Ti 离子注入 LiNbO_3表面光学性能

本文研究了 x,y,z 三种切向的 LiNbO_3单晶片注入350keV 高能 Ti 离子(注入剂量为1.5×10~(17)/cm~2)后的表面光学性能。利用光谱仪及 AUEL 椭偏仪对三种切向 LiNbO_3试样在不同工艺处理后的光透射率及折射率进行了测试。注入损伤造成的光损耗可通过热处理消除,使晶格结构恢复至与完整晶格排列相近;注入层的折射率可增加11—13％左右。     

Ti 离子注入 LiNbO_3表面损伤分析

本文分析了高能 Ti 离子注入 LiNbO_3后 x,y,z 三种不同切向的表面损伤分布及退火效应。x,y 切片表面损伤程度近乎无定形,Nb 原子迁移率 N_D/N=1;z 切片表面损伤仍未饱和,N_D/N=0.8。辐射损伤主要是大量 Nb 偏离晶格位置成为间隙原子,注入的 Ti 离子处于间隙位置—LiNbO_3结构中固有的空位,使晶格有微小的膨胀。注入后产生有大量的氧缺位,氧气氛中热退火可消除氧缺位,使位移原子恢复至原晶格位置,且大部分间隙位置上的 Ti 离子通过替代 Nb 或少数 Li 进入正规格点上,此处晶格有少许收缩;热处理后损伤的消除由注入层与衬底的界面处向外表面方向进行,需1000℃高温退火,晶格损伤才能获得明显的改善,氧气氛可防止氧缺位的增多。     

Ti表面磁控溅射Nb膜的研究

Ti表面磁控溅射Nb膜作为Ti与其他金属连接的合金层或过渡层有着重要的研究意义和实用价值.本文研究了基体温度、薄膜厚度、真空退火对Nb膜附着性和组织结构的影响,应用扫描电镜观察了膜层表面和界面,用X射线衍射分析研究了膜层物相组成,用划痕法测试了薄膜的附着性.结果表明薄膜组织为纤维状晶粒;溅射时对基体适当加热有利于成膜的致密性;一定温度范围内的真空退火可以提高附着性,但不显著,温度达到500 ℃后,薄膜发生剥落;Nb膜厚度从500 nm增加到2000 nm,晶粒变大,附着性变差;溅射及退火过程中均无新相生成.     

铝型材挤压模具离子注入表面强化

铝型材热挤压模具的磨损、润滑和使用寿命短等问题直接影响着铝加工行业中铝产品的质量和厂家的经济效益。我院与广东兴发铝型材厂合作，将离子注入技术应用于铝型材生产，对铝型材挤压模具进行了表面改性处理。51只离子注入改性后的模具在线实验表明：模具总的中间使用寿命平均提高了140%，同时改善了铝型材的表面光洁度，减少了模具的拆卸、修整次数和降低了生产工人的劳动强度。     

纯铜表面纳米化对Ti离子注入的影响

为了改善金属材料表面的综合性能,将表面改性技术和纳米技术相结合逐渐得到了人们的重视.用金属蒸气孤(MEVVA)源离子注入机,将能量为40keV,剂量为2×1017iONS/cm2的Ti离子注入纳米纯铜中.利用透射电子显微镜(TEM)、X射线衍射仪(XRD)、俄歇电子能谱(AES)对表层组织及注入浓度分布等进行了分析.研究结果表明,纯铜表面经过SMAT纳米化处理后,注入元素的浓度呈现高斯分布,与未处理的样品相比,峰值浓度提高了30%,注入深度达到160nm.     

钛合金Ti6Al4V表面离子注入铜的阻燃性研究

针对钛合金在一定条件下易发生钛火的问题,对钛合金的阻燃性能进行优化研究.在Ti6Al4V表面进行离子注铜,采用金相显微镜对表面形貌进行观察和分析,使用X射线衍射仪分析改性层中的物相组成,利用飞秒激光烧蚀研究阻燃性能,并用扫描电子显微镜对烧蚀区域的形貌与成分进行分析.注铜处理后Ti6Al4V表面形成了含有Ti2Cu合金相...     

Ti＋C双离子注入GCr15钢表面改性工艺研究

采用Ti＋C双离子注入GCr15轴承钢,使其表面硬度增加,摩擦系数降低,增强了GCr15钢表面抗磨损特性。同时发现,离子注入时金属基体的温升效应对表面改性效果具有显著的影响。通过对比分析,获取了最佳处理工艺参数。     

超薄Ti膜吸收率的尺寸效应

研究了超薄Ｔi膜吸收率和直流电导率与薄膜厚度的关系,结果表明,超薄Ｔi膜的吸收率具有尺寸效应,并具有极大值,其结构特征变化是导致吸收率尺寸效应的重要原因。     

等离子体浸没离子注入及表面强化工艺的进展

等离子体浸没离子注入 (PIII)消除了传统束线离子注入 (IBII)固有的视线限制 ,是一种更适合于处理复杂形状工件的手段 .近十年来 ,PIII及其工业应用在国内外得到了迅速发展 .然而 ,随着PIII的研究与开发的深入 ,发现仍有若干重要的物理与技术问题 ,诸如浅的注入层、离子注入不均匀性、气体 (氮 )等离子体的有限应用范围等等 ,阻碍了PIII工业应用的发展 .目前 ,这些问题已成为国内外学者关注的焦点 .我实验室近年来在注入过程鞘层动力学的计算机理论模拟、离子注入剂量不均匀性改善、圆筒内表面注入研究、新型长射程阴极弧金属等离子体源研制、气体及金属等离子体的综合性表面改性工艺研究、以及低能高温PIII新工艺研究等方面进行了研究工作 .     

离子注入聚合物表面改性的研究

离子注入聚合物材料表面改性有着独特的优越性。综述了离子注入技术对聚合物表面的机械性能、电学性能、光学性能和磁学性能等方面改性的最新研究与应用进展。     

铅离子注入对玻璃表面ITO膜性能的影响

采用离子注入技术将铅离子注入到ＩＴＯ薄膜玻璃中,用分光光度计,四探针测试仪,硬度计等测定了ＩＴＯ膜注入前后的光学性能,电学性能、机械性能和化学稳定性。结果表明注入后光学、电学性能有所下降,而机械性能和化学稳定性有明显提高。这说明离子注入提高ＩＴＯ薄膜玻璃的耐磨损性和在有腐蚀性气氛下的稳定性。     

铀表面等离子体浸没离子注入沉积制备氮化层+Ti/TiN多层膜的结构与性能

为了改善金属铀的摩擦磨损和抗腐蚀性能,采用等离子体浸没离子注入沉积(PIII&D)技术在铀表面氮化,再沉积Ti/TiN多层膜.利用扫描电镜和X射线衍射分析了薄膜的形貌和组织结构;对薄膜的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能进行了测试.结果表明:薄膜表面致密,界面晶粒柱状生长方式被阻断,晶粒细化;薄膜为Ti和TiN的双相结构,衍射谱中出现了UO_2和U_2N_3的衍射峰;薄膜大大提高了铀基体的摩擦磨损和抗湿热腐蚀性能,调制周期对薄膜性能的影响较大.     

9Cr18轴承钢表面不同等离子体浸没离子注入强化处理技术研究

采用不同的等离子体浸没离子注入(PⅢ)工艺在9Cr18轴承钢表面进行了气体、金属、金属加气体的离子注入和碳化钛(TiC)、类金刚石(DLC)薄膜的等离子体浸没离子注入与沉积(PⅢD).对处理后的试样进行了X射线光电子能谱(XPS)、X射线衍射(XRD)、俄歇电子能谱(AES)和拉曼光谱(Raman)分析;测试了处理前后试样的显微硬度、磨痕宽度和摩擦系数.结果表明:处理后试样表面均形成了不同的改性层,且改性层中化学组成和各元素的浓度-深度分布随处理工艺的不同而变化;处理后试样的显微硬度都有较大提高,最大增幅达77.7%;表面摩擦系数由0.8下降到0.16;磨痕宽度减少了23倍;与PⅢ工艺相比,相同参数下,PⅢD处理后的试样表面综合性能更加优异.     

BiSrCaCuO玻璃表面的离子注入

用ＸＰＳ研究了注入银离子的ＢｉＳｒＣａＣｕＯ玻璃的表面结构，讨论了离子注入对玻璃表面晶体生长的影响。     

离子注入纯Fe表面微观结构研究

本文应用透射电镜等方法对纯Ｆｅ中注入Ｎｉ＾＋，Ｍｏ＾＋，Ｂ＾＋及Ｎｉ＾＋＋Ｍｏ＾＋＋Ｂ＾＋起表面层微观结构变化进行了研究，同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。     

离子注入纯Fe表面微观结构研究

本文应用透射电镜（ＴＥＭ）等方法对纯Ｆｅ中注入Ｎｉ＋、Ｍｏ＋、Ｂ＋及Ｎｉ＋＋Ｍｏ＋＋Ｂ＋引起表面层微观结构变化进行了研究，同时对不同注入条件进行了计算机模拟计算。结果表明，离子注入后纯Ｆｅ表面层微观结构有明显变化，较高剂量离子注入可使表面晶粒细化，并能形成表面非晶层，注入Ｎｉ＋后，注入层内出现以Ｆｅ为主的ｈｃｐ碳化物，部分α－Ｆｅ转变为γ－Ｆｅ，并呈现微孪晶形貌