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《中国钼业》2005,(1)
专利名称: 透明导电薄膜用靶、透明导电薄膜及其制造方法、显示器用电极材料、有机电致发光元件和太阳能电池专利申请号: 03138519. 2 公开号: 1461819申请人: 日本住友金属矿山株式会社一种透明导电薄膜用靶,其具有氧化铟作为其主要组分并含有钨和 /或钼,其中通过使氧化铟粉末和氧化钨粉末和 /或氧化钼粉末成形, 然后加热并烧结该成形体, 使得溅射后的薄膜具有氧化铟作为主要组分, 并含有原子比 (W +Mo) /In为0 0040~0 0470的钨和 /或钼而获得所述透明导电薄膜用靶, 其中该透明导电薄膜具有优异的表面光滑度和 6×10-4Ω·cm或更低的… 相似文献
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溅射电压和铝掺杂对透明导电氧化锌薄膜性能的影响 总被引:9,自引:1,他引:8
研究了用微波ECR等离子体反应溅射制备透明导电氧化锌薄膜靶压及铝的掺入对薄膜电阻率和透光率的影响。制香电阻率为10^-5Ω.m数量级,可见光平均透光率大于80%的透明导电ZnO:Al(AZO)膜。 相似文献
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《有色金属材料与工程》2020,(1)
透明导电薄膜是触摸器件以及液晶显示器等的重要组成部分,制备透明导电薄膜的材料主要有金属氧化物、导电聚合物、碳材料、金属材料和复合材料等。其中,一维银纳米线和二维石墨烯材料制备透明导电薄膜具有光电性能优异、化学性能稳定和柔韧性好等特点,有望应用于柔性电子设备中。介绍了石墨烯银纳米线透明导电薄膜常用的制备方法:旋涂法、真空抽滤法、棒涂法、喷涂法、滴涂法等5种以及各种制备方法的优缺点;总结了石墨烯银纳米线复合薄膜的应用领域;展望了石墨烯银纳米线透明导电薄膜的发展前景。 相似文献
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《钼业经济技术》2008,32(1):43
本发明涉及在旋转或舟形炉中,通过使用氢作为还原剂,还原钼酸铵或三氧化钼得到的高纯MoO2粉末。将通过压制/烧结、热压和/或HIP进行的粉末固结用来制备圆盘、厚块或板,该圆盘、厚块或板用作溅射靶。使用适宜的溅射方法或其他物理方式将该MoO2圆盘、厚块或板形式溅射在基底上,从而提供具有期望膜厚的薄膜。就透射率、导电率、功函数、均匀性以及表面糙度而言,该薄膜具有与氧化铟锡(ITO)和掺锌ITO可比或优于其的性能如电的、光的、表面粗糙度以及均匀性。可将该MoO2和含该MoO2的薄膜用在有机发光二极管(OLED)、液晶显示器(LCD)、等离子体显示板(PDP)、场致发射显示器(FED)、薄膜太阳能电池、低电阻率欧姆接触以及其他电子和半导体器件中。 相似文献
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以五水硝酸铟和乙酰丙酮为原料,以无水氯化锡为掺杂剂,采用溶胶凝胶工艺,用提拉法在石英玻璃基体上制备了ITO透明导电薄膜。采用DTA—TG、XRD、SEM、四探针电阻率仪、紫外分光光度计等仪器对ITO透明导电薄膜的相转变过程、物相、表面结构、微区形貌和物理性能进行了测定和分析。结果表明:采用溶胶凝胶工艺在石英玻璃基体上制备ITO透明导电薄膜是完全可行的。ITO薄膜具有由多个粒子堆积而成的多孔微观结构,其晶体结构为立方锰铁矿结构,[111]为明显的择优取向,经过5次镀膜后其厚度在150nm以下,薄膜的方电阻为110Ω,其电阻率约为1.65×10-2Ω·cm。薄膜的透光率在90%以上。 相似文献
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采用磁控溅射方法在普通载玻片衬底上制备了Ga掺杂的ZnO(GZO)透明导电薄膜,并研究了不同生长温度对GZO透明导电薄膜的结构性能、电学性能及光学性能的影响.制备的GZO透明导电薄膜均沿(002)方向的择优取向生长,薄膜的表面形貌为蠕虫状,表明薄膜内存在较大的残余应力.随着生长温度的升高,GZO薄膜的电阻率先减小后增大,在生长温度为250℃时,薄膜的最低电阻率为1.91×10-3 Ωcm.不同生长温度下所制备的GZO薄膜在可见光波段的平均透过率均大于90%,薄膜具有优异的光学特性. 相似文献
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ZnO:Al(ZAO)透明导电薄膜国内的研究现状 总被引:2,自引:0,他引:2
综述了以氧化锌铝陶瓷靶为靶材制备透明导电ZAO薄膜的制备技术,系统地研究了各工艺参数,如氩气压强、射频功率、衬底基片温度、退火条件和氧流量等对其结构和光电特性的影响。在纯氩气中且衬底温度为300℃时制备的ZAO薄膜经热处理后电阻率可降至8.7×10-4Ω.cm,可见光透过率在85%以上。X射线衍射谱表明,ZAO晶粒具有六角纤锌矿结构且呈c轴择优取向,晶粒垂直于衬底方向柱状生长。 相似文献
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本文叙述含锡氧化铟透明导电电极在含锂离子的丙烯碳酸盐溶液中的行为研究结果,本系统的研究方法采用电化学与现有的工艺(紫外可见光谱法,x射线衍射法以及石英晶体微量天平)相配合的方法,研究结果表明,在E≥1.0VvsLi/Li条件下阴极过程主要包括电解质溶液还原生成富含锂薄膜,在电势≤1.0VvsLi/Li的条件下含锡氧化铟(ITO)降解,生成金属铟。锂离子嵌入含锡氧化铟的现象不明显,与某些作者叙述的明 相似文献
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一种用于由乙烯和丁烯反歧化制丙烯反应用催化剂,由活性组缈助剂/载体组成,活性组份为钼、钨或铼的氧化物中的至少一种,其重量担载量为0.5%-20%;助剂为稀土金属元素,其重量担载量为0.1%-15%;载体主要组份为分子筛,其重量含量至少为50%,还可以添加氧化铝、氧化硅及粘土中的一种或几种。 相似文献
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