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文章通过在实验室试验显影液中干膜负载量与显影液浓度、pH值的相关性,运用Minitab工具确定显影液干膜负载量与pH值的线性关系,同时根据供应商提供的干膜显影负载量上限值,计算出相应的显影液pH值参数范围。当显影液pH降低至要求范围下限值时,表示显影液中干膜负载量已经达到要求上限,显影液需及时更换处理,故可通过pH值变化来监控显影液中干膜的负载量。 相似文献
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文章是针对印制电路板生产过程中线路、阻焊的显影工序所产生的废显影液进行再生利用实践及研究,其工艺过程是废显影液在超滤工艺过滤后通过参数调整、清洗等一系列的工艺流程,实现显影液的循环再利用,减少废水的排放. 相似文献
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在光刻工艺中的显影步骤,显影液在溶解光刻胶的过程中,不同区域光刻胶的溶解速度存在着明显的差异,使得晶圆表面的显影反应存有时间差别。这种反应速率上的差别在实际的生产过程中会产生一些缺陷。金属层划片槽的幻影现象是该类缺陷的一种表现形式。如何去控制这些缺陷的产生,对于提高生产线良率将会显得很重要。文章针对光刻工艺中无钛-氮化钛膜层覆盖的金属层划片槽出现的幻影,分析并提出了产生该现象的机制,与此同时提出了几种解决该现象的方案。 相似文献
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对具有平面外表面及球面内表面的CRT进行了模拟,以确定因玻板折射形成的虚象;模拟计算了平面屏CRT内表面的曲率半径,以在每只眼的位置上形成完美的图像。如果屏高为H,则眼相对于CRT监视器的距离小于H时,屏内表面的最佳曲率半径为R=18H;换言之,对于具有3H以上正常视距的TV用CRT来说,当曲率半径R>40H时,会产生虚象。本文亦讨论了屏玻璃厚度T对屏上图像的影响。 相似文献
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康建兵 《电子工业专用设备》2008,37(9)
在等离子屏、LCD、TFT等平板显示器生产电子工业领域中,曝光显影是生产工艺中的重要组成部分。由于各类显影废液中含有多种化学成分和昂贵的工业原料,因此进行显影废液的处理与再生对生产成本的控制及环境保护都是相当重要的环节,远心分离技术正是在这种背景下被引入到该领域,并且取得了很好的环保效果和极高的经济效益。 相似文献
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在电子工业领域中,曝光显影是生产过程中的重要工序,显影废液的处理与再生对生产成本的控制及环境保护都是相当重要的环节。由于各类显影废液中含有多种化学成分,经常在传送过程中附着在管壁上,并造成流量下降乃至管道堵塞。根据具体使用情况,介绍了由上海松下等离子显示器有限公司新近推出的一套气压式管道清洗系统,该系统丰富了工业领域的管道清洗方法,尤其适用于清洗电子工业领域的显影液废液的处理及排放管道。 相似文献
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《液晶与显示》2019,(12)
通过对TFT-LCD行业用显影液浓度(质量分数)C_1和其中酸根离子浓度(质量分数)C_2与半色调光刻胶膜厚(Half Tone Thickness,THK)的影响研究,提出了改善THK波动的方法。首先,固定光刻工艺生产条件,采用单因素实验法分别对C_1和C_2对THK的影响进行试验,研究表明,C_1、C_2的变化都会影响显影液的显影能力,导致THK的变化,且都呈线性负相关。其次,根据C_1和C_2变化对THK的影响程度,将二者之间建立公式对应关系,通过系统对C_1进行调整,改善C_2波动的影响。最终将关系公式导入系统,稳定了显影能力,有效改善了THK的波动,沟道相关不良发生率从0.20%以上降低到0.03%以下。 相似文献
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莱钢冷轧生产线试生产以来,轧机乳化液吹扫系统对钢板板面残留的乳化液一直不能有效吹扫干净,造成乳化液斑迹缺陷,特别是在轧制薄规格产品时由于板型不易控制,乳化液挤干辊对乳化液的封堵效果不佳,乳化液连续或不连续地从挤干辊缝隙中带出而夹带到钢卷中形成乳化液斑迹。 相似文献
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Shimada H. Onodera M. Nonaka T. Hirose K. Ohmi T. 《Semiconductor Manufacturing, IEEE Transactions on》1993,6(3):269-273
Addition of appropriate surfactant to developer will improve wettability of the developer, thus promoting uniformity of dissolution of exposed photoresist. Surface smoothness of the Si substrate is also improved when developer contains surfactant. The only disadvantage is that surfactant is adsorbed onto the wafer surface; however, it can be removed by a Pt-H2O2 treatment without degrading the photoresist pattern. The optimal tetramethylammonium hydroxide (TMAH) concentration in the developer was investigated by measuring the developing selectivity of the photoresist against various TMAH concentration levels. The developing selectivity is considered to directly affect the photoresist profile and resolution in the development process 相似文献
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针对离散型制造车间电子装备生产调测线中存在的多品种批量测试压力大的问题,结合制造物联技术的应用重新定义当前测试过程,设计具有实时测试信息特征的工作模式和通信手段,以适应车间数字化改造升级的要求。以离散车间自动测试系统为研究对象,通过搭建面向实时测试过程的工业物联识别环境,构建自动测试系统信息化体系框架,详细分析了基于开关切换和自动化流水线的多被测件测试技术、现场设备在线互操作协同技术、基于实时跟踪的数据通信技术等关键技术,给出了基于浏览器/服务器结构的网络化柔性测试生产线实现方法,为提升制造车间的整体测试服务水平提供了基础。 相似文献
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数字化车间属于智能型产业,是一种新型的生产组织方式,其作用在于建设数据流。文中根据数字化铝箔复合车间的实际需求,构建了数据采集智能管理系统,其能及时地采集准确数据,提高车间的生产效率。 相似文献
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本文分析现代电装作业存在的库存管理、最短路径以及CAK车间生产流水线问题,建立标准化物资采购周期流程,引入GA中交叉和变异进化策略,实现现代电装作业效率提升路径算法设计.实验结果表明,设计的现代电装作业效率提升路径算法能够有效提高现代电装作业效率,加快现代电装作业进程. 相似文献
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BaTiO_3介电材料在微波频段具有良好的介电频散特性,可通过在羰基铁粉吸收剂中掺杂 BaTiO_3改良其频散特性。采用固相合成法在不同温度下制备了 BaTiO_3粉体,测试表明,制备的 BaTiO_3粉体形成了单一的四方相晶体结构,具有很高的纯度和结晶度、较好的频散特性。在羰基铁粉中掺杂不同含量的 BaTiO_3粉体,使用同轴线方法测试了复合粉体在2~18 GHz 频段范围内的介电常数和磁导率,基于传输线理论计算获得了复合粉体的反射系数,对比结果显示:BaTiO_3粉体的掺入,明显改进了羰基铁粉介电常数的频散特性,有效地提高了低频波段(2~5 GHz)的吸收性能,含有4%BaTiO_3(质量分数)的样品在3 GHz 处的反射系数达到-8 dB。适当比例 BaTiO_3和羰基铁的混合粉体有望成为性能优越的低频波段吸波材料。 相似文献