移相数字莫尔条纹图像滤波方法的研究

数字莫尔条纹滤波处理是利用莫尔条纹进行非球面检测的关键技术之一,滤波结果直接影响非球面检测的精度,分别从空域和频域两个角度对滤波算法进行了讨论分析,并进行了模拟实验。结果表明,经两种方法处理后恢复的波面得到了较好的结果,全孔径相位分布残差的均方根(RMS)值分别为0.024λ和0.035λ,证明了滤波方法是可行的。     

基于CCD的莫尔条纹图像频域处理研究

面阵CCD采集双光栅干涉产生的莫尔条纹二维图像,进行扭转角测量.采集不同宽度的莫尔条纹图像,分别在频域进行快速傅立叶变换,对比分析频域图像,得到实际莫尔条纹图像的有效频率信息.分析滤波器的选择原则,选用陷波低通滤波器,去除频域图像中噪声,获得莫尔条纹有效信息.实验结果表明,莫尔条纹的频域处理远高于空域处理的精度,使扭转角测量精度达到1.2″.     

直接数字频率合成频谱分析

本文在直接数字频率合成原理模型的基础上对其输出信号的频谱进行了分析，推导出了杂散分量的计算公式，提出了减小杂散分量的措施，得出一些有价值的结论。     

直接数字频率合成频谱分析

本文在直接数字频率合成(DDFS)原理模型的基础上对其输出信号的频谱进行了分析,推导出了杂散频率分量的计算公式。提出了减小杂散分量的措施,得出一些有价值的结论。     

莫尔条纹噪声控制及细分精度分析

为保证莫尔条纹电子学细分的精度和倍数,高质量信号的获得是前提条件,因此莫尔条纹的正交性、电平漂移、谐波失真及噪声污染等指标需要得到严格控制.针对噪声控制,提出了一种基于变步长神经网络的自适应算法应用于莫尔条纹的噪声滤除,它不需要信号的先验统计特性,对于线性和非线性噪声都具有明显的抑制作用,通过对算法更新步长的动态调整,能够保证不同频率莫尔条纹的滤波精度和跟踪速度.经实验验证,本算法的滤波效果优于常规滤波算法,且不必进行信号预测,特别适合于位置检测应用时的莫尔条纹高倍细分,为细分提供了很好的前期数据准备.     

双光栅莫尔条纹的傅里叶分析

采用了傅里叶频谱的分析方法，对双光栅产生的莫尔条纹进行了分析，导出了不同光强分布对应的莫尔条纺方程。     

莫尔条纹信号的1024细分

式中,T_N代表细分值,θ代表相角,θ’代表坐标变换后的相角,A代表正弦波信号的幅度,T_(NⅠ)代表Ⅰ象限细分值,C_K代表第K象限细分常数,N代表细分份数。在式(1)、(3)、(4)中令N=1024就可     

纳米光刻双光栅对准莫尔条纹分析

为了给实际的纳米光刻对准工作提供理论研究基础,主要分析推导了莫尔条纹复振幅以及光强的空间分布规律.在理论分析的基础上通过仿真,定量地确定了莫尔条纹复振幅分布的近似数学模型.分析表明,当对准光路通过掩模硅片上的两个对准标记受到两次光栅的调制并发生复杂的衍射和干涉时,将形成有规律的、呈一定周期分布的莫尔条纹.并且当两光栅周期相近时,莫尔条纹将表现为一个与两光栅周期相关的空间拍信号.在近似模型中该拍信号主要由两光栅基频的乘积调制与振幅调制信号组成.两调制信号的群峰值周期相等、与拍信号的群峰值周期一致,并且该周期相对于两光栅周期被大幅度放大,因而具有很好的位移探测灵敏度,有利于纳米级对准的实际应用.     

对LCD背投影屏幕上莫尔条纹的分析与抑制

莫尔条纹是由LCD、菲涅尔透镜和微结构透镜等周期性结构的层叠引起的,对于设计高质量的LCD背投影屏幕至关重要。为了抑制莫尔条纹,我们基于频谱分析,探讨了相关光学组件的周期结构。通过调整屏幕结构,图像上的周期性条纹可减到最小,从而得到无莫尔条纹的屏幕。     

同心环形光栅莫尔条纹的机理

本文着重论述同心环形衍射光栅的莫尔条纹产生机理,用几何和付里叶分析方法讨论产生的条纹图形,求出相应于同心环形衍射光栅在各种条件下所描述的莫尔条纹的方程式,并对其进行了仔细的定量分析。     

基于MATLAB的数字散斑条纹图滤波比较

数字散斑照相术提取的数字散斑条纹图存在信噪比低、强度弱的特点,因此需要对图像进行滤波除噪。为了比较不同的滤波方法对散斑条纹图的除噪效果,笔者在MATLAB中采用中值滤波、巴特沃斯低通滤波、指数低通滤波以及同态滤波对提取的条纹图进行处理并就处理结果做出了分析比较。实验结果表明,以上方法都能从噪声中提取信号,其中中值滤波除噪效果最好。     

基于莫尔条纹的三维物体相关识别

提出了一种新的基于莫尔条纹的三维物体识方法。用阴影莫尔法的装置,采用频域滤波的方法,得到物体的莫尔条纹。用受到物体表面高度调制的莫尔条纹图作为输入图像,用光学匹配空间滤波的概念来实现相关识别方法,根据输出的相关峰值大小即可判别不同的物体。因为物体的莫尔条纹是物体的等高线,体现三维物体特征的高度函数以莫尔等高线的形式编码于莫尔条纹中,因此基于莫尔条纹的相关识别具有本征三维识别的特点。计算机模拟试验结果证明了这种方法用于三维物体识别的可能性。     

基于模板匹配的莫尔条纹倾角计算

提出了一种基于模板匹配的亚像素处理方法,可以精确计算出在大口径长焦距测量过程中出现的莫尔条纹的角度。基于泰伯效应和莫尔条纹干涉的长焦距测量方法是一种高精度的焦距测量方法。理论分析表明:这种测量方法的精度很大程度上依赖于莫尔条纹角度的精度。之前是通过迭代算法在亚像素域中寻找莫尔条纹频谱的最大值点来计算莫尔条纹的角度。然而实验过程中得到的莫尔条纹往往会出现不同程度的弯曲和畸形,这会大大影响这种方法的测量精度。从改进测算角度算法这个角度出发,针对傅里叶变换后的频谱图,基于模板匹配的思想,对各种莫尔条纹进行二维正态分布拟合,找出频谱点精确坐标,从而精确测量莫尔条纹角度。理论分析和软件仿真表明:这种方法具有高精度、高稳定等优点,能有效提高长焦距的测量精度。     

干涉条纹数字分析系统

加拿大微至（WZ）光电子有限公司研制开发的“干涉条纹数字分析系统”能够高精度数字分析干涉条纹，测量精度达到λ／20-λ／50，系统由图像采集卡、个人计算机、软件和软件加密狗组成，实时采集或输入干涉条纹，自动分析处理干涉条纹，输出检测报告。     

由正弦结构图产生的莫尔条纹各影响因素分析

莫尔技术以其特有的优点在光电三维面型测量中占有举足轻重的地位。正确理解各种影响因素对莫尔条纹的影响。对莫尔技术的正确应用有着重要的指导意义。分析了由正弦结构形成莫尔信息的几种方式,详细地研究了影响此种莫尔信息的几种因素－频率、相位、幅值、背景光强、结构间夹角等。得出了一些有意义的结论,给出了正确应用莫尔信息的一般原则。     

基于Goldstein滤波的数字散斑条纹图降噪方法

有效去除数字散斑条纹图中的噪声是散斑干涉测量技术中的关键问题。提出了一种基于Goldstein滤波的数字散斑条纹图平滑方法。该方法需要将散斑条纹图中的干涉相位转换为矢量空间中的单位矢量,并进行快速傅里叶变换(FFT),得到其频谱,然后对频谱进行加权处理,从而抑制噪声的频率成分,再将加权处理后的频谱变换到空间域,计算干涉相位,得到原始散斑条纹图的滤波结果。将该滤波方法运用于四步相移数字散斑干涉条纹图像处理。实验结果表明,该方法在滤除散斑噪声的同时能够有效地保护散斑条纹图的轮廓和细节信息,增强了散斑干涉条纹的对比度。     

干涉条纹数字分析系统

加拿大微至（WZ）光电子有限公司研制开发的“干涉条纹数字分析系统”能够高精度数字分析干涉条纹，测量精度达到λ／20-λ／50，系统由图像采集卡、个人计算机、软件和软件加密狗组成，实时采集或输入干涉条纹，自动分析处理干涉条纹，输出检测报告，包括波面误差参数：峰谷值（P-V）误差、标准偏差（RMS）、赛德尔（Seidel）像差、光圈数（N）、局部光圈数（△N）。     

干涉条纹数字分析系统

加拿大微至（WZ）光电子有限公司研制开发的“干涉条纹数字分析系统”能够高精度数字分析干涉条纹，测量精度达到λ／20-λ／50，系统由图像采集卡、个人计算机、软件和软件加密狗组成，实时采集或输入干涉条纹，自动分析处理干涉条纹，输出检测报告，包括波面误差参数：峰谷值（P-V）误差、标准偏差（RMS）、赛德尔（Seidel）像差、光圈数（N）、局部光圈数（△N）。