小功率电源变压器的绕制（五）——线包层间绝缘及端子引出工艺

变压器的层间绝缘、端子引出和静电屏蔽是线包绕制必不可少的工序。层间绝缘与端子引出虽是个简单的技术活，但其工艺不仅左右着变压器的几何尺寸和外观形状，还直接影响到变压器的品质和可靠性。     

H2O—TEOS等离子CVD膜形成中添加NH3的效果

一、前言 LSI的超高集成化正加速地发展，由于布线微细化、多层化、越来越要求层间绝缘膜平坦代技术．即称之谓用无空隙绝缘股充填狭窄布线间的间隙的“间隙充填”技术日趋重要．为此，最近正十分活跃地研制在成膜时所具有的流动性层间绝缘膜。人们很早知道可用玻璃旋转徐敦法（SOG：SpinonGlass）及常压O3－TEOSCVD法制作具有此流动性的层间绝缘股．但是，其各自缺点是；SOG法吸湿性及热处理时脱气性强，而O3－TEOSCVD法对底股的依赖性强。最近，日本的谷村先生报道了具有流动性、且又不依赖于底膜的层间绝缘膜制作方法——H2O…     

CCD多晶硅层间复合绝缘介质研究

电荷耦合器件(CCD)多晶硅交叠区域绝缘介质对成品率和器件可靠性具有重要的影响。将氮化硅和二氧化硅作为CCD多晶硅层间复合绝缘介质,采用扫描电子显微镜(SEM)和电学测试系统研究了多晶硅层间氮化硅和二氧化硅复合绝缘介质对CCD多晶硅栅间距和多晶硅层间击穿电压的影响。研究结果表明,多晶硅层间复合绝缘介质中的氮化硅填充了多晶硅热氧化层的微小空隙,可以明显改善绝缘介质质量。多晶硅层间击穿电压随着氮化硅厚度的增加而增大,但太厚的氮化硅会导致CCD暗电流明显增大。由于复合绝缘介质质量好,可以减小CCD多晶硅的氧化厚度。     

采用常温CVD法淀积形成多层布线层间绝缘膜

一、前言VLSI必须采用多层布线技术。特别是在逻辑系列器件中，布线层数现已达到4层以上，这就要求布线更加微细、更加可靠。要解决应力迁移和电子迁移的问题。对于应力迁移最大问题是要降低层间绝缘膜生成后的残留应力和由于热循环而产生的热应力。本文介绍在以往难以采用的低温，特别是在常温下也能形成良好的SiO2系绝缘膜的常温CVD法以及在层间绝缘膜上的应用。二、以往的CVD技术以往，层间绝缘膜是采用等离子CVD法、光CVD法等淀积而成。但要得到优质的SiO2膜，衬底温度至少要达到300℃左右。近年来，已在广泛研讨采用有机硅化物…     

600MW汽轮发电机定子铁芯损耗试验

汽轮发电机在铁芯硅钢片的制造或现场叠装过程中，可能存在片间绝缘损坏，造成片闻短路，从而引起局部过热，需要对定子铗芯的绝缘状况进行重点检查，铁心损耗试验是检查定子铁芯最直接和有效的方法。     

TEOS—O3常压CVD膜形成中的醇类添加效果

一、前言随着LSI图形尺寸的微细化，对于层间绝缘股来说，不仅仅是绝缘特性，就是对具有微细且具有高纵横尺寸比的沟槽、或者是布线间无间隙填充等均要满足一定的几何学尺寸要求。为此，形成硅氧化膜的CVD材料，目前正在广泛地研究采用一种覆盖性较为优良的TEOS[tetraethoxysilane：（C2H5O）4Si]材料替代以往所使用的硅烷系材料。本刊在1993年第1期中虽刊出《层间绝缘膜形成技术》专集，但重点介绍的是作为涟源而采用TEOS，利用其覆盖形状的优良性而使之发展的实验情况。其中，以TEOS－O2作原料的常压CVD法由于下述几种理由：诸…     

某高频变压器匝间绝缘降低的故障分析及测试原理介绍

随着频率的增加,集肤效应增加了高频变压器工作时的温升,由此带来了匝间绝缘性能降低的风险。匝间耐压测试仪采用直接浪涌冲击法,可以方便的测试高频变压器的绝缘性能是否良好。以某设备中使用的高频变压器为例,阐述了相关分析测试方法,并对改进前后的变压器匝间绝缘性能进行了对比试验分析。     

TEOS等离子CVD膜形成中加氟气体的效果

一、前言用LSI多层布线技术的器件表面台阶形状越来越趋于复杂化、高纵横尺寸比化。因此，面对层间绝缘膜的要求，如何消除高纵横尺寸比布线间的掩埋和布线台阶问题，一年比一年要求严格，而使网复杂的层间绝缘膜成膜。本义介绍的内容就是上述的掩埋工艺技术。以往，人们都使用具有叠层结构的工艺，而这种叠层结构是由等离子TEOS／SOG／等离子TEOS或者等离于TEOS／臭氧TEOS／等离子TEOS等组合而成的。但是，到了亚微米时代，即使用以上那样的工艺亦可得到布线间的优良的膜质，而且能防止产生间隙，么是一个难题。由于间隙的存在…     

日本覆铜板专利文摘（8）

多层印制电路板用材料及用此材料所制的多层板的制造方法(特开2003-283140，三菱电机株式会社)专利提出多层印制电路板的制造方法。这种方法，可在绝缘树脂上用激光蚀孔进行加工。可防止在所生成的层间导通用非贯通孔的孔底部出现有绝缘膜的生成。因此可省去蚀孔后要去除绝缘膜的工序。     

PCB用层间绝缘膜和高功能玻纤布

概述了PCB使用的层间绝缘膜和高功能玻璃布。     

耐压击穿装置的容量指标问题

根据影响绝缘介质击穿的主要因素，着重阐述了交流耐压击穿装置的容量指标问题。在确定耐压击穿装置的容量时，不仅要考虑到被试样件在两极间的等效电容值，理学要估计到样件在击穿过程可能产生的最大击穿电流值。对于某种绝缘或构件，合理选定击穿装置的容量对正确进行试验是很重要的。     

TH2882-1/-3/-5型脉冲式线圈测试仪

线圈类产品(如变压器、电机等)由于绕线材料、磁性材料、骨架、加工工艺等因素的影响会产生线圈层间、匝间及引脚间等绝缘性能的降低。TH2882系列脉冲式线圈测试仪是采用高速取样技术研制的新一代线圈类产品绝缘性能的分析测试仪器。     

浅谈绝缘电阻的测试方法及影响测试的因素

绝缘电阻是反映电线电缆产品绝缘特性的主要指标，它反映了线缆产品承受电击穿或热击穿能力的大小，与绝缘的介质损耗以及绝缘材料在工作状态下的逐步劣化等均存在着极为密切的关系。产品的绝缘电阻主要取决于所选用绝缘材料体积电阻率的Pv，但工艺水平对绝缘电阻的影响很大，因此测定绝缘电阻是监督材料质量和工艺水平的一种方法。测定绝缘电阻可以发现工艺的缺陷，同时也是研究绝缘材料的品质和特性，研究绝缘结构以及产品在各种运行条件下的使用性能等各方面的重要手段，对于已投入运行的产品，绝缘电阻是判断产品品质变化的重要依据之一。绝缘电阻测量准确与否直接影响产品品质的判定，因此要注重绝缘电阻的测量问题。下面介绍几种常用的测试电线电缆绝缘电阻的方法：     

关于氧化铝涂层绝缘性能的探讨

众所周知,氧化铝涂层内含杂质多、涂层龟裂、受到严重污染,都会降低涂层的绝缘性能。对于绝缘性能要求较高的电子管,氧化铝涂层绝缘性能差会引起灯丝与阴极间漏电、击穿、短路,使电子管早期失效。以前电子管普遍使用的氧化铝标准,其杂质只控制Fe_2O_3、SiO_2、Na_2O、Cl~-。对于灯丝与阴极间绝缘性能要求较高的电子管来说,很难满足要求。本文针对上述存在的问题进行     

覆铜板用基材CTI提升

线路板用绝缘基材的表面受到尘埃附着、水份结露或潮气和具有正负离子污染物的污染时，在外加电压作用下其表面的泄漏电流比干净的表面要大得多。该泄漏电流产生的热量蒸发潮湿污染物，使绝缘基材的表面处于不均匀的干燥状态，导致基材表面形成局部干燥点或干燥带。干区使表面电阻增大，这样电场就变得不均匀，进而产生闪络放电。在电场和热的共同作用下，绝缘材料表面碳化，碳化物电阻小，促使施加电压的电极尖端形成的电场强度增大，因而更容易发生闪络放电。线路间反复发生闪络放电产生电火花，进而形成炭化导电电路的痕迹，破坏基材表面绝缘性能，形成导电通道，产生漏电起痕。CTI即是反应绝缘材料表面在有电位差存在下形成碳化导电通路，使之失去绝缘性能的指标。CTI值越大其耐漏电起痕指数越高，绝缘性越好。     

内部电绝缘缺陷的红外热像检测诊断

研究将红外热像技术用对高电压绝缘工具和固体复合绝缘材料进行内部绝缘缺陷检测与绝缘诊断分析。不仅快速方便地检测出绝缘缺陷，而且可以监测绝缘电老化现象，为绝缘诊断分析和寿命预测提供了可靠的信息。     

基于阻抗特性试验的空心电抗器匝间故障分析要素浅析

本篇简述了目前空心电抗器匝间绝缘试验的技术现状,讨论了一种基于空心电抗器阻抗频谱测试方法的故障分析思路,重点分析了阻抗频谱的频谱特征、时域分布特性,并浅析了基于非破坏性阻抗频谱测试用于分析空心电抗器匝间绝缘特性的后续研究方向.     

采用有机源的金属层间膜的平坦化技术

一、前言随着器件的高集成化、高速化和高功能化，器件表面台阶越来越陡峭。特别是进入亚微米时代，由于微细化和高电流密度的要求，金属布线的纵横尺寸比明显增大。所以，在扩展光刻极限的同时，从提高产品成品率、可靠性上来说，平坦化技术是一项极为重要的技术课题。图1示出了具有代表性的金属层间平坦化技术动向及其存在的问题。以往，要求低温工艺的金属层间绝缘股平坦化技术一般是采用等离子氧化股[P（等离子）－SiO2膜或P－TEOS膜等]与涂敷绝缘膜（SOG膜等）相结合的叠层结构，并在此结构上采用返腐蚀工艺或等离子氧化膜和抗蚀…     

市话通信光缆的选型

市话通信网分市话中继网和用户网.我国市话通信网中的电缆线路主要应用铜芯纸绝缘对绞铅包电缆和铜芯聚乙烯绝缘对绞塑料电缆.局间中继电缆大部份采用0.5、0.6、0.7mm线径铜线,用户电缆大部分采用0.5mm线径铜线,部份采用0.4mm线径铜线.今后将逐渐采用铜芯聚烯烃绝缘铝塑综合护层市话电缆来代替铜芯纸绝缘铅包电缆.     

中波天线放电器在重雷区防雷中的应用

中波发射天线（塔）是无线广播发射信号的载体，与电视发射塔不同之处在于它必须与大地呈绝缘状态。因此，天线（塔）与地间有绝缘底座，拉绳亦有多个绝缘子使拉绳与地绝缘。那么高高的天线在雷雨时必然是招雷集结的主要目标，集身于天线体几十万，甚至数百万安培的电流在极短的瞬间要通过放电器导出入地，而且放电效果越彻底越好，因此，放电器在中波天线防雷设置中是一个不容忽视的重要环节。雷电是一种自然现象，不同的地形地貌及其它因素决定着不同雷型和不同量级的雷区，笔者就此问题谈一谈在重雷区条件下的中波天线放电器在实践中的应用，供读者参考。