共查询到19条相似文献,搜索用时 78 毫秒
1.
2.
3.
4.
用低压化学气相沉积法形成钼膜 总被引:1,自引:0,他引:1
一种用氢还原五氯化钼膜的低化学气相沉积仪被开发。这种仪器可以使每组25片晶片薄膜厚度的均匀性在±5%以内,并且钼膜不被氧化。研究者发现,与常压下相比,在低压时,可在一个较高的温度下,钼的沉积速率受表面反应的制约,并与表面反应部分氢气分压的3/2成正比。 相似文献
5.
6.
总结了我国在MOCVD化合物半导体材料方面的最新进展,重点为MOCVD化学、ⅢⅤ族和ⅡⅥ族半导体材料及其在光电和微波器件中的应用。为进一步发展我国的MOCVD材料提出了若干建议。 相似文献
7.
本文通过碳化钨料钟(斗)在济钢的应用效果分析表明,其硬度高,耐冲刷性好,使用寿命比堆焊合金料钟(斗)延长2倍以上,并可节省检修时间,提高作业率。 相似文献
8.
炭/炭复合材料化学气相沉积工艺进展 总被引:2,自引:0,他引:2
对多种化学气相沉积工艺进行了分析对比,指出在炭/炭复合材料的研制与开发中,以等温等压(ICVD)的工艺为最优。该工艺能很好地控制工艺参数,特别是对于装了大量异形件的高炉膛,所沉积的样件不仅密度均匀而且性能稳定,虽然其工艺周期较长,但在实际生产中,可以通过多料柱的高炉膛来降低成本,是比较成熟、稳定的生产工艺。近年来兴起的其他工艺,主要关注沉积速度和沉积机理,大多局限于实验室研究,距工业化大生产还有很大的距离。 相似文献
9.
金属有机化合物化学气相沉积法制备铱薄膜的研究 总被引:2,自引:1,他引:2
以乙酰丙酮铱为前驱体,采用金属有机化合物化学气相沉积(MOCVD)技术在钼基体上制备了铱薄膜.研究了铱的沉积速率与基体温度、乙酰丙酮铱的加热温度和运载气体(Ar)流速等沉积参数的关系.铱薄膜的沉积速率与沉积温度之间的关系不符合Arrhenius方程:沉积速率与绝对温度的倒数呈抛物线关系,当温度为750℃时,铱的沉积速率达到最大值,基体温度对薄膜质量有显著影响;随着以乙酰阿酮铱加热温度的升高,铱的沉积速率直线增加;而Ar流速的增大则显著减小铱的沉积速率. 相似文献
10.
为优化碳纤维表面电镀镍的工艺条件,采用电镀法在碳纤维表面沉积一层纯镍层,通过正交试验法研究了不同工艺参数下碳纤维增重率的变化,探讨电流密度、电镀时间和镀液温度对镀层表面形貌和厚度的影响;并用冷热循环法测试不同厚度镀层与碳纤维之间的结合力.结果表明,采用电流密度0.56 A/dm2,电镀时间6 min,温度50℃时制备的镍镀层表面光洁、均匀致密,是较为理想的镀层. 相似文献
11.
新型纳米材料———钨和碳化钨纳米线,以其特殊的一维纳米结构、优异的物理和化学性能而具有重要的学术研究价值和实用意义。该文首先综述了钨和碳化钨纳米线的最新研究进展,介绍了其几种典型的制备方法,即化学气相沉积法、物理气相沉积法、诱导气相沉积法、化学蚀刻法、自催化法、介孔层状结构卷曲法,进而分析了其生长机理,探讨了其存在的问题,并展望了未来的研究趋势。指出:现有各种制备钨和碳化钨纳米线的方法仅限于基础研究和小批量生产应用,而寻找某种简便、经济、能规模生产的新型制备方法,包括现已初获成功的锥形钨及碳化钨纳米线制备法,仍将是今后很长一段时间内的研究重点。 相似文献
12.
碳化钨是一种由钨和碳组成的深灰色化合物粉末,常应用于生产各类硬质合金。为了消除颗粒效应,实验采用熔融方法制样,因碳化钨不能直接熔融,故先将碳化钨氧化成三氧化钨,按稀释比1∶10加入混合熔剂[m(Li2B4O7)∶m(LiBO2)=67∶33],加0.25 mL 500 g/L溴化锂溶液为脱膜剂,高频熔样机1 050 ℃熔融14 min,制备三氧化钨的熔融玻璃片。建立了X射线荧光光谱仪(XRF)测定碳化钨粉中铁含量的分析方法。在无合适含铁的碳化钨及三氧化钨标样的情况下,采用在三氧化钨基体中加入铁标准溶液(硝酸介质)的方式配制标样,采用变动的理论α影响系数法校正基体效应,校准曲线在铁质量分数0.01%~0.30%范围内相关系数为0.999。对三氧化钨标准样品进行分析,测定值与认定值一致;对碳化钨实际样品进行分析,铁的测定结果同国家标准的分光光度法一致,相对标准偏差(RSD,n=7)小于4.0%。 相似文献
13.
14.
将3组不同纤维体积分数的整体毡采用等温CVD进行沉积热解炭增密,结合CVD沉积过程中整体毡内气体传质数学模型,研究了整体毡的纤维体积分数对CVD增密过程的影响,研究结果表明:纤维体积低的整体毡沉积时增重率高;纤维体积分数高的整体毡容易获得较高密度的C/C复合材料;纤维体积分数超过35%的整体毡经过300 h的化学气相沉积,坯体的体积密度能达到1.52 g/cm~3。 相似文献
15.
16.
球形铸造碳化钨的制备技术 总被引:3,自引:0,他引:3
介绍了国内外近年来的球形铸造碳化钨生产方法。球形铸造碳化钨制备技术按原料可分为两类,一类以W、WC、C为原料,通过雾化制备,如旋转雾化、超高温熔炼气体雾化等;另一类是以铸造碳化钨为原料,通过高温改性处理制备,如等离子球化法、感应或电阻加热球化法等。无论采用何种方式均能制备出化学性能稳定、显微硬度达3000kg/mm^2、组织结构均匀致密、100%细等轴树枝状晶粒、流动性能好的球形铸造碳化钨粉末,但因设备、工艺方法等的差异,各种方法均有各自不同的特点。 相似文献
17.
活性炭纤维滤布过滤与吸附机理的研究 总被引:3,自引:0,他引:3
探讨了活性炭纤维滤布过滤与吸附的机理 ,为袋式除尘器在扑集粉尘的基础上 ,进一步处理黄金矿山选矿和冶炼过程中有毒有害气体 ,提供了理论根据和应用途径。 相似文献
18.
19.
The metal-organic chemical vapor deposition (MOCVD) technique is a promising process for high temperature superconductor YBa2Cu3O7-δ(YBCO) preparation. In this technique, the purity, evaporation characteristics and thermostability of adopted precursors will decide the quality and reproducible results of YBCO film. In the present report, tris(2,2,6,6-tetramethyl-3,5-heptanedionato)yttrium(III)(Y(TMHD)3) was synthesized by the interaction of yttrium nitrate hydrate with TMHD in methanol solution, and its structure was identified by FTIR, 1 H NMR, 13C NMR and EI-MS spectroscopy. Subsequently, the thermal property and the kinetics of decomposition were systematically investigated by non-isothermal thermogravimetric analysis methods (TGA) at different heating rates in streams of N2,and the average apparent activation energy of evaporation process was evaluated by the Ozawa, Kissinger and Friedman methods. The possible conversion function was estimated through the Coats-Redfern method to characterize the evaporation patterns and followed a phase boundary reaction mechanism by the contracting area equation with average activation energy of 88.9kJ/mol. 相似文献