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罗茨泵转子实际型线公式的推导与计算 总被引:1,自引:0,他引:1
本文对渐开线型线罗茨泵转子的理论型线、实际型线公式做了新的推导。给出了转 子型线在直角坐标系第一象限内三段曲线的坐标方程式,列出了计算机程序框图,给 出了实例结果。这对罗茨泵转子的加工和检查具有一定的指导和帮助作用。 相似文献
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罗茨泵转子型线是罗茨泵的关键。零流量压缩比高的罗茨真空泵、湿式罗茨泵真空泵和罗茨鼓风机均要求泵工作时转子与壳体之间及两转子之间气体泄漏较小,这样可改善泵的低压下性能,即提高泵的抽气效率。转子型线为“圆弧-摆线-渐开线”就可以满足这一要求。文中给出了泵的参数选择图,从图中可以看出泵的参数选择范围,文中说明了该图边界的性状.由该图可查出泵的容积利用系数λ同转子顶圆半径Rm与节圆半径R之比 Rm/R以及同渐开线压力角α的关系。 λ=f(Rm/R,a)。图中用计算机绘出了几个比较特征参数下转子型线及其啮合情况,借此可根据实际需要来选择系的转子型线参数。此种转子型线工艺性良好。可仿型法加工(只需两个工位)。还可以用范成法加工其渐开线部分,余下部分用成型铣刀加工。若以范成法加工型线渐开线部分时,设计转子型线时可选取渐开线基圆半径r为整数.以便于其工艺装备的设计。 相似文献
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IC装备制造业是国家发展战略的重要行业。在该行业中,70%的工作需要在对洁净度要求苛刻的真空环境下进行。而在用于IC装备制造业的干式罗茨泵中,一对罗茨转子的生产成本占总成本的40%左右。罗茨转子是罗茨真空泵的最关键的核心部件。本文基于啮合原理,通过计算机动画编程和理论计算,提出一种适合直排大气罗茨干泵的转子型线,并对型线和转子结构进行改进,使加工更为简单。分析了容积利用系数和转子间隙分布,并得出结论:(1)改进型线的容积利用系数的改变量在5%以内,对抽气性能影响不大;(2)转子啮合时的间隙分布绝对误差在0.025mm以内,并不影响泵的热力学及抽气性能,验证了结构改进的合理性。文末还介绍了一个改进结构罗茨转子加工的实例。 相似文献
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提出一种分段圆弧型罗茨转子,在转子齿峰部分采用3段圆弧式设计。运用啮合原理求解了与齿峰分段圆弧共轭的齿谷曲线,建立了转子型线的数学模型。分析并求解了分段圆弧型转子不发生根切、无余隙容积的条件。研究了转子型线参数对面积利用系数的影响,结果表明:在转子外圆半径、节圆半径一定的情况下,随着圆心角的增大,转子面积利用系数增大;分段圆弧型罗茨转子的面积利用系数明显高于常见的圆弧型罗茨转子。 相似文献
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为实现罗茨泵圆弧转子的低周向泄漏、无闭气现象、造型参数化和尺寸最优化。从7个方面构建出第1、2两类新型线的参数化方程;后以节圆半径和周向弧半角为设计变量, 转子副所占方体空间的轻量化为目标函数, 构建优化模型;最终就闭气现象, 给出谷部型线段上的新避让型线。结果表明:新型线的主圆弧圆心为不位于峰轴上的偏心圆弧;新型线的低周向泄漏是以降低最大形状系数和增加泵体积为代价的, 叶数越多、周向弧半角越大, 牺牲越大, 应优选2叶第1类新转子;谷部的新避让圆弧能有效消除闭气现象, 且简化加工等。为泵其它型线的低周向泄漏, 提供一种全参数设计与造型方法。 相似文献
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为降低共轭泄漏和缓解转子的动不平衡,提出一款新的抛物线转子。基于抛物线的成形原理,从几何关系、理论型线、实际型线、取值上限、坐标方程和参数化模型等6个方面展开研究;其次,以节圆半径和形状系数为设计变量,转子副所占方体空间的最小体积为目标函数,构建优化模型和实例分析。结果表明:抛物线转子因更大的综合曲率半径和较小的顶部几何特征,既能降低共轭泄漏,又能缓解转子动不平衡,最大形状系数为2叶的1.4871,3叶的1.3865,4叶的1.3159;非1.3865最大形状系数的1.367最优值,说明转子尺寸须优化。 相似文献
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李玉龙刘萍臧勇范钧陈莹 《真空科学与技术学报》2019,(11):969-973
为降低共轭泄漏和缓解转子的动不平衡,提出一款新的抛物线转子。基于抛物线的成形原理,从几何关系、理论型线、实际型线、取值上限、坐标方程和参数化模型等6个方面展开研究;其次,以节圆半径和形状系数为设计变量,转子副所占方体空间的最小体积为目标函数,构建优化模型和实例分析。结果表明:抛物线转子因更大的综合曲率半径和较小的顶部几何特征,既能降低共轭泄漏,又能缓解转子动不平衡,最大形状系数为2叶的1.4871,3叶的1.3865,4叶的1.3159;非1.3865最大形状系数的1.367最优值,说明转子尺寸须优化。 相似文献
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罗茨泵是常用的真空获得设备之一.其转子具有较复杂的截面型线,现有设计多采用人工计算和绘图的方式,这种方法的设计强度高、效率低。本文介绍实体造型技术在这方面的有关应用. 相似文献
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几种干式螺杆真空泵转子型线特性的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
对4种干式螺杆真空泵转子型线--多头双边对称圆弧型线、单头变螺距梯形齿型线、单头等螺距梯形齿型线和单头等螺距凹齿型线进行了研究,包括:型线方程、面积利用系数、几何抽速及加工制造等特性.对各型线几何抽速和面积利用系数公式中的重要变量进行了讨论.得出以下结论:双边对称圆弧型线长径比λ取值范围为1~2,单头螺杆型线的内外径比p取值范围0.30~0.45,导程外径比ξ接近1.在相同的转子几何参数条件下,单头凹齿型线比其他2种单头型线的抽速大. 相似文献