ZJ5410型宽量程复合真空计的研制

ZJ5410型复合真空计可进行105 Pa~10-1 Pa宽量程测试。为ZJ-54D热偶规管研制了配套的扩流恒流源,同时又为ZJ-10电离规管研制了由SM89C52单片机和开关电源模块TOPSwitch相结合的配套电源,本电源是一款新型宽量程复合真空计电源。本计充分发挥了单片机实时性好,容易扩展,运算速度快等功能,实现了热偶计压力值拟合曲线浮点运算,液晶屏多数据信息同时显示,真空度动态显示,真空度长时间记录和曲线显示等功能。     

低温绝热容器中皮拉尼真空计取代热偶真空计的可行性分析

在低温绝热容器夹层真空度的测量中,皮拉尼真空计和热偶真空计较适用,目前热偶真空计应用较多。从测量范围、测量精度、测量温度、互换性、远程监控、检漏能力和性价比等方面,对皮拉尼真空计和热偶真空计的性能进行了比较,得出皮拉尼真空计更适用于低温绝热容器夹层真空度测量的结论。最后列举了目前国外几种典型的商用皮拉尼真空计和热偶真空计的技术参数。     

热偶真空计检修知识

1、热偶真空计加热电流的 选择: 普通热偶真空计加热电流要求90-150mA之内加热电流即为热丝工作温度之能量来源,对它的要求是稳定可靠,具有90-150mA调正范围;并可以保证热丝在压强小于1×10-4托时能加热到热偶产生ET-T0=10mv之热电势。 热偶真空计电源部分,一般由直流稳压源供给,是稳定的恒流源供电为最佳,这样可以不必考虑电源内阻。目前国内设计复合式真空计中,都是共用一个磁饱合式稳压变压器。热偶计部分通过桥式硒整流器进行正流,由电容电阻组成一个形滤波器,供给热偶规管灯丝一个直流电源。直流电压经过降压电阻及可变降压电阻与热…     

一种改进型热偶规管

针对国产热偶规管与国外同类规管对热稳定性方面存在的差距,具体分析了其中的原因,然后剖析了现有的补偿规管法在改善国产规管对热稳定性方面的效果和存在的问在题。着重介绍了自动补偿技术以及采用该技术改进国产热偶规管的实际效果。改进型热偶规管不仅能自动对热学因素的动、静变化进行补偿,具有最小的温度误差。而且还能直接配用现有的对应热偶真空计或带热偶的复合真空计,具有推广价值。     

ZX BJ型真空计线路标准检定装置的打印输出

为了保证测量真空度的准确性,真空仪 表必须提供足够精度和稳定度的电参数。 ZX BJ型真空计线路标准检定装置是检定电 离真空计和热偶真空计电气线路各项参数的 必要设备。用来测量供电电压在额定值或变 化± 10%条件下的电离真空计的零点漂移 (VL)、发射电流(Ic)、收集极电压(Vc) 和加速极电压(vg);也可在某一电源电压 下,测上述某一参数一小时内的改变及校电 离真空计测量离子流的准确性和线性;检定 热偶真空计的加热电流和热偶电势。为了提 高检测速度和可靠性,本装置除了手动测量 以外,还可以自动测量,即在一个测量周期内,在额定电…     

热偶真空规与毫伏表的正确匹配

一、概述: 使用PL-3规管之热偶真空计,是目前压强在10-1-10-3托量程中,是最广范使用的一种真空计。第一它具有在10-1-10-3托压强范畴,气体热传导性能突出,因而性能稳定可靠。并具有连续测量,同时可以测量气体和蒸气总压强,可远距离测量,结构简单,在大气压下也不致损坏规管。第二厂家设计定型,生产定型,产量大,目前国产单独热偶计与热偶电离复合计型号甚多,例表一单独热偶计产地与型号参数表,例表二复合计产地、型号、参数表。 热偶计规管,在国内基本上都采用DL- 3型规管,每年亦有上万支的产量。可见其应用价值与使用量都是很大的,第三在冶…     

环境热辐射与安装方位对热偶真空规的影响

热偶真空计长期以来是低真空主要的普及型测量仪器，至今仍得到相当广泛的应用，本文讨论了热偶真空规安装环境光热辐射与安状方位对其测量影响的机理，并给出了实验测试结果。     

真空计线路检测与自动化测量

前言 真空技术应用的普及与发展,对真空计量器具要求逐步严格起来。我们日常检定大量使用的电离真空计,热偶真空计在真空系统上对规管常数校准时,经常由于真空计线路电参数不合格,甚至不能正常工作,而白白浪费了很长时间开动真空系统获得所需要的真空。就是真空计线路能工作,但由于参数偏离规管要求的电参数数值,而使规管所测得的常数数值不能与同类型真空计线路通用。由此看来真空计线路电参数检测是保证真空计测量压强准确一致不可缺少的计量项目之一。为此我们研制了真空计线路检定台,现介绍如下,由于业务水平所限,、又缺少实际工作经验,…     

论复合真空计对0．1Pa真空度的测量

在工业生产、科研院所等部门,电子复合真空计被广泛用于真空镀膜机、热处理真空炉等真空设备中。电子复合真空计是真空计量仪器。我们以较为常用的北京兴华真空仪表厂生产的ＪＦ型、ＦＺｈ型复合真空计和四川成都仪器厂生产的ＷＺＫ型复合真空计为例,讨论一下复合真空计在０１Ｐａ及其附近位置,真空度测量状况及其特点。根据复合真空计产品说明书中技术条件,多数复合真空计热偶计部分的真空度测量范围一般为２０Ｐａ～０．１Ｐａ,电离计部分的真空度测量范围为１０×１０-１Ｐａ～１０×１０-５Ｐａ。这里,我们注意到,１０×１０-１Ｐａ这一…     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体,集成化是指将多只真空计组合为一体,系统化是指将真空度的测量与控制相结合,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技     

常用真空计的改制方案

在我国仍采用托、毫米汞柱为单位的真空仪表就有十万余台，按照国家计量法的规定，这些仪表到 一九九○年就不能使用了，为使这些仪表不致报废，本文为常用其空计提出了一个简单易行的改制方 案，并以 ＷＺＫ、ＳＧ—３、ＦＺＨ型真空计为例， 论述了改制方策的可行性和具体措施。与电离规 ＺＪ—２、 热偶规ＺＪ—５１配套的复合真空计，电离计部分通过改变放大器的增益；热偶计部分换上块Ｐａ刻度盘 则可达到改制的目的。建议借改制之机，推广使用稳定型热偶真空规：ＺＪ－５１Ｂ，ＺＪ—５１Ｃ。     

多功能真空校准装置

为满足航天器热试验常用真空计及标准漏孔的校准需要,研制了多功能真空校准装置。该装置可用于进行热偶真空计、压阻规、电容薄膜真空规、潘宁规、热阴极电离规等真空测量传感器的校准,同时也可以用于渗透型真空漏孔的校准。装置选用静态比对法、动态比对法、质谱比对法设计建成,真空校准范围为1.33×10~5Pa~1×10~(-4)Pa,真空漏孔校准范围为5×10~(-5)~5×10~(-9)Pa·m~3/s,装置智能化水平高,操作简便,适合真空规管的批量校准。     

真空计电参数检定台介绍

一、概述 为了满足真空计量工作的需要,提高检定精度与效率,我们于一九七七年试制一台真空计电参数检定台。 二、研制目的 对于各种电真空计检定,在计量部门是把规管(传感器)封接于真空系统上,用水银麦氏真空计做为标准仪器,进行真空量值检定。画出刻度曲线。实质上是规管和仪器线路以及指示器(表头)综合一起进行了检定。其中包括规管本身误差、仪器线路误差、表头误差三部分。其中哪部分误差多大是不知道的,总的检定结果必将引起真空量值较大偏离。可以肯定这种检定是不合理的。 计量部门的任务在于传递量值准确一致,对电离及热偶真空计每…     

真空计的发展新趋势

结合真空计的发展历史和使用需求 ,通过对国际上近几年的真空计新产品的分析可知 ,目前常用真空计具有向小型化、一体化、集成化、系统化和智能化方向发展的趋势。小型化是指真空计的体积越来越小 ,一体化是指真空计电路部分与规管集成为一体 ,集成化是指将多只真空计组合为一体 ,系统化是指将真空度的测量与控制相结合 ,智能化是指真空计具有自我诊断、自我保护、自动操作和数据处理等综合处理功能。这些趋势是在电子技术和计算机技术迅速发展的技术推动下 ,为满足应用的需求而产生的结果。     

ZDr-77Z数字式超高真空计

ZDr-77Z数字显示超高真空计是一种宽量程并可配用多规管的真空计。其测量范围可以从5×10~(-2)～5×10~(-11)托。当使用DL-7规管时,即使突然暴露大气,也不致损坏。该仪器具有量程自动和手动转换,托帕两种单位制自由转换,发射电流连续可调,具有过载保护和手动超程报警,自动校零,同时可输出8421码数字量与模似量两种信号供打印机和记录仪记录数据。该仪器真空计部分,采用集成运算放大器和可控硅稳发射,数字部分采用国     

一种改善国产热偶规管对热稳定性的方法

由该方法制造的带自补偿热偶真空规管已申请中国专利 国产热偶规管是我国目前应用最普遍的粗低真空测控传感器。国产热偶规管的对热稳定性与美国ＤＶ系列热堆规管相比存在着明显差距，其原因就在于规管中的热端接点和冷端接点的热学特性不一致。国产规管中冷端接点的热惯性比热端接点大得多，从而使冷端接点的温度响应比热接点慢得多。本文提出的改进方法能将国产规管冷端的热惯性降低到与热端接点相当的程度。采用本方法不仅能提高国产热偶规管的热稳定性，而且还不需要对原来所配的真空计作任何改动，故极易推广普及。 并在文末附录部分对“环境热辐射与安装方位对热偶规的影响”一文（《真空１９９０（１）５１～５４）的理论推导和结论提出质疑。     

半导体器件生产用真空测量仪表的维修与校正

半导体器件生产,在真空测量仪器方面,多配置热偶和电离规管作传感器的复合真空计,热阻真空计和磁场放电真空计亦有应用。根据工厂生产的特点:仪器用量大,连续开机时间长,所以仪器易损率大,就地及时维修和校正工作是很重要的现实问题。工厂本身也应定期或不定期作维护性粗校。现主要以北京真空仪表厂生产的Fzh-1型复合真空计为例,简要介绍我厂的使用和维修经验。     

适应复杂环境的真空计

采用全陶瓷规管进行电荷屏蔽,实现了对薄膜真空计的改进,以满足在含有大量带电离子及饱和水蒸汽等特殊真空环境中低真空度的快速准确测量。介绍了提高传感精度且降低温度及水蒸气对电容薄膜真空计影响的方法、器件选择以及单片机控制系统等,并给出了部分测试结果。本文设计的低真空度测量系统具有模块化、精度高、响应速度快等优点,为国内特殊真空环境下低真空度测量系统提供了设计参考。     

电阻真空计的误差分析

自1833年克里斯天(christie)描述了惠斯登电桥电路以来,应用很广。该电路也很快地被广泛应用在真空度的测量上。 电阻真空计俗称皮喇尼真空计,迄今也有几十年的历史了,其一般测量范围为100～10-3托。系采用一根电阻温度系数较大的金属丝(如钨、铂、镍丝)制成规管,在其两端施加电压,通过测量电气参量来反映出真空度。其电路大致可分为定压、定流、定温(定阻)等形式。 分析电阻真空计的误差,对于实际应用十分重要。根据国家标准单只规管校准曲线在测量范围内与标准曲线的偏差其平均值不应大于±25%,可见在电阻真空计中若要缩小测量误差,则规管…     

一种新型数字热偶真空计

本文介绍一种新型数字热偶真空计，该计采用集成电路、功耗低、电路简单、性能 稳定，数据处理运用了计算机技术，输出为４位ＬＥＤ显示，精确度小于１０％，接近 了一般真空校准装置。可作为标准真空计使用。