扫描电子显微镜

随着科学技术的发展进步,人们不断需要从更高的微观层次观察、认识周围的物质世界。细胞、微生物等微米尺度的物体直接用肉眼观察不到,显微镜的发明解决了这个问题。目前,纳米科技成为研究热点,集成电路工艺加工的特征尺度进入深亚微米,所有这些更加微小的物体光学显微镜也观察不到,必须使用电子显微镜。电子显微镜可分为扫描电子显微镜简称扫描电镜(SEM)和透射电子显微镜简称透射电镜(TEM)两大类。     

Scios^TM扫描电子显微镜

生产单位：FEI COMPANY型号：Scios^TM功能特点：超高分辨率成像和高吞吐量的2D和3D的分析性能。     

SciosTM扫描电子显微镜

超高分辨率成像和高吞吐量的2D和3D的分析性能。FEIScios是一个Dual—BeamT”系统,可提供出色的性能,适用于范围广泛的样品一即使是磁性或非导电材料。其旨在增加吞吐量、精度和易用性的创新功能,FEIScios是理想的跨学术,政府和工业环境中的先进研究应用工具。     

扫描电子显微镜校准方法

扫描电子显微镜是纳米几何尺寸测量的一种重要工具。本文对扫描电镜现有的检定规程进行评述,分析了可用的标准器现状及各参数校准的可行性。结合作者在国内已开展的工作对扫描电镜放大倍数误差、放大倍数重复性、XY方向图像线性失真度计量特性的实际校准方法进行了讨论。对扫描电镜国家计量技术规范的修订工作提出了建议。     

环境扫描电子显微镜的关键技术

环境扫描电子显微镜在气体压力高达6600Pa，温度高达1500℃，具有任何气体种类的多气环境里，都可提供高分辨率的二次电子成像。如此优良性能的获得，取决于两项新技术：一是将柱形电子导管的真空环境与样品室环境分开；二是使用了一个在样品室非真空环境下仍然能起作用的二次电子探头。这些问题的解决是开发ESEM的关键。     

扫描电子显微镜成像信号分析

介绍了扫描电子显微镜（SEM）的基本工作原理,着重分析了在SEM初始电子束作用下,各种成像信号产生的方式及其特点,确定二次电子信号因成像分辨率高、携带成像信息丰富而成为SEM的最终信号源。针对此信号在实际应用中暴露出的缺陷,介绍了解决办法,从而使SEM的成像性能得以大幅提高,使用范围大为扩展。     

产品名称：Scios^TM扫描电子显微镜

生产单位：FEI COMPANY 型号：Scios^TM 功能特点： 超高分辨率成像和高吞吐量的2D和3D的分析性能。     

扫描电子显微镜校准方法探讨

扫描电子显微镜是纳米几何尺寸测量的一种重要工具。本文对扫描电镜现有的检定规程进行评述,分析了可用的标准器现状及各参数校准的可行性。结合国内已开展的工作对扫描电镜放大倍数误差、放大倍数重复性、XY方向图像线性失真度计量特性的实际校准方法进行探讨。对扫描电镜国家计量技术规范的修订工作提出建议。     

环境扫描电子显微镜的成像特点

环境扫描电子显微镜(ESEM)中所指的环境并非真正意义上的大气环境(760 Torr),与传统扫描电子显微镜(SEM)样品室高真空度相比,ESEM样品室的真空度可以很低(约达20 Torr)。ESEM是在传统的SEM样品室中多一个GSED探头,因此,它在传统的SEM基础上增添了新的功能。其主要的特点是,可以观察含适量水分的样品和非导体材料样品,比如植物的叶片、动物中的昆虫、作物的籽粒、含结晶水的固体材料等。     

扫描电子显微镜对油漆物证同一性认定的应用

采用电子显微镜和X射线能谱仪等方法对交通肇事逃逸现场油漆和嫌疑车辆油漆进行了比对检验,对得到的检验结果提出先计算出同一谱图中第i个元素与该谱图的主要元素的比值,再应用电子表格excel程序绘制折线图,通过折线符合情况,提出了电子显微镜对油漆物证同一性认定的方法,从实践中解决了过去只能应用元素特征强度进行油漆物证同一认定的问题。     

扫描电子显微镜低真空模式的应用

低真空模式是扫描电镜的一种新型观测模式,它的最大特点是可以对不导电样品直接进行观察。这样既避免了不导电样品表面由于电荷累积产生的假象,又省去了对样品表面进行导电喷镀,还有利于不导电样品其他信息的检测与分析。此外,扫描电镜低真空模式还可以对低致密度或多孔样品进行直接观察,这是高真空模式无法取代的。     

基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法

扫描电子显微镜是半导体器件关键尺寸测量的重要仪器.为提高扫描电子显微镜的测量准确度和校准效率,研制了一套标称值为100 nm～10μm的线间隔样板和标称值为2μm～10μm的格栅样板.此外,针对现有校准规范中测长示值误差、正交畸变和线性失真度等参数,提出了一种基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法.实验研究表明：研制的线间隔样板和格栅样板质量参数高,能够覆盖扫描电子显微镜的测量范围,解决仪器溯源问题.基于图像处理的扫描电子显微镜校准方法,能够有效提高测量准确度和校准效率.     

计量型扫描电子显微镜测控系统研究

为了解决扫描电子显微镜(SEM)在100 nm以下的微纳几何结构尺寸精确测量方面的不足,实现SEM测量值的量值传递与溯源,研制了一套计量型SEM测控系统。该系统主要由位移台运动控制模块、激光干涉位移测量模块和图像采集与处理模块组成,基于LabVIEW图形编程语言开发了测控系统上位机软件。对1μm×1μm二维栅格样品进行尺寸测量实验,结果表明,该计量型SEM测控系统运行稳定可靠,且在10μm测量范围内的测量值示值误差优于10 nm。     

利用扫描电子显微镜进行金属的断口观察

<正> 扫描电子显微镜(Scaning Electron Mi-croscope,简称:SEM)是在 x 射线微区分析仪(简称:XMA)研制和产品制造的基础上得到发展和推广的,目前世界上这两种装置总共约制造有8,000台左右。扫描电子显微镜是一种性能居于以往的旧式光学显微镜和透射电子显微镜(Trans-mission Type Electron Microscope,简称:TEM)两者之间的显微镜。今后与 x 射线微     

扫描电子显微镜图像漂移的实时矫正方法

为解决扫描电子显微镜(SEM)由于电子束漂移、电磁干扰等原因导致的图像漂移问题,提出基于ORB结合PROSAC的图像漂移矫正算法。首先采用ORB算法对基准图像和实时图像进行特征检测,然后利用汉明距离与交叉匹配实现特征的初匹配,再结合RANSAC的优化算法PROSAC计算帧间的单应矩阵,利用单应矩阵映射剔除外点后重新迭代计算出最终的精确单应矩阵,最后利用单应矩阵的透视变换实现SEM图像漂移实时矫正。通过实验证明,该算法不仅精度高,而且能够满足SEM实时处理的要求。     

基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数测量

二次电子发射特性对许多领域的真空器件有着重要的影响,准确测量二次电子发射系数至关重要。本文介绍了一种基于扫描电子显微镜的二次电子发射系数的测量方法。利用扫描电子显微镜电子束流的高稳定性和电子能量的宽范围可调的特性,引入法拉第杯样品台,通过改变电子束扫描速度,放大倍数及聚焦状态等电镜参数,对平滑Ag的二次电子发射系数进行测量。结果显示,平滑Ag的二次电子发射系数不受电镜参数影响,且与参考文献测量结果相符合。本测试方法对于研究材料宽电子能量范围的二次电子发射特性具有重要的参考意义。     

高效消除色差的扫描电子显微镜——Magellan

扫描电子显微镜是1965年发明的先进的显微结构研究工具,主要是利用二次电子信号成像来观察样品的表面形态,即用极狭窄的电子束去扫描样黼,通过电子束与样品的相互作用产生各种效应,其中主要是样品的二次电子发射。二次电子能够产生样品表面放大的形貌像,这个像是在样品被扫描时按时序建立起来的,即使用逐点成像的方法获得放大像。     

环境扫描电子显微镜的特性及应用概况

简要叙述了环境扫描电子显微镜的原理，着重介绍了它的特性和在国内外应用的概况。与普通的扫描电子显微镜相比，它具有能直接检测不导电样品和含油含水样品的独特性能，为扫描电子显微镜的应用开拓了新的领域。