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本文分析了高能 Ti 离子注入 LiNbO_3后 x,y,z 三种不同切向的表面损伤分布及退火效应。x,y 切片表面损伤程度近乎无定形,Nb 原子迁移率 N_D/N=1;z 切片表面损伤仍未饱和,N_D/N=0.8。辐射损伤主要是大量 Nb 偏离晶格位置成为间隙原子,注入的 Ti 离子处于间隙位置—LiNbO_3结构中固有的空位,使晶格有微小的膨胀。注入后产生有大量的氧缺位,氧气氛中热退火可消除氧缺位,使位移原子恢复至原晶格位置,且大部分间隙位置上的 Ti 离子通过替代 Nb 或少数 Li 进入正规格点上,此处晶格有少许收缩;热处理后损伤的消除由注入层与衬底的界面处向外表面方向进行,需1000℃高温退火,晶格损伤才能获得明显的改善,氧气氛可防止氧缺位的增多。 相似文献
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Ti表面磁控溅射Nb膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
Ti表面磁控溅射Nb膜作为Ti与其他金属连接的合金层或过渡层有着重要的研究意义和实用价值.本文研究了基体温度、薄膜厚度、真空退火对Nb膜附着性和组织结构的影响,应用扫描电镜观察了膜层表面和界面,用X射线衍射分析研究了膜层物相组成,用划痕法测试了薄膜的附着性.结果表明薄膜组织为纤维状晶粒;溅射时对基体适当加热有利于成膜的致密性;一定温度范围内的真空退火可以提高附着性,但不显著,温度达到500 ℃后,薄膜发生剥落;Nb膜厚度从500 nm增加到2000 nm,晶粒变大,附着性变差;溅射及退火过程中均无新相生成. 相似文献
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纯铜表面纳米化对Ti离子注入的影响 总被引:1,自引:0,他引:1
为了改善金属材料表面的综合性能,将表面改性技术和纳米技术相结合逐渐得到了人们的重视.用金属蒸气孤(MEVVA)源离子注入机,将能量为40keV,剂量为2×1017iONS/cm2的Ti离子注入纳米纯铜中.利用透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、俄歇电子能谱(AES)对表层组织及注入浓度分布等进行了分析.研究结果表明,纯铜表面经过SMAT纳米化处理后,注入元素的浓度呈现高斯分布,与未处理的样品相比,峰值浓度提高了30%,注入深度达到160nm. 相似文献
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采用Ti+C双离子注入GCr15轴承钢,使其表面硬度增加,摩擦系数降低,增强了GCr15钢表面抗磨损特性。同时发现,离子注入时金属基体的温升效应对表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了最佳处理工艺参数。 相似文献
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等离子体浸没离子注入及表面强化工艺的进展 总被引:4,自引:0,他引:4
等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍有若干重要的物理与技术问题 ,诸如浅的注入层、离子注入不均匀性、气体 (氮 )等离子体的有限应用范围等等 ,阻碍了PIII工业应用的发展 .目前 ,这些问题已成为国内外学者关注的焦点 .我实验室近年来在注入过程鞘层动力学的计算机理论模拟、离子注入剂量不均匀性改善、圆筒内表面注入研究、新型长射程阴极弧金属等离子体源研制、气体及金属等离子体的综合性表面改性工艺研究、以及低能高温PIII新工艺研究等方面进行了研究工作 . 相似文献
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采用离子注入技术将铅离子注入到ITO薄膜玻璃中,用分光光度计,四探针测试仪,硬度计等测定了ITO膜注入前后的光学性能,电学性能、机械性能和化学稳定性。结果表明注入后光学、电学性能有所下降,而机械性能和化学稳定性有明显提高。这说明离子注入提高ITO薄膜玻璃的耐磨损性和在有腐蚀性气氛下的稳定性。 相似文献
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9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究 总被引:1,自引:0,他引:1
采用不同的等离子体浸没离子注入(PⅢ)工艺在9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛(TiC)、类金刚石(DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢD).对处理后的试样进行了X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、俄歇电子能谱(AES)和拉曼光谱(Raman)分析;测试了处理前后试样的显微硬度、磨痕宽度和摩擦系数.结果表明:处理后试样表面均形成了不同的改性层,且改性层中化学组成和各元素的浓度-深度分布随处理工艺的不同而变化;处理后试样的显微硬度都有较大提高,最大增幅达77.7%;表面摩擦系数由0.8下降到0.16;磨痕宽度减少了23倍;与PⅢ工艺相比,相同参数下,PⅢD处理后的试样表面综合性能更加优异. 相似文献
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用XPS研究了注入银离子的BiSrCaCuO玻璃的表面结构,讨论了离子注入对玻璃表面晶体生长的影响。 相似文献
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离子注入纯Fe表面微观结构研究 总被引:7,自引:0,他引:7
本文应用透射电镜等方法对纯Fe中注入Ni^+,Mo^+,B^+及Ni^++Mo^++B^+起表面层微观结构变化进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。 相似文献
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本文应用透射电镜(TEM)等方法对纯Fe中注入Ni+、Mo+、B+及Ni++Mo++B+引起表面层微观结构变化进行了研究,同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。结果表明,离子注入后纯Fe表面层微观结构有明显变化,较高剂量离子注入可使表面晶粒细化,并能形成表面非晶层,注入Ni+后,注入层内出现以Fe为主的hcp碳化物,部分α-Fe转变为γ-Fe,并呈现微孪晶形貌 相似文献