火星探测小型电容薄膜真空计的性能研究

目前在用电容薄膜真空计存在体积大、重量重等问题,无法满足深空探测中真空测量需求,因此设计了一种具有外形尺寸小、重量轻、工作温度范围宽等特点的小型电容薄膜真空计。在已经建立的金属膨胀式真空标准装置上对小型电容薄膜真空计的线性、稳定性、重复性等各项性能进行了反复的实验研究。实验结果表明,小型电容薄膜真空计具有良好的线性,重复性和稳定性的计算结果均能满足火星探测要求。     

MEMS型电容薄膜真空计研究进展

目前常用的电容薄膜真空计体积大、重量重,不能满足深空探测、临近空间探索、战略武器、战地医疗等特殊领域的真空测量需求。基于MEMS技术的电容薄膜真空计,能够使传感器、信号处理和控制电路等结构微型化,突破了传统电容薄膜真空计外形及质量限制,具有体积小、重量轻、功耗低、便于集成化等优点,成为真空测量仪器研究的热点,能更好地满足特殊条件下的真空测量需求。文章对MEMS型电容薄膜真空计的发展现状、技术特点等进行了探讨研究,并对其发展前景提出展望。     

适应复杂环境的真空计

采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。     

低温绝热容器中皮拉尼真空计取代热偶真空计的可行性分析

在低温绝热容器夹层真空度的测量中,皮拉尼真空计和热偶真空计较适用,目前热偶真空计应用较多。从测量范围、测量精度、测量温度、互换性、远程监控、检漏能力和性价比等方面,对皮拉尼真空计和热偶真空计的性能进行了比较,得出皮拉尼真空计更适用于低温绝热容器夹层真空度测量的结论。最后列举了目前国外几种典型的商用皮拉尼真空计和热偶真空计的技术参数。     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体,集成化是指将多只真空计组合为一体,系统化是指将真空度的测量与控制相结合,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技     

热传导真空计的解说(三)

九、热传导真空计测量下 限的开拓[3] 　热传导真空计从其出现时开始,就有不少研究者开展延伸测量下限的工作。但长期以来,实用的热传导真空计,下限只达10-3～10-4托;采取了复杂措施后,可达10-6托。一般观点都认为,难于超越这个极限。1977年,T.Oguri用量热计做为皮年计规管(热丝温度100℃),发现测量下限可达10-8托,甚或更低,并制成了所谓Ⅱ-型真空计。现先对延伸下限的有关问题做一些普遍讨论,然后介绍T.Oguri的结果。 电阻真空计的测量下限,主要取决于测量电桥输出的仪表(或放大器)所能检测的最小讯号,似及系统不稳定所导致的讯号本底涨…     

FBDZ─“非汉字符号”型标准电离真空计鉴定会在乐山召开

由成都滨江仪器厂研制的FBDZ—A(指针式)及FBDZ—C型(数字式)标准电离真空计,于一九八四年十二月初通过技术鉴定。参加鉴定会的代表有来自全国各地计量部门、研究所、高等院校及工厂等30多位代表。到会代表一致认为,滨江仪器厂研制的两种标准真空电离计具有精度高,稳定可靠,使用安全等特点。尤其是 FBDZ─C型电离真空计,读数直观、使用范围广,可用于超高真空测量。上述仪表都达到了国内先进水平。 这两种仪器的研制成功,为我国真空量值传递提供了可靠的标准测量仪器。FBDZ─“非汉字符号”型标准电离真空计鉴定会在乐山召开@姜均刚 …     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。     

石英晶振真空度检测系统

随着科研及工业的不断发展,对真空环境的要求越来越高,相应的真空测量技术要求也越来越严格,在精准测量的基础上对传感器的体积提出了更高的要求,例如MEMS封装的真空设备将需要较小体积的传感器来完成真空度的测量。而目前常见的电阻真空规、液态式真空计、电容真空计、热传导真空计等都无法同时满足小体积、宽范围、高精度的测量要求。本文基于石英晶振在不同气压环境下振荡时其两端阻抗随环境中气压的改变而变化的原理,设计了石英晶振振荡电路、信号隔离电路、差分放大电路、真有效值转换电路等,并且将其前端信号利用STM32单片机进行处理,通过编写对应的软件程序实现不同环境中真空度检测。在石英晶振振荡电路方面与已有研究有所不同,本文采用石英晶振本身作为激励信号的自振荡电路,相对于已有研究中的外加激励信号源而言频率稳定,Q值高,因此能够产生非常稳定的正弦振荡,可以有效的减小整个系统的测量误差,提高测量精度。经过实际测试,实验结果表明,系统设计合理,测量精度高,达到预期测量效果。     

电容薄膜真空计的温度特性研究北大核心CSCD

电容薄膜真空计(Capacitance Diaphragm Gauge,CDG)是一种常用的粗低真空测量传感器,具有较高的测量精度和稳定性。温度是影响真空计量准确性的重要因素之一,环境温度的变化会导致CDG的测量结果发生较大的偏移。为探究温度对CDG测量结果的影响情况,开展了温度环境实验,考察了保温型与非保温型CDG在-30℃~50℃环境中测量结果的变化情况。实验结果表明,保温型CDG在额定温度0℃~45℃环境中测量结果较为稳定,温度高于或低于该区间范围时,测量结果会发生一定程度的偏移;温度对非保温型CDG造成的影响较大,利用温度-压力误差曲面可以修正CDG误差,提高真空计测量精度。     

热传导真空计解说(一)

本文主要讲过热传导真空计的工作原理、测量范围、主要型式、工作模式、环境温度的影响及其补偿方法、测量下限的开拓、测量上限的开拓、老化效应等问题。重点放在电阻真空计，热偶真空计亦适当兼顾。     

PZ—Ⅰ型皮拉尼真空计的改进

引言 皮拉尼真空计系测量真空系统内低压强的一种工具。它具有连续测量,操作方便及测量真空系统内的总压强值等优点,因此在真空技术中得到广泛的应用。我所生产及使用的P Z── Ⅰ型皮拉尼真空计量程范围较窄,在测量下限上不能 与电离真空计相衔接,又因玻璃规管易破损, 不适宜工业应用, 但国内还没有金属质规管和较宽测量范围的皮拉尼真空计,为适应需要,将测量范围及规管结构加以改进。 此文仅将现改进的金属规管皮拉尼真空计,在延伸测量范围、规管密封焊接、测量线路及环境温度对规管的刻度曲线影响等方面,做一讨论。 皮拉尼真空计测量范…     

以麦氏计校准电离计的动态平衡玻璃真空系统建立

真空计校准工作,是真空测量技术的基本工作之一。尤其对高精度真空计校准问题,更有重要意义。在校准过程中不仅需要有高精度的绝对真空计,而对校准用真空系统的要求,也是重要的环节。本文就麦氏计校准热阴极电离真空计的动态平衡玻璃真空系统作以分析。力建立校准用真空系统,将对系统结构、性能、产生误差原因及减小误差方法进行讨论,以便确定系统误差。 一、真空系统结构选取择 对于校准用真空系统除具有。一定容量的抽气机组外,对如何保证绝对真空计与被校准的相对真空计,在某一时间内能达到相同条件,是考虑方案的前提。为了能做到这一点,…     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

《真空测量与控制》一书出版发行

正合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展

近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。     

《真空测量与控制》一书出版发行

<正>合肥工业大学朱武、干蜀毅编著、王先路教授主审的《真空测量与控制》一书于2008年4月由合肥工业大学出版社出版发行。《真空测量与控制》系统介绍了真空测量、真空校准、真空检漏、真空控制的原理和方法。主要内容包括:真空测量技术、液位式真空计、热传导真空计、热阴极电离真空计、冷阴极电离真空计、分压力测量和残余气体分析、真空计校准、真空检漏的基本原理、各种检漏方法、氦质谱检漏仪及其它检漏仪、标准漏孔、真空测量仪器电路、真空设备与系统的自动控制等。     

MEMS型电容薄膜真空计的关键技术研究进展北大核心CSCD

近二十年以来,仪器的小型化发展以及微机电系统(MEMS)技术工艺的发展带动了电容薄膜真空计的发展。其中,MEMS型电容薄膜真空计能将电路和敏感元件集成在同一芯片上,具有体积小、能耗低的优点,能广泛的运用在工业测量、深空探测等领域,是真空计量仪器研究热点之一。然而,体积小伴随着的测量范围窄、输出线性度不高、长久密封困难和残余气体影响问题都制约着真空计的商品化发展。针对上述的技术瓶颈,研究者提出了不同的技术方案来克服。文中总结相关的研究报道后对问题的缘由以及相应解决措施进行了分类整理与分析,对文献报道的MEMS型电容薄膜真空计进行了对比分析。最后,对MEMS型电容薄膜真空计的发展前景提出了展望。     

真空计在线校准系统的研制

为了解决真空计在线校准的问题,研制出一种真空计在线校准系统。真空计在线校准系统通过优化设计、材料及工艺处理已解决宽量程校准的问题。通过对在线校准技术的研究,采用比较法校准方法,以三台高精度的薄膜真空计和一台高精度电离真空计作为参考标准,解决了校准条件与使用条件基本一致性问题,可以减小量值传递过程产生的不确定度,保证测量的准确性和可靠性。真空计在线校准系统可实现(10~5～10~(-5))Pa范围内的真空计的在线计量,相对扩展不确定度不大于13%。