双频激光干涉仪的原理与应用（二）

双频激光干涉仪的原理与应用（二）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民二、双频激光干涉仪在机床检定中的应用机床检定是双频激光干涉仪的主要用途，与传统的检测方法相比，具有以下特点：①可检测项目多。双频激光干涉仪与不同的附件组合，可测量距离、直线度、...     

激光直线度干涉仪浅析

激光直线度干涉仪是高精度的直线度测量仪器,其测量附件有好几种。本文重点介绍了几种激光干涉仪直线度测量附件,分析了它们的优缺点和技术特点,并提出了直线度测量容易忽视的几个问题。     

激光干涉仪在高精度垂直度检测中的应用

为检测用于测量直角尺、方尺等的高精度垂直度测量仪的垂直度,采用激光干涉仪为主要测量工具,以基准法测量高精度垂直度测量仪的垂直度。根据激光干涉仪测量直线度、垂直度的原理,结合分析软件,对垂直度的测量方法进行了介绍,实验结果表明,采用激光干涉仪测量垂直度的方法简明准确,较为直观、方便、高效。     

极坐标数控铣齿机直线度和垂直度的干涉测量

根据极坐标数控铣齿机床结构特点,采用Renishaw双频激光干涉仪测量直线导轨直线度,对干涉仪直线度测量原理和光束调试方法进行了详细探讨,通过分析垂直和水平导轨直线度数据,最终获得了两直线导轨的垂直度误差.     

双频激光干涉仪在机床检定中的应用

介绍了双频激光干涉仪胡机床检定中检定数控机床位置精度，检定直线度，垂直度和平面度的方法，还介绍了影响测量精度的因素。     

电梯导轨几何误差测试系统

开发了一套电梯导轨测试系统，该系统用于静态测量电梯导轨的几何参数，包括导轨三个导向面的直线度、平面度、导轨的宽度、高度、垂直度和扭曲度等。在测量系统中，5个光栅传感器通过适当配置用于测量电梯导轨三个面的直线度，两侧面的平面度和导轨的其他参数可以通过这些传感器的值经过适当的数学变换获得。用一个双频激光干涉仪标定了系统导轨的运动误差，用有限元分析方法对测量时导轨的挠度进行建模，进行了系统误差和挠度的补偿。实验表明，系统的测量误差小于0．05mm。     

雷尼绍公司主要产品介绍

1激光干涉仪雷尼绍（RENISHAW）公司激光干涉仪可对机床、三坐标测量机及定位装置进行高精度的精度校正。与其他世界名牌激光干涉仪一样，可按标准测量各项几何特性，如线性位置精度、重复定位精度、角度、直线度、垂直度、平行度及平面度等。其分辨率为0．001μm，在0～40℃范围内测量精度为±1．1×10－6，线性测量速度达1m／s，最长测距80m。其便携性好，可使用笔记本式计算机，用户接口方便，软件丰富，价格具有竞争性。除常规功能外，本激光干涉仪还具有许多选择功能，如：自动螺距误差补偿（适用大多数控系统），机床动态特性测量…     

雷尼绍（RENISHAW）公司的先进技术

雷尼绍（ＲＥＮＩＳＨＡＷ）公司的先进技术１．激光干涉仪雷尼绍的激光干涉仪可对机床、三坐标测量机、印刷线路板钻床及定位装置进行高精度的精度校正。可测量各项几何特性，如线性位置精度、重复定位精度、角度、对角线、直线度、垂直度、平行度及平面度等。但分辨率达...     

数控机床螺距误差自动补偿软件

<正>1引言激光具有高强度、高度方向性、频率稳定、高度单色性等优点。激光干涉仪作为精密测量的手段得到广泛应用,在精密机床精度检测方面,可检测数控机床定位精度、重复定位精度、微量位移精度等。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等作线性位置、角度、直线度、平行度和垂直度等测量工作,并可作     

加工径向垂直孔的简易钻模

加工径向垂直孔的简易钻模加工图１φ１０．５ｍｍ及φ８．２径向孔时，容易将孔钻偏，且很难保证两孔轴线垂直度的要求。为此我们设计了简易钻模（图２）。先将工件以大端外圆及外端面定位，操作者手持小头部位，钻头沿钻模φ１０．５ｍｍ的孔钻下，即可加工出工件φ１０...     

双频激光干涉仪的原理与应用（一）

双频激光干涉仪的原理与应用（一）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民编者按双频激光干涉仪是在单频激光干涉仪的基础上发展的一种外差式干涉仪。被测信号载波在一个固定频差上、整个系统成为交流系统．大大提高了抗干扰能力，特别适合现场条件下使用。仪器与不...     

适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪

适用于工业现场的小型化双波长激光外差干涉仪李彬，梁晋文（东南大学机械系南京２１００１８）（清华大学精仪系北京１０００８４）０引言多波长激光干涉测量利用合成波长概念，可以在降低或不降低测量灵敏度的前提下，延长干涉测量的非多值区间（ｕｎａｍｂｉｇｕｏｕｓ...     

用激光干涉仪测量数控机床回转轴精度

1．前言根据英国机床标准BS3800第二部分的要求，标定数控机床回转轴精度时，其转动误差的测量在0～360°范围内至少应测量9个随机位置。然而用传统的准直光管配合多面体的测量方法难以实现这一要求，由于受多面体的限制，这种方法只能测量几个等分角度的固定位置。为了解决回转轴精度的测量问题，可以采用激光干涉仪的小角度测量附件配合基准分度转台的测量方法。虽然激光干涉仪小角度附件本身的测角范围很小，但与基准分度转台配合使用即可扩大测量范围，实现360°内任意位置的角度测量。用此方法可以对数控机床上用CNC控制的回转轴的精…     

基于激光干涉仪的直线度误差测量

机床导轨直线度误差的测量方法有很多种,其中最常用的是水平仪法、自准直仪法和平尺法。主要介绍的是用激光干涉仪测量直线度误差的方法、原理及误差分析,并提出为减少测量误差在测量过程中应注意的几个问题。     

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响

共光路外差干涉仪中激光束角漂移的影响＊李鹏生于瀛洁张琢于英满（哈尔滨工业大学哈尔滨１５０００１）０引言双频激光共光路外差干涉仪测量表面微细形貌原理如图１所示［１］,光路１和光路２的干涉信号的光强由光电元件接收。通过分析计算［２］,可得如下关系式：１．...     

双频激光干涉仪的原理与应用（四）

双频激光干涉仪的原理与应用（四）机械部成都工具研究所（６１００５６）羡一民三、双频激光干涉仪的派生应用双频激光干涉仪在机床检定中的应用是双频激光干涉仪的基本功能，无需对仪器作任何改动即可实现。双频激光干涉仪同时又是一种高精度的长度传感器，可以直接安装...     

数控机床定位精度的综合分析

数控机床的定位精度是衡量数控机床性能的一个重要指标,影响机床定位精度的主要因素有机床导轨,反向间隙,温度等,着重分析了机床导轨直线度对于定位精度的影响,简述了使用双频激光干涉仪对导轨直线度进行测量的方法和校准原理,并给出了几种有效提高数控机床定位精度的方法.     

解析机床定位误差测量及补偿

美国光动公司在CIMT2007推出了新型的用于机床定位误差测量及补偿的迷你激光测量系统,并举办了以“三维体积定位误差的测量及补偿”为主题的技术讲座,美国光动公司总裁王正平博士与到会观众就光动公司的最新产品以及机床定位误差测量技术上的问题进行了深入交流。王正平博士介绍道,20年以前,机床的最大定位误差为丝杆的螺距误差及丝杆的热膨胀误差,而今机床的主要误差已转变成了垂直度误差和直线度误差。为了达到高的机床三维空间定位精度,机床上所有误差(包括3个位移误差、6个直线度误差和3个垂直度误差)都必须得测量与补偿,而采用传统的激光干涉仪测量直线度和垂直度误差比较困难且费时费钱,通常需要停机数日和有经验的行家进行测量。美国光动公司已开发的新型革命性激光矢量测量技术(美国专利6,519,043,2/Il/2003)专门用于机床三维体积定位误差测量。这种测量方法仅需数小时就可以完成传统激光干涉仪几天的工作,并可达到更高的精度和更小的公差。为了深入地说明问题,王正平博士以意大利JOBS S.P.A公司为例说明了光动公司干涉仪的优势。该公司自上世纪80年代以来一直在制造三轴和五轴高速线性马达驱动的标准机床,两年前JOBS开始采用光...     

雷尼绍(RENISHAW)的产品

1 激光干涉仪 雷尼绍(RENISHAW)公司激光干涉仪可对机床、三坐标测量机,印刷线路板钻床及定位装置进行高精度的精度校正。可完成按标准测量各项几何特性,如线性位置精度,重复定位精度、角度、对角线、直线度、垂直度、平行度及平面度等。但其性能指标高,分辨率达0.001μm,在0℃～40℃车间工作环境下测量精度达±1.1ppm,线性测量速度达1m/s,最     

第四代双频激干涉仪诞生

<正> 中国计量科学研究院与北京精密激光仪器厂最近合作推出第四代双频激光干涉仪。它是不断改进、不断创新中诞生的新一代激光测量仪器。该仪器主要用于测量长度(0～60m),配上附件还可用于小角度、直线度、垂直度、平面度等测量,是一种多功能、准确度高的仪器,广泛适用于机械、电子、船舶、航空等行业。对线纹尺、光栅、磁尺、感应同步器的检测更为方便。该仪器采用美国Uniphase全内腔激光管作光源,使用寿命达1.2万小时,所用的稳频和微