液体介质石英晶体谐振传感器

报导一种可以在液体介质中稳定振荡的石英晶体传感器，介绍其原理，探头结构以及振荡电路，并给出有关实验结果。     

石英晶体质微变式测微传感器的研制

压电石英晶体的振荡频率会因表面吸附过程而降低,晶体表面增加的质量与振荡频率二者间呈线性关系.当晶体表面涂覆一层能够有选择性地吸附某种特定气体的适当物质时,便可以定量地测定这种气体     

音叉式石英晶体微差压传感器

简要介绍了一种测量范围为－２０～２００Ｐａ,准确度为０．１％ＦＳ,工作温度为－５０～８５℃的音叉式石英晶体微差压传感器的设计和制作原理。和其它形式的微差压传感器比较,它具有灵敏度高,稳定性好,输出频率信号等特点,广泛用于差压、流量等参数测量。     

光纤耦合谐振式压力传感器

研制了一种以谐振石英晶体为敏感元件的光纤耦合压机传感器。该传感器的电测探头采用低功耗电子集成电路,被测压力用频率信号调制并用光纤传输。这下仅使它适用于特殊环境下的信号位测,而且具有光纤传输的高抗干扰能力。本文介绍传感器的设计思想想、结构特点及工作原理,并给出压力测试结果。     

微型硅谐振式压力传感器的研制

利用微电子机械加工技术成功地研制出电热激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器。传感器的谐振器的品质因素Q值在真空中大于 10 0 0 0。采用特殊闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性 ,压力测试范围 0～ 40 0kPa ,线性相关系数 0 .9999,测试精度优于 0 .1%FS。     

晶体式谐振传感器的计设与应用

本文介绍一种稳定性很高且结构简单的晶体式谐振传感器的设计方法,以及与单片机δ031构成可测定介质型电容量的应用实例,由于传感器输出变量是频率,所以它的应用面很广.这一设计已用于粮食水份测定仪中.1 电路     

微结构谐振梁式压力传感器研究

利用微电子机械加工技术成功地研制出电势激励、压阻拾振的高精度硅谐振梁式压力传感器,传感器的谐振器的品质因素Ｑ值大于１７０００。采用扫描检测方式和闭环自激振荡方式测定压力传感器的压力特性,其压力测试范围为０￣４００ｋＰａ,线性相关系数为０．９９９９５,测试精度小于０。０６％Ｆ．Ｓ。     

生物医学石英晶体传感器的研究动向

生物医学石英晶体传感器是分子生物学与微电子学、电化学等相结合的产物，本文介绍了生物医学石英晶体传感器的结构原理及研究动向。     

热激励谐振式硅微结构压力传感器

对一种以方形硅膜片作为一次敏感元件;硅梁作为二次敏感元件的硅谐振式压力微传感器进行了研究:建立了微传感器敏感结构的数学模型;敏感结构参数:方形膜边长4 mm,膜厚0.1 mm,梁谐振子长1.3 mm,宽0.08 mm,厚0.007 mm;对原理实验样件采用电热激励、压阻拾振方式作了开环测试,讨论了传感器的闭环系统.     

组装式石英谐振传感器高温失效研究

针对组装式石英谐振传感器高温失效的具体情况,采取对已失效的传感器解剖分析的方法,研究传感器高温失效的机理及主要影响因素,提出传感器结构改进措施和装配工艺改进措施。在实施改进措施后,传感器高温失效的问题得到了解决。该传感器已经应用在油田现场,并获得良好的效果。     

一种差动输出石英谐振式力传感器研制

介绍了一种具有差动输出石英力传感器,该传感器由轮辐式弹性结构和2只石英力敏谐振器组成。利用分别位于正负应力区2只力敏元件感知作用力的大小,进而进行差动输出,以实现零点温漂与时漂自补偿。分析了弹性梁的结构特性;介绍了双端音叉石英力敏谐振器的结构、力学特性及力传感器的制作过程。对传感器进行了静态测试,结果表明:传感器测量范围为0～300N,静态精度为0.05%。     

谐振式SAW压力传感器敏感元件研究与设计

量程和温度特性是传感器的两个主要指标,SAW压力传感器的量程由基片材料的结构尺寸决定,温度效应一般采用双端对谐振器来消除,目前关于两个谐振器的位置确定还没有一个确定的方法.通过力学分析得出了圆形石英膜片的半径、厚度、和最大载荷的关系;对石英圆形膜片的应力应变关系进行了有限元数值计算,得出了正负应力在圆形石英膜片的分界点,为设计SAW谐振式压力传感器的物理结构和合理的安排谐振器的位置提供了依据.     

硅--蓝宝石绝压传感器陶瓷密封结构设计与分析

介绍了硅—蓝宝石绝压传感器中氧化铝陶瓷—钛合金的真空密封参考腔小型化结构设计,探讨了异质材料不匹配引起的陶瓷断裂问题,对陶瓷—钛合金封装结构的应力情况进行了计算和分析,通过中间缓冲层设计、减小陶瓷承受的结构残余应力,消除了由陶瓷断裂导致的密封失效;选择热胀系数相近的可伐中间层材料,对比不同厚度缓冲层产生的残余应力,优化中间层结构,采用LTCC加工技术与真空钎焊工艺结合制作了陶瓷—可伐—钛合金密封组件,并通过了高、低温度试验考核:组件密封漏率小于1×10-10 Pa·m3/s,密封可靠,满足绝压传感器使用寿命的要求.     

适宜动态检测的新型谐振式水晶温度传感器

成功地研制一种适宜动态温度检测的厚度切变C模工作的压电谐振式水晶温度传感器。它采用NLSC切型 ,变形的平凸结构 ,谐振频率为 19.5MHz。实测表明 ,其Q值为 2 1.3× 10 4 ,电容比为 72 0 ,温度系数为 18.8× 10 -6/℃。响应速度为 2s,经 15 0 0次热冲击试验 ,准确度不变。     

新型波纹管压力传感器

通过对弹性敏感元件的研究 ,设计制造了带有充填物的波纹管 ,解决了薄壁波纹管不能承受高压的难题 ,又保持了较高的灵敏度。代替了常规的压力传感器中的橡皮膜和弹簧 ,重新制作了新型的压力传感器并在 1994年获得了国家专利证书     

压力传感器检测系统的研制

在 - 6 0～ 85℃的温度范围内 ,压力传感器检测系统可以满足压力传感器静态特性参数的检测 ,它采用了液体传压原理、温度控制技术和计算机应用技术。解决了压力传感器的热零点漂移、热灵敏度漂移、非线性、迟滞和重复性在不同温度环境条件下难以精确检测的问题 ,为压力传感器的研究和使用提供依据 ,在压力传感器研制和生产中有着重要的应用价值。     

石英压力计温度补偿设计及其应用

针对组装式石英谐振传感器存在的压力灵敏度随环境温度变化、非线性等问题,分析并建立了对其实现综合补偿的方程式,利用计算机实现压力采集过程中的综合补偿,使该压力计的现场测试准确度在0～100℃范围内达到0.05级。     

液态金属压力传感器感压元件设计

设计了一种应用于液态金属压力测量的差动变压器式压力传感器,介绍了传感器的工作原理和设计方案,着重介绍了波纹管复合弹簧机构(即感压元件)的结构设计和仿真计算,为传感器的设计开发提供了理论基础.该传感器具有灵敏度高、分辨力大等特点,特别适合环境恶劣、介质复杂、工作温度高的条件下对压力的测量.