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<正>讲课内容:真空基础知识、薄膜沉积技术、离子镀膜机结构、离子镀膜一般工艺制订、离子镀代替电镀、离子镀超硬涂层、磁控溅射新技术、装饰膜材及色调、离子镀膜应用等。也可根据客户要求确定讲课内容。(2)现场操作实习:参观三束材料表面改性国家重点实验室,工具镀膜生产加工厂及镀膜机制造厂,镀膜专利工艺、操作决窍分析。 相似文献
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一、前言 自从Mattox将辉光放电技术与蒸发镀膜技术相结合创立离子镀以来,在工业发达国家里,离子镀技术受到了极大的重视。目前,在各种有效的离子镇方法中,活性反应镀(ARE)工艺、空心阴极离子镀(HCD)工艺和磁控溅射离子镀工艺最引人注目。其中采用 HCD 工艺制成了各种超硬的化合膜,例如:TiN,TiC,Al2O3等膜。HCD法的TiN涂复工艺已在装饰镀膜、超硬工具、模具等方面得到了广泛地应用。 八十年代初,我所研制成功了空心阴极离子镀设备。主要用来镀表带、表壳等金黄色氮化钛装饰膜。在此基础上,又研制了TiN涂复刀具的HCD设备,并在TiN… 相似文献
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简述了电弧离子镀的进展及其特点;介绍了它的工作原理,着重论述了电弧离子镀膜机的基本结构及作用和真空泵的选择,最后指出了它的应用前景。 相似文献
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毛德才 《真空科学与技术学报》1982,(1)
本文从离子镀技术的基本原理出发,用普通真空镀膜机设计,改装成离子镀设备。为了实现对非导体陶瓷基片进行离子镀膜,根据非导体本身不可能传送自由电子的特性,设计了法拉第网和对基片烘烤。经过100多次工艺实验,终于在陶瓷基片上获得附着力2Kg/mm~2的离子镀铜膜并总结出工艺参数。 相似文献
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M2高速钢离子渗氮与离子镀TiN复合工艺 总被引:1,自引:0,他引:1
在改进后的DLKD800型离子镀膜机中,对M2高速钢基体材料施以离子修氮与离子镀TiN复合工艺。研究表明离子渗镀复合处理后,可使高速钢W6Mo5CR4v2(即M2)试样TiN膜硬度的测试情、基体表面硬度值(渗氮层部分)、膜基间的复合强度都有明显地提高。高速钻头经离子渗镀复合工艺后,使用寿命有显著提高。 相似文献
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本文叙述了对多弧离子镀膜机阴极弧源所做的实验研究,提出了如何降低靶极工作电流、提高靶材利用率、减小蒸发粒子的颗粒度以及提高成膜质量的方法。详细介绍了在我所研制的HLZ-750型八个弧源的多弧离子镀膜机上所做的 TiN超硬涂层及装饰涂层的工艺研究及实测结果。 相似文献
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同轴式磁控溅射离子镀膜机是磁控溅射和离子镀膜相结合的一种镀膜设备。从不小于1.5×2m 大面积基底上所镀膜层的均匀性和实际应用的可行性来看,是一种较好的成膜手段。1.国内现状目前国内生产蒸发式镀膜设备的厂家不少。这种方法是以高纯铝丝或铁铬镍合金丝等作为膜材,在大面积上镀镜或镀建材玻璃膜。普遍认为蒸发膜存在着如下问题: 相似文献