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用于真空电弧离子镀膜的受控电弧蒸发源 总被引:2,自引:1,他引:1
本文在研究了阴极弧斑运动规律的基础上,发展了多功能受控电弧蒸发源,它可在自由电弧状态下运行,而在200~250A高参数运行时,可使阴极弧斑覆盖几乎整个阴极表面且多轨迹旋转,使阴极烧蚀均匀,提高了镀膜沉积速率,薄膜质量也相应提高。研制的另一种环形阴极旋转电弧蒸发源,可基本消除液滴,使阴极利用率更高。 相似文献
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高频逆变真空电弧蒸发电源是现代电力电子技术与微电子技术的综合产物,因其具有高效节能、形小体轻、真空电弧稳定等特点,势必发展成为新一代电弧蒸发电源。本文就其主要工作原理、设计计算、实验数据等进行了分析研讨,并举电路实例供参照 相似文献
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高频逆变真空电弧蒸发电源是现代电力电子技术与微电子技术的综合产物,因其具有高效节能、形小体轻、真空电弧稳定等特点,势必发展成为新一代电弧蒸发电源。本文就其主要工作原理、设计计算、实验数据等进行了分析研讨,并举电路实例供参照 相似文献
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真空电弧的特点及几种常用金属的真空电弧现象 总被引:1,自引:0,他引:1
真空电弧技术愈来愈广泛地应用于离子镀技术.但由于不同的阴极材料的固有性质不同,真空电弧现象也不同.为能更好地将真空电弧应用于离子涂复技术,本文较简洁地介绍了真空电弧特点及一些金属和合金的真空电弧现象. 相似文献
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脉冲真空电弧镀的实验研究 总被引:8,自引:0,他引:8
本文介绍了利用脉冲真空电弧进行镀膜的初步研究结果。主要研究了在不同电气参数、结构参数……条件下,在炭钢基材上镀铝合金膜和不锈钢膜及影响成膜性能的因素。研究结果表明,这种镀膜方法,可以镀各种金属和合金膜;具有设备简单,镀膜速率高等特点,但仍需进一步消除膜中的大颗粒,改善膜的表面光洁度。 相似文献
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LF炉(钢包精炼炉),具有设备简单,投资费用低,操作灵活和精炼效果好等特点,所处理的钢种范围广泛,在我国各大钢厂均有应用,本文以大连特钢110吨LF炉为例,阐述了其机械设备安装的技术要点。 相似文献
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钢包精炼炉大型真空系统设计研究 总被引:1,自引:0,他引:1
基于卅年试验与工业应用的理论与实践,为达成工业装置的安全、节能与高效运行,本文对大型钢包炉真空系统设计的若干关键技术进行了研究,特别对该技术领域目前尚未解决的“除尘”、“溢钢防止”、“真空泵多重变量调节”等技术提出了全新的设想和实施方案。 相似文献
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本文以双流体模型和麦克斯韦方程为基础,推导并建立了真空电弧的三维磁流体动力学(MHD)模型。通过对该模型的求解,得到等离子体压力、密度、速度和马赫数等真空电弧的重要属性参数。通过对不同开断电流下真空电弧等离子体的电流密度的仿真研究,揭示了开断电流的大小对于真空电弧的收缩程度具有影响作用。 相似文献
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讨论了真空电弧沉积中弧源设计的有关问题 ,如电弧运行模式、电弧极性、点火方式、电弧的约束方式以及宏观粒子抑制方式等。分析表明 ,合理选择电弧运行模式和电弧极性 ,以满足涂料粒子蒸发与离化的要求 ;选择合适的弧源结构 ,加强对电弧的约束与烧蚀的控制 ,或用过滤弧源 ,以抑制宏观粒子对涂层的污染 ,是成功设计弧源的关键 相似文献
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本文根据等离子体的辐射理论,研制了一台新型的等离子体诊断装置。在这个装置中,使用CCD传感器代替一般的光学仪器,使诊断装置的体积大大地缩小:同时,单板机的使用,取代了人工进行数据采集和数据处理的过程,因而操作简便,且加快了诊断的速度。 相似文献
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真空阴极电弧沉积碳氮膜的研究 总被引:1,自引:0,他引:1
以氮气为反应气体,用真空阴极电弧沉积法沉积了CNx膜,并利用金相显微镜、Auger电子谱仪、FTIR及XRD对其进了分析.结果表明真空阴极电弧沉积法可以制备含N量高、具有C≡N键和C-N键并含有晶态C3N4的CNx膜. 相似文献
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真空电弧的演变规律对于真空断路器的设计具有重要意义。本文结合图像处理技术,利用拆除屏蔽罩的玻璃真空灭弧室,对交流电弧和直流开断电弧进行了拍摄及数字化分析。并采用改进的双阈值灰度图像分割算法,将电弧图像分割为三个特征区域,并计算出电弧直径、高灰度值区面积、高灰度值区面积率三个特征参数。结果表明,在纵向磁场下的作用下,交流电弧在2 ms左右的初始扩散过程后,会继续稳定燃烧直至电流自然过零熄灭;而直流开断电弧在被引燃后,存在1 ms左右的高灰度值区面积率较高的过程,随后经历短暂的扩散过程后,由于换流电流的投入而快速熄灭。 相似文献
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本文指出:真空电弧蒸发源中热电子对电离作用通常占统治地位,等离子体近似处于局部热平衡状态。引入表观电离能(i),不需复杂处理,就可估算出电离度。 相似文献
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介绍了一种新的镀膜技术—过滤式真空电弧离子镀膜技术。针对典型的过滤式真空电弧镀膜装置,描述了其结构组成,分析了它的工作原理。分析结果表明,该技术与传统真空电弧离子镀膜技术相比,可有效地消除宏观颗粒对镀层的污染,可广泛应用于制作各种微电子膜透明导电薄膜(ITO)以及类金刚石(DLC)薄膜。 相似文献
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讨论了真空电弧沉积中弧源设计的有关问题,如电弧运行模式、电弧极性、点火方式、电弧的约束方式以及宏观粒子抑制方式等。分析表明,分析表明,合理选择电弧运行模式和电弧极性,以满足涂料粒子蒸发与离化的要求;选择合理的弧源结构,加强对电弧的约束与烧蚀的控制,或用过滤弧源,以抑制宏观粒子对涂层的污染,是成功设计弧源的关键。 相似文献
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随着经济社会的不断进步,我国的冶炼技术得到了前所未有的发展,近几年来钢包精炼炉被广泛应用于冶炼工业中。本文首先对钢包精炼炉的主要功能进行介绍,再提出现有的钢包精炼炉的设备隐患,最后提出相关的改造措施,希望可以给相关工作者提供借鉴。 相似文献