双光束直线度干涉测量装置

本文介绍在直线度测量研究中采用的一种双光束干涉装置，该装置较好地解决了激光束漂移对测量的影响，在实验室内，若忽略大气扰动的影响，精度可达0.2μm。     

激光干涉粒子成像乙醇喷雾场粒子尺寸和粒度分布测量

研究了一种基于激光干涉粒子成像(IPI)技术的粒子尺寸测量方法。该方法是利用粒子散射光在成像系统离焦像面上所形成的干涉条纹图,采用小波变换和模板匹配提取条纹图像中心,利用傅里叶变换和修正Rife方法提取干涉条纹间距/条纹数,进而计算得到粒子尺寸大小,其测量精度可达到亚像素精度。对51.1μm的标准粒子进行了测量,粒径测量值为(49.79±0.41)μm,绝对误差1.31μm,并应用于乙醇雾场粒子测量,给出了沿x方向和y方向不同测量点处的瞬时雾场粒子的粒径分布、平均粒径以及索太尔平均直径(SMD)。     

双光束激光扫描尺寸测量系统

基于激光扫描检测原理，提出了一种用于测量较大直径的双光束激光扫描尺寸测量系统。利用具有良好速度特性和光学准直特性的扫描光学系统。，通过分光光学系统，使扫描光束由一束变为两束，对工件两侧进行双光束扫描，将携带有被测量信息的两路光信号经光合成系统后将两束光进行和接收，经微机数据处理后，给出直径的测量结果。文章详细论述了系统的测量原理、组成和微机控制与数据处理系统，对扫描光学系统设计的有关理论问题进行了     

细丝直径测量的双光束干涉法

本文提出一种双光束干涉法测量细丝直径的方法,两束平行光波相向入射到细丝上,反射后形成两条虚线源,它们产生平直的条纹,条纹周期与丝径成反比,由ＣＣＤ摄取条纹图进入微机处理。给出细丝直径。文中将介绍该方法的原理和装置,给出相应的实验结果,并对其应用前景作简要的讨论。     

双光束干涉法测量固体表面移动速度

用氦镉激光器发出的激光束通过马赫一陈德干涉仪分束为交叉角较小的两束光,让两束光会聚照射在透明的粗糙毛玻璃上。设两束光夹角为2θ,两束光夹角平分线垂直于毛玻璃平面,毛玻璃平面以速度v沿自身平     

杨氏双缝干涉实验测量涡旋光束的轨道角动量

研究了平面波经过螺线型相位板后产生的涡旋光束,经双缝干涉后在干涉场中干涉条纹的分布情况。详细介绍了涡旋光束的拓扑荷数对干涉条纹分布的影响。发现同平面波的竖直干涉条纹相比较,涡旋光束的干涉条纹,从顶部向底部看去,沿着横向出现移动,并且移动的大小和方向与拓扑荷数的取值有关。通过观测干涉条纹,可以得到涡旋光束的拓扑荷数。涡旋光束由于携带轨道角动量可应用于新型的光信息编码与传输,研究结果可望在这种新型的光信息编码与传输中得到应用。     

测量微观尺寸的干涉术

干涉术由“干涉”一词派生而来，是用干涉现象测量光波长尺度的距离。在可见光波段，这个距离约为590urn或1／43000英寸。这是一种精密系统，其灵敏度惊人。环境中的任何振动、移动或热膨胀都可检测。迈克尔逊的早期实验可受1000英尺之外马路交通振动的影响。如用比可见光更短的波长，精度还可更高，但此波长也增大了环境的局限性。齐戈（Zygo）公司的R．Smythe说，“干涉术是可实现距离测量的最灵敏、最实用的技术”。图1当所测对象上反射回来的光束与参考光束组合时，便产生亮暗线，即条纹。通过充暗线距离的分析，可以确定距离、角度和…     

聚焦高斯光束光点尺寸的测量

在半导体工业开发研究领域中，如离子注入损伤的激光退火、激光增强的电镀和水溶液激光蚀刻等，激光已经日益变得不可缺少。实验结果的重复和验证需有一种精确测定激光输出功率密度的方法。聚焦高斯光束的光点尺寸是必须知道的数据。有些研究者已发表了用扫描刀口测量激光光束束腰和发散度的结果。结果是相当好的,但他们实际使用的复杂装置并不总是适用于现有的激光系统。本文介绍一种测量聚焦高斯光束直径的简便方法，其光束来自一台 Quantronix倍频Q幵关Nd:YAG激光刻划系统。该系统很易用到其它激光系统的分析中。     

利用激光双光束干涉方法测量地球潮及监测地震

本文提出了用激光双光束干涉方法研究地球潮的变化,对其测量原理和测量精度作了分析,讨论。     

新型振幅分割双光束干涉光学双稳态装置

我们在分析了一系列混合型光学双稳装置原理的基础上,提出了一种新的振幅分割双光束干涉光学双稳态装置。     

高精度双光束干涉指零仪的研制

在激光陀螺动态测角过程中,瞄准并建立一个可靠的零点是比较关键的问题。利用双光束干涉原理设计了指零仪的光路,描述了其瞄准原理和电路组成,分析了研制过程中应该注意的问题。利用高精度速率偏频激光陀螺的输出脉冲对指零仪进行了稳定性和重复性的实验,在转速为144(°)/s时指零仪的指零精度优于±0.1″,指零重复精度优于±0.05″。结果证明,所研制的指零仪具有很高的指零精度和良好的动态响应能力,验证了设计的合理性和可行性,为高精度激光陀螺测角仪的研制奠定了良好的基础。     

刀口法测量高斯光束光斑尺寸的重新认识

文中对刀口法测量高斯光束斑直径时，通常多用能量比值86.5%所对应的位置作为光斑直径，但在一维测量情况下不能用这一数值，通过理论计算，导出了新的数值为95.4%。     

引入激光回馈的双光束干涉效应的研究

提出了一种引入He-Ne激光回馈的双光束干涉系统,并在理论和实验两方面进行了研究。实验中对系统中的干涉信号及激光器尾光功率变化同时进行探测。发现当干涉仪的主回馈镜移动时,激光器尾光信号是正弦形波形,而干涉仪输出的是以双峰为一个周期的信号,双峰中一峰总是高于另一峰,并且当主回馈镜移动方向改变时,同一周期中两峰出现的顺序也随之改变。对实验现象进行了理论分析,并模拟出干涉信号及激光自身功率的变化曲线。理论分析及模拟结果与实验结果完全吻合。讨论了利用发现的现象进行测量的可行性,所提出的测量方法易于实现。     

干涉粒子成像技术可测粒径上限分析

从实验上研究了干涉粒子成像技术（IPI）的最大可测粒子尺寸。分析了同一视场中不同物面导致的物距变化对IPI最大可测粒径的影响。搭建了单光束照射的IPI实验系统,对粒子直径为51μm和110μm的聚苯乙烯混合粒子场进行测量,分析了同一视场内不同采集区域的最大可测粒径。实验结果表明,IPI技术最大可测粒径受实验系统物距影响,对于一固定参数的实验系统,同一视场内不同采集区域的最大可测粒径不同。     

径向剪切干涉测量激光光束波前的研究

详细论述了环路径向剪切干涉（cyclic raial shearing interferometry,CRSI）测量激光光束波前的原理,介绍了傅立叶变换空间载波条纹相位提取方法,以及畸变波前的重建算法,给出了数值仿真结果,并且进行了实验研究,验证了该方法的有效性.     

强激光光束像传递测量系统离焦量干涉法测量

在强激光波前测量像传递系统中,4-f光传输系统透镜之间装调过程产生的离焦量引入了一个相位调制。首先从实验上测量了像平面处波面横向剪切干涉图样,利用矩阵光学和Collins衍射公式推导出了离焦量和激光波面横向剪切干涉条纹之间的理论关系,并得到了在无离焦情况下激光传输的空域和频域方程。对实验测量得到的干涉条纹空间灰度曲线利用最小二乘法进行了余弦曲线拟合,得到干涉条纹空间尺度,利用理论关系计算得到了离焦量的数值,实现了对像传递系统装调过程的定量描述。