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IC缺陷轮廓的分形插值模型 总被引:1,自引:0,他引:1
现用于集成电路(IC)成品率预报及故障分析的缺陷模型均是用圆或正方形来代替真实缺陷的复杂轮廓进行近似建模的,从而在模型中引入了很大的误差。本文利用分形插值的思想直接对真实缺陷的轮廓进行模拟,从而提出了一种新的缺陷轮廓表征模型。实验结果表明:与传统的最大圆模型,最小圆模型及椭圆模型相比,新模型的建模精度有很大的提高。 相似文献
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本文对现有的IC制造中真实缺陷轮廓的建模方法进行了比较,得到了一些有意义的结果,该结果为进行有效的集成电路(IC)成品率预报及故障分析提供了有益的借鉴。 相似文献
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现有成品率及关键面积估计模型中,假定缺陷轮廓为圆,而实际缺陷轮廓为非规则形状.本文提出了矩形缺陷轮廓的成品率模型,该模型与圆模型相比,考虑了缺陷的二维分布特性,接近真实缺陷形状及IC版图布线和成品率估计的特点.比较了新模型与真实缺陷及其圆模型引起的成品率损失,表明新模型在成品率估计方面更加精确,这对成品率精确估计与提高有重要意义. 相似文献
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硅片表面缺陷轮廓的形状特征对集成电路(IC)成品率预报及故障分析有重要影响。讨论了IC缺陷轮廓所具有的分形特征,利用小波变换对其参数曲线的分形维数进行了估计,估计结果与实际特征相符,从而为缺陷轮廓特征的描述和计算机模拟提供了一条新的途径。 相似文献
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Xiaohong Jiang Yue Hao Guohua Xu 《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》1998,11(3):432-441
For efficient yield prediction and inductive fault analysis of integrated circuits (IC's), it is usually assumed that defects related to photolithography have the shape of circular discs or squares. Real defects, however, exhibit a great variety of shapes. This paper presents an accurate model to characterize those real defects. The defect outline is used in this model to determine an equivalent circular defect such that the probability that the circular defect causes a fault is the same as the probability that the real defect causes a fault, so a norm is available which ran be used to determine the accuracy of a defect model, and thus estimate approximately the error that will be aroused in the prediction of fault probability of a pattern by using circular defect model. Finally, the new model is illustrated with the real defect outlines obtained by optical inspection 相似文献
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考虑缺陷形状分布的IC成品率模型 总被引:3,自引:2,他引:1
实现了基于圆缺陷模型的蒙特卡洛关键面积及成品率估计,模拟了圆缺陷模型估计的成品率误差与缺陷的矩形度之间的关系,提出了更具有一般性的两种集成电路成品率模型,它们分别对应于矩形度相同和不同的缺陷.仿真结果表明该模型为成品率的精确表征提供了新途径. 相似文献
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在门级电路可靠性估计方法中,基本门的故障概率P一般采用经验值或人为设定.本文结合基本门的版图结构信息,综合考虑了设计尺寸及缺陷特性等因素,分析了不同缺陷模型下的粒径分布数据,给出了缺陷模型粒径概率密度分布函数的参数c的计算算法,并推导出了P的计算模型.理论分析与在ISCAS85及74系列电路上的实验结果表明,缺陷的分段线性插值模型能较准确地描述电路可靠性模型的低层真实缺陷.对ISCAS85基准电路采用本文方法所得到的电路可靠度与采用美国军用标准MIL-HDBK-217方法所得到的计算结果进行了比较,验证了本文所建P模型的合理性. 相似文献