,探讨了微细电火花加工微小轴（工具电极）高深宽比微小孔,非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法。     

一种测量微细电火花机床杂散电容的方法

提出了一种测量微细电火花加工机床杂散电容的方法.该方法通过示波器记录RC脉冲电源未接入机床单独充电时的波形和接入机床时的充电波形,将测得的数值代入电容充电公式中,经计算得到微细电火花机床的杂散电容值.还在不同的充电电压和工具电极长度条件下分别进行了试验,最后得出工具电极长度对杂散电容产生的影响较大.     

微细电火花加工工艺研究

介绍了在研制的采用蠕动式微进给和线放电磨削走丝机构的微细电火花加工装置上进行的加工工艺实验研究。探讨了微细电火花加工微小轴 (工具电极 )、高深宽比微小孔、非圆截面形状和三维结构成形以及半导体硅材料等的工艺方法     

基于可重构方法设计的多功能微细电加工系统

简要介绍了可重构制造系统的概念和可重构机床的特点。基于可重构机床模块化的设计方法,设计了一套可进行微细电火花加工和微细电解加工的多功能微细电加工系统。在多功能系统中利用在线电解的方法制备微细钨电极,并用此电极进行电火花微细孔加工试验。     

微细电火花加工实现条件的研究

介绍了微细电火花加工的原理和特点,从加工表面质量、脉冲电源、微细工具电极的制造和安装、放电面积效应的影响、伺服控制系统等方面对微细电火花加工的实现条件进行了研究,并给出了微细轴的电火花加工等具体加工实例.研究结果对微细电火花加工技术的具体应用具有重要的参考价值和指导意义.     

基于LIGA技术的微细电火花加工优化研究

比较了活动掩膜法与固定掩膜法得到的PMMA胶结构,实验表明固定掩膜法更适合于多次曝光.结合LIGA技术和微细电火花加工的优点,用LIGA技术制备出具有复杂形状的铜微细工具电极,再用该工具电极进行微细电火花加工,在不锈钢上加工出异形微细孔.并通过进一步调整电火花加工工艺参数,优化了加工尺寸精度和表面粗糙度.     

油泵油嘴复杂微结构微细电火花铣削加工试验

为解决油泵油嘴复杂微结构加工难题,开展了微细电火花铣削加工试验研究。在改进微细电火花加工机床系统的基础上,介绍了微细电火花铣削加工试验过程,并着重分析电极损耗补偿问题、加工效率问题的解决方法,进而完成油泵油嘴复杂微结构的精密微细电火花加工,总结出保证微细电火花铣削加工质量和加工效率的工艺规律。     

微细轴的电加工技术

针对微细轴的加工问题，分析了当前普遍使用的特种加工方法。分别对线电极磨削、块电极反拷、单脉冲放电、电火花沉积、电解加工和电化学沉积等加工方法在微细轴加工方面的特点进行了归纳，并给出了具有代表性的加工实例。     

三轴机床微细异型电极加工与尺寸误差分析

采用直线插补与圆弧插补算法,在三轴卧式微细电火花机床上加工出圆锥台、四棱台以及带有圆弧曲面的微细异型电极,并对加工结果尺寸误差及导致误差产生的原因进行了全面分析。结果表明,微细异型电极的尺寸误差均在2%以内,而放电间隙的随机性、机床运动精度、尺寸测量精度等均是导致误差形成的原因。     

提高电火花磨削加工一致性性的新方法

采用块状工具电极的精密电火花磨削加工法是低刚度轴和微细轴类零件电火花加工的主要方法之一，该方法过去采用的径 给方式。由于是损耗的因素，使得工件的形状和尺寸的一致性不好，且对生产率也有影响。本文采用一种新的块状工具电极的进给方式－切向进给方式，利用伺服进给自动补偿电极损耗，大大地提高了成批加工工件的一致性和生产率。     

微结构超声复合加工机理分析与试验

提出制作微结构的超声复合电加工方法.分析微细超声、超声复合电火花、超声复合电解微细加工过程机理.用微细放电组合技术制作多种截面形状微细工具电极;完善超声复合电加工试验系统,进行了多种材料、形状的微结构超声复合加工试验.结果表明:用超声加工是制作硬脆材料微结构的有效方法,用超声复合电火花制作的金属材料微结构有好的精度及稳定性;超声复合电解加工兼有效率高、精度好的技术优势.     

用块电极轴向进给法电火花磨削微细轴

对电火花磨削微细轴中的关键问题进行了分析，提出并研究了利用块状电极轴向进给磨削微细轴的方法。在自行研制的多功能微细加工装置上，用该方法加工出了直径10μm的微细轴，并用此轴加工出了直径20／μm的微细孔。实验中发现：令伺服响应延时，可改善微细轴的圆度。用此方法得到的微细轴，根部强度高，有利于微细轴的加工和工作。     

电火花线电极磨削机构设计研究

在比较几种微细电极制造方法的基础上，设计了电火花线电极磨削机构，该机构能够有效地用于微细电极与微细轴的制造。     

电火花加工中小直径深孔加工和微孔加工特性分析

在电火花加工中,对于硬质合金小直径深孔加工方法和性能进行了分析。电火花穿孔加工方法可用管子电极的加工方法,也可用成形电极的加工方法,当加工深度浅的孔时,应采用成形电极的加工方法。通过对微细电极的成形分析可知,电极直径越小L/d的比值就越小。通过对微孔加工特性分析可知,微孔在加工中与机床、电源装置有较大差异,还与电极和工件材质等因素有关。通过对微孔加工速度特性分析可知,微孔加工中应使电极面积尽量获得泵唧效应。