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自上世纪90年代以来,针对MEMS惯性器件的研究越来越多,MEMS惯性传感器开始得到广泛的商业应用。本文对部分MEMS惯性传感器国内外的新近研究成果进行了分类与归纳,分别对MEMS加速度计、MEMS陀螺仪和微惯性测量组合以及惯性微系统进行了研究与分析。对MEMS惯性传感器发展趋势进行了初步推断,认为未来MEMS惯性传感器的发展主要有四个方向:高精度,以满足日益精细化、智能化的应用需求;微型化,以实现便携、分布式应用要求;高集成度,以完成多种功能高密度组合;适应性强,以适应复杂应用环境,拓宽应用范围。 相似文献
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介绍了一个微惯性测量组合(MIMU)的计算机测试系统,对该系统的结构,硬件组成、软件设计进行了描述,重点介绍了系统软件设计中的关键技术:RS232通讯测试技术、VC和Labwindows/CVI的混合编程技术、多线程技术、VC和Matlab的混合编程技术。该系统具有良好的通用性和可扩展性,基于高性能CPU和(CPLD、FPGA等技术的微惯性测量组合的测试过程可以大大提高工作效率,缩短研发周期。 相似文献
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为了对输电线路振动进行有效阻尼控制,提出了一种惯性测量参数的时间序列分段模式的输电线路振动分析方法。首先设计一种MIMU测量节点,采用一定长度的弹性杆进行信号物理放大和防磁干扰,并对采集的输电线路振动信息进行AR-Kalman滤波处理;然后把处理过的数据分为不同数据段,静止时数据作为基准段,把后采集的数据段与基准段进行变异分析,计算变异度,预测输电线路振动幅度;对相邻两段数据进行相似度量,计算相似度,预测输电线路振动频率,分析振动趋势;最后设计了振动台、转台和输电线路模拟实验,采集不同振动幅度及频率的MIMU信号,通过幅度、频率及趋势的综合分析,获取本地区输电线路振动特性,实验结果表明,处理数据结果能够反映输电线路振动变化规律,说明输电线路振动分析方法是有效的,可为输电线路的振动阻尼控制器设计提供参数。 相似文献
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介绍了一种基于MEMS陀螺和石英挠性加速度计的低成本捷联惯性导航系统的设计与实现方法。给出了惯性测量单元(IMU)的模型方程,并在全温下对IMU的输出进行补偿;采用"四元数"法进行姿态计算,通过坐标变换、积分运算确定载体的速度、位置;对惯测样机进行了60 s的静态测试,结果表明该系统短期准确度满足SINS/GPS组合导航系统需求。 相似文献
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有机磷农药(OPP)的大量使用已对环境水体造成污染.针对水中痕量有机磷农药检测的需要,设计并利用MEMS工艺制备了自带解吸加热器的微热板预富集芯片.为提高温度均匀性,芯片工作区背面留有硅膜;以马拉硫磷为例研究了预富集芯片工作区的温度均匀性及吸附膜厚度等对富集效果的影响.结果表明,提高预富集芯片解吸时工作区温度的均匀性有助于获得高的被测物浓度脉冲,从而改善离子迁移率谱仪(IMS)检测效果;在室温5m in搅拌采样的情况下,聚二甲基硅氧烷(PDMS)吸附膜厚度为30μm的芯片富集效果优于PDMS膜厚度为65μm和100μm的芯片. 相似文献
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设计了一种耐高温、高频响压力传感器芯片,解决了军事爆破工程实际中需要在高温环境中不失真地测量一些变化频率高、压力波形上升快陡的动态压力.基于硅隔离SOI(绝缘体上的硅)技术和MEMS(微型机械电子系统)技术,利用ANSYS对它们进行了量程和固有频率的模拟,并分析计算了加速度灵敏度.对它们进行了齐平结构的封装.避免了管腔效应的影响,得到了一种耐高温、高频响的压力传感器.对其中1 MPa量程的压力传感器进行了动态标定,通过激波管的试验,得到1 MPa压力传感器的响应频率为147 kHz,满足工程实际中的应用. 相似文献
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Zhongda Zhang Henri Schneider Patrick Tounsi 《Materials Science and Engineering: B》2012,177(15):1358-1361
Diamond has several exceptional physical and chemical characteristics. This is the best material for both electrical insulators (10 MV cm−1) and thermal conductors (2000 W m−1 K−1, five times more than copper at room temperature). In this study, we analyzed and quantified the advantages of the insertion of CVD diamond layer in the innovative thermal management assemblies. We also developed a specific model to simulate the working environment of the component. In the simulation, we compared the use of a traditional substrate (AlN) with that of the diamond CVD one in order to confirm that using the diamond substrate reduced thermal resistance. 相似文献