气化粉与湿法粉制备ITO靶材过程及性能对比研究

分别以ITO气化粉和湿法粉为原料,在相同工艺条件下,经过球磨、造粒、成型等工序制备了ITO靶材,研究了ITO气化粉和湿法粉制靶中间品及最终靶材的主要性能。结果表明:模压和CIP后,湿法粉坯体密度均低于气化粉的,但由于ITO湿法粉原料粒径细而均匀,烧结活性更高,故在较低的烧结条件下可制备出更高密度的靶材。     

水基注浆成型碳化硅坯体的研究

运用注浆成型技术制备了亚微米碳化硅陶瓷复杂部件坯体。研究了分散剂、pH值对SiC水基浆料粘度的影响,以及不同固含量的SiC水基浆料和脱气泡处理对坯体密度的影响。结果表明：选用的3种分散剂的分散效果大小顺序为：四甲基氢氧化铵（TMAH）〉聚甲基丙烯酸铵（PMAA）〉聚乙烯亚胺（PEI）,且3种分散剂的最佳加入量分别为：1．8wt％、0．8wt％、0．056wt%,最佳pH值为10。对固含量为55wt%的SiC浆料磁力搅拌抽真空脱气泡处理20min可以注浆得到密度为1.64g／cm^3的碳化硅坯体。     

ITO溅射靶材国内外研究状况

本文综述了ITO靶材的国内外研究、制造技术和国内市场应用状况。详细阐述了ITO溅射靶的物理性能、国外制造ITO溅射靶的主要方法、国内研究状况。系统分析了ITO溅射靶制造技术方面的专利。     

ITO靶材的直流磁控溅射镀膜工艺研究

对ITO靶材的直流磁控溅射工艺进行研究,通过正交试验方法确定制备ITO薄膜的最优工艺参数,并明确了溅射温度、氧氩比、溅射气压和溅射功率密度对ITO薄膜电阻率和可见光透过率的影响规律。最优工艺参数为溅射温度370℃,氧氩比0.5/40,溅射气压0.4 Pa,溅射功率密度0.17 W/cm~2。薄膜电阻率受各因素影响的主次顺序是:氧氩比溅射温度溅射气压溅射功率密度。薄膜可见光透过率受各因素影响的主次顺序为:溅射温度溅射气压氧氩比溅射功率密度。     

ITO靶材的研究现状与发展趋势

概述了ITO靶材的应用范围和日益增大的市场需求;对ITO靶材的加工技术和工艺进行了探讨,对ITO薄膜的特性进行了描述;并讨论了ITO靶材所面临的技术问题及发展趋势     

压力注浆成型ITO靶材坯体的夹层现象及影响因素研究

以ITO粉体为原料,制备出高固含量浆料,而后采用压力注浆成型获得ITO靶材坯体。研究了模具孔隙尺寸、原料粉以及助滤剂因素对坯体和靶材中间夹层表现程度的影响。结果表明,调整模具孔隙尺寸和加入助滤剂具有减轻甚至消除坯体中间夹层的作用;同时,使用烧结活性更高的原始粉制坯,可明显减轻烧结后靶材中间的夹层。     

直热式ITO靶材热压设备的设计

随着平面显示技术的发展, 氧化铟锡 (ITO) 靶材的需求大增, 然而国内生产的靶材多为低密度的中低端产品, ITO靶材的制备目前多采用的是热压烧结的形式, 实现ITO靶材的制备突破研制合适的装备及工艺成为焦点问题。本文结合直热式制备ITO靶材工艺给出了ITO靶材热压炉中核心加热区的设计方法, 并利用ANSYS软件对设计完成的石墨模具进行了仿真分析。     

ITO靶材第二相的提取方法与分析

通过将ITO靶材粉碎、过筛后用王水长时间腐蚀的方法,提取出腐蚀产物。以进口A靶、B靶和C靶粉碎后的腐蚀产物为研究对象,通过SEM、TEM、XRD等检测手段研究3种靶材腐蚀产物的形貌、物相结构和组成成分等。结果表明,腐蚀产物均为第二相,其中A靶第二相为近似等轴体的In_4Sn_3O_(12),B靶和C靶第二相可能同时含有近似等轴体In_4Sn_3O_(12)和"窄片"In_2SnO_5,并且A靶第二相比B靶多出约8.32%,比C靶多出约4.48%。     

ITO靶材在磁控溅射过程中的结瘤诱因分析

研究了ITO靶材在磁控溅射过程中的结瘤问题,借助SEM对可能促使结瘤产生的因素进行了分析.结果表明,裂纹、孔隙等缺陷是结瘤产生的主要原因.     

ITO靶材在溅射过程中结瘤行为的研究

本报导了ITO靶材溅射时，靶材表面的时效变化和靶材表面结瘤物的组成及其微结构；探讨了结瘤物生成的原因和减缓瘤子生成的方法，对改善ITO膜质有较好的参考价值。     

大型钛合金泵体的特种砂型铸造工艺研究

目的 以大型钛合金泵体为研究对象,研究特种砂型铸造工艺。方法 采用铝制模具,以铝矾土混合物为填料进行造型,氧化钇料浆为面层涂料,经高温烧结后制备成大型钛合金泵体铸造用特种砂型铸型,在真空自耗凝壳炉中进行熔炼浇注,并对铸件外观、冶金质量、成分性能及尺寸进行检验测试。结果 用该铸造工艺研制的大型钛合金泵体铸件成型完整,铸件表面光洁度可达到6.3 μm;铸件的化学成分和力学性能可以满足ASTM B367中C3的指标要求;经热等静压后铸件内部质量达到了ASME 1320中7级;荧光检测结果满足ASME B16.34中的标准,铸件尺寸精度可到达CT9级的要求。结论 铸件检测结果表明,该特种砂型铸造工艺可以实现大型钛合金铸件的制造。     

钛合金泵体铸造工艺研究

本文针对结构复杂的钛合金泵体铸件,进行了铸造工艺研究,采用机加工石墨型铸造工艺方法,通过分体铸造,组焊成型的工艺措施,成功制造出符合图纸尺寸及技术要求的复杂钛合金泵体铸件。     

注浆成型SiC多孔陶瓷的工艺和性能研究

选用SiC颗粒作为多孔陶瓷的骨料材料,长石、石英、粘土组成的低共熔混合物形成晶界玻璃相结合剂,活性炭作为成孔剂,采用注浆成型工艺,对多孔陶瓷的性能进行了研究.SiC骨料颗粒的Zeta电位等电点对应的pH值为5.2,注浆浆料的pH值在8～12的范围内具有很好的流动性和稳定性;烧成温度的提高,使SiC多孔陶瓷的气孔尺寸分布范围缩小,但基本孔径不变;晶界玻璃相的高温粘性流动在SiC晶粒之间形成“桥架”结构,提高了两者之间的粘结能力;高温下,SiC颗粒的氧化产物参与晶界反应,生成新的针状莫来石相,使SiC多孔陶瓷的强度出现异常提高.     

压力铸造金属基复合材料的浸渗过程

应用具有宽调速特性的低压铸造法制备了碳纤维增强铝基复合材料,着重探讨了其液相浸渗过程。结果表明:金属流体的浸渗充型随着纤维体积分数的增大,从非均衡浸渗向均衡浸渗变化。纤维与基体的润湿是获得良好浸渗的前提。浸渗速度与加压速度的平方根成正比,浸渗系数只在较高的纤维体积分数时才与多孔介质流体力学的计算值相符。通过适当的工艺控制,可制得浸渗良好的复合材料。     

注浆成型-常温常压干燥制备隔热块体材料

以二氧化硅气凝胶为基体,二氧化钛为红外遮光剂,E玻纤为骨架制备出有一定压缩强度的隔热块体材料;分别测样品的压缩强度R、热导率λ和常温(25℃)体积电阻率ρ.结果表明:pH=8～9时,含水料浆的分散情况较好;经过730℃处理0.5h的样品,与美国材料与试验协会的标准ASTM C533-85比较,R值0.41MPa符合,密...     

差压铸造薄壁铝硅合金铸件的位置效应

采用差压铸造工艺,研究垂直缝隙式浇注系统浇注的铝合金硅铸件不同位置的组织和力学性能变化.采用石英砂型、SiC砂型和冷铁,浇口处铸件的晶粒最细小,致密度高、力学性能最好;铸件冷端的组织和性能次之;位于两者之间的铸件的组织和性能最差.分析表明对于具有垂直缝隙式浇注系统,差压铸造凝固压力对金属的凝固作用具有位置效应,浇口处液态金属温度高,凝固时间长,凝固压力对浇口处金属的凝固作用显著;铸件冷端金属凝固时间短,凝固压力对该处金属的凝固作用不显著,铸型的冷却速度对铸件组织和性能的影响起显著作用.浇口处与冷端之间的金属液体的凝固受压力和冷却速度的影响小,铸件的晶粒尺寸最大、密度最小、性能最低.冷却速度提高,铸件的任意位置的组织和性能都相应得到提高.     

热压铸法制备偏铝酸锂陶瓷薄壁管的研究

以固相反应法合成出的LiAlO2细粉作为原料,采用改进的热压铸活塞法压制出薄壁管生坯,并对脱蜡后的素坯进行微波烧结与常规烧结两种不同工艺试验的比较,从产氚机理、粉体煅烧温度、颗粒尺寸、表面活性剂种类和烧结工艺等方面展开了较为系统的研究.实验结果表明,微波烧结不仅可以有效地降低烧结温度和缩短保温时间,使晶粒细化均匀,还能提高样品的抗压强度,非常有利于提高氚固体增殖剂的最终产氚性能.     

铝合金车轮低压铸造充型工艺设计

目的运用科学计算的方法对铝合金车轮低压铸造充型工艺进行优化设计。方法通过对铸造铝合金车轮充型过程进行研究,分析在充型过程中各部位尤其是截面较小的浇冒口部位的铝液流动状态。结果运用数学计算的方法对充型工艺进行优化设计,既提高了铸造效率,又使铸造过程充型平稳,缩短了新产品的试制周期,使铸造工艺由通过试生产阶段的工艺摸索变为试生产阶段的工艺验证。结论经过科学计算可以使液态铝合金的充型按每个阶段预期效果进行,为优化铸造工艺、改进模具设计提供了有效的手段。     

多孔铝合金的铸造工艺研究

采用加压铸造工艺，制备出了多孔铝合金。系统地研究了预制块的制备工艺过程及影响因素。利用所制备的预制块，研究了多孔铝合金的加压铸造工艺。研究表明，预制块孔隙大小及其初始温度、金属液浇注温度、外加压力等影响了金属液在预制块中的充型长度。采用合理的工艺，就可以获得大尺寸的多孔制品。