利用待定系数法的一维剪切波面重建算法

数字剪切波面干涉技术广泛用于波面测量和光学零件参数的检测中。本文介绍了数字剪切波面干涉技术的测量原理和一般处理算法，提出了基于待定系数法的一维剪切波面重建算法，对模拟的剪切干涉图和激光波面进行实例分析，表明所用方法具有较好的处理精度和实用价值。     

剪切散斑干涉技术的研究

剪切散斑干涉技术是利用相干光照射在粗糙的物体表面,在空间所形成的散斑,实现物体表面位移和变形检测。它具有可以全场测量,光路简单,调节方便,对环境要求低等特点。主要讨论基于迈克耳孙的剪切散斑干涉术的原理及位移导数与条纹之间的关系。通过相关实验证明剪切散斑干涉技术在物体离面位移检测中的准确性和有效性。     

微结构三维形貌无损检测的双波段显微干涉技术

功能型微结构具有调控光场或调控电子导通等功能,一般包含具有规则的几何形状,基于深度和线宽的比值,可以将其区分为高/低深宽比微结构。目前对微结构的检测,多用有损检测中的扫描电镜（SEM）剖面成像技术,而产线上迫切需要用于监测与改进制作工艺的无损检测技术。本文系统总结了作者所在研究团队十余年在微结构三维形貌无损检测方面的低相干显微干涉技术进展,其中白光显微干涉仪用于超光滑表面、台阶、微光学元件、微机械元件等低深宽比微结构的三维形貌检测,近红外显微干涉仪用于硅基高深宽比微结构的三维形貌检测。文章阐述了两波段显微干涉系统的关键技术与典型样品的检测实例,结果表明：白光显微干涉仪和近红外显微干涉仪是两种高精度的无损检测仪器,前者检测高深宽比小于等于4,后者检测高深宽比大于等于20的微结构三维形貌,数据结果是可信的。显微干涉无损检测技术获取的三维形貌数据,将有效优化微结构的制造工艺,进一步提升有关器件的性能。     

脉冲激光频域干涉技术在泵浦探测实验中的应用

通过对频域干涉原理的深入研究,本文提出了一种超快时间分辨力的脉冲激光频域干涉技术.采用该技术方法可精确同步泵浦-探测实验中泵浦脉冲和探测脉冲的传输时间,其同步精度与脉冲激光器脉宽相当.本文详细论述了频域干涉技术的系统构成和工作原理,数值模拟了飞秒脉冲激光频域干涉仪的输出信号,指出当频域干涉仪输出的条纹数最少时,两脉冲之间的传输时间差即达到最小,最后通过动态实验验证了理论推导结果.     

使用莫尔条纹技术测量物体表面的轮廓及形变

激光 ,这种具有优良相干性的新光源的发明 ,使古老的光学焕发出青春活力 ,成为当代最活跃的研究科学之一。干涉度量学也获得新的发展 ,激光光源的引入不仅使经典干涉技术开拓了测试范围 ,提高了测量精度 ,而且由于激光技术带动了全息、散斑技术的进展 ,引入了一种新的获取相干光波的技术———二次曝光技术 ,研制出许多种不同经典干涉仪的新型干涉仪 ,拓宽了干涉度量学的概念。传统的经典干涉仪只能检测透明介质的性能和检测光学表面的缺陷等 ,全息、散斑干涉仪的功能扩展到检测任何实际粗糙表面的形变、位移、物体的轮廓等特性 ,而且莫尔干…     

外差式激光干涉振动一次校准

文章先扼要介绍ISO 16 0 6 3- 11中所列 3种激光干涉振动一次校准方法 ,以及用零差式迈克耳孙激光干涉仪正弦逼近法实现加速度的灵敏度和灵敏度相移的校准 ,然后在此基础上 ,从原理、结构和使用等方面介绍外差式激光干涉振动一次校准 ,以及PTB如何用外差式激光干涉技术较大幅度地提高与扩展振动校准频率、校准位移等技术。     

微分干涉在微流体温度场测量中的误差分析

论文将微分干涉显微系统和偏振光相位偏移干涉技术相结合,实现微观流体温度场参数的测量.在介绍微分干涉显微测量原理的基础上,分析了光学系统的误差源,表明移相器的线性误差是影响测量结果的主要误差源;移相器的线性误差为1度,引起折射率误差为2×10-5,由此项误差引起的温度测量误差为0.3℃.在实验测量中,根据相位差与折射率的关系,通过计算得到微流体的温度场变化,实验结果与理论值相符合.     

双平板剪切干涉仪及其干涉图的数值分析

一种用于光学器件及光学成像系统波面差及像质检验的横向剪切干涉仪及其干涉图的数值分析方法,在平行平板横向剪切干涉原理的基础上,分析讨论了改进后的双剪切干涉仪的工作方式及优越性,在对其干涉图的数值分析方法,利用Ｚernike圆正交多项式作为基底函数,对被测光学系统的剪切干涉图进行波面的二维最小二乘拟合,以期重构原始波面,得到被测光学系统的波面差函数,进而不得系统的光学传递函数（ＯＴＦ）,对一组标准镜头进行的测试分析表测量的不确定度＜０．０５。     

流场光学诊断的光偏振相移数字剪切散斑干涉

本文提出了应用于流场光学诊断的使用光偏振相移的数字剪切散斑干涉技术，它具有如下两个显著的优点，首先，产生干涉效应的两相干光束均是物光束。它们通过几乎相同的光学元件与几何空间。这样可以降低测量过程中对环境的防震需求，便于工程中的实际应用。其二，采用光偏振相移方法来获取了干涉图上的位相信息，与通常使用的压电陶瓷相移方法相比，不需要复杂的标定，使用更为方便。     

一种用计算机一维处理剪切干涉图的实用方法

根据剪切干涉图求解波面形状的一维处理方法目前国内已研究出了多种。本文介绍了一种适于计算机自动处理的方法。给出了将该方法用于实际剪切干涉图数据处理的结果。