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微型扩散/收缩泵属于无阀型微机械往复微泵,其性能可以通过优化微型扩散/收缩管的结构参数得到优化.本文利用Fluent软件模拟得到最优的微型扩散/收缩管的结构参数,并提出微型固定鳞片式扩散/收缩管结构.基于硅基MEMS技术制备微型扩散/收缩泵,并通过Fluent软件模拟和实验验证了鳞片式扩散/收缩泵可以提高流阻效率11%. 相似文献
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逆流检漏仪用扩散泵属于特殊用途的扩散泵。它要求扩散泵对空气的压缩比大，对氦气的最大压缩比小。为满足这样的要求，设计了 Ｋ—６５Ｆ风冷金属油扩散泵。本文介绍了 Ｋ—６５Ｆ的特殊结构，论述了采用这种结构的理论依据。并运用真空物理中的理论，气体动力学理论和Ｊａｅｃｋｅｌ理论，对Ｋ—６５Ｆ泵作了性能分析，说明设计的合理性，证明这种结构的扩散泵能够满足逆流检漏仪的特殊要求。 相似文献
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本文运用蒙特卡洛方法,通过同口径的凸腔泵和直腔泵的对比研究,确认凸腔型扩散泵由于其蒸汽射流界面增大以及泵壳的特殊形状使得泵的抽速系数比直腔型扩散泵提高。计算结果符合一般规律。 相似文献
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基于真空系统油扩散泵的工作原理,分析油扩散泵返油的原因,总结出油扩散泵控制返油的方法;引用实例阐述如何查找返油原因;并根据具体原因采取具体措施,以降低油扩散泵的返油率。 相似文献
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本文根据气体动力学的二元理论论述了扩散泵喷嘴角度与喷嘴扩张车的关系，认为喷嘴角度在一定范围内变化时，喷嘴的扩张率也要作相应地改变，方能取得良好的抽气性能。与此同时，各级喷嘴之间的级间距离不该用喷帽内壁面的角度来计算，而应根据射流上界面的角度来计算。文章同时分析了一级喷嘴扩张率对返油率的影响以及直筒泵对喷嘴扩张率在结构方面的限制，提出了用凸腔泵取代直筒泵的建议，以降低返油提高抽速。 相似文献
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本文介绍一种具有大排气量的五级金属油扩散泵的设计与调试。这种泵的主要特点是：工作压强范围宽、在较高压强下有较大抽速、最大出口压强较高。典型Ｋ－５００泵的抽速是大于１００００升／秒，极限压强低于６．６×１０－５帕，最大前级压强大于５４帕，加热功率８千瓦左右。 相似文献
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本文运用气体动力学的理论，重点从结构上分析了影响ＫＴ－１５０型扩散泵的抽速因素。对设计其他类型的扩散泵具有一定的参考作用。 相似文献
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真空系统是真空镀膜设备的主要组成部分,其主泵的选择对真空性能影响很大,真空镀膜设备的发展要求真空性能清洁无油,动态抽速大.传统的以油扩散泵为主泵的设备不能满足要求,本文叙述了油扩散泵、分子泵及低温泵的特点及北京北仪创新真空技术有限责任公司开发以分子泵及低温泵为真空系统主泵的镀膜设备情况. 相似文献
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通过对油扩散泵抽气速率、气体分子平均热运动速度和分子流态下气体流导的分析，指出油扩散泵对不同气体的抽气速率具有选择性，给出了泵对不同气体和空气抽气速率比值的计算值，同时指出电离规的规管常数与气体种类有关。 相似文献
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本文为《实用真空技术》一书的核心章节,作者认真总结了工人师傅的丰富维修经验,理论与实践相结合,对扩散泵的维修技术作了全面、系统、深入细致的论述,对读者有参考价值. 相似文献
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