塑料薄膜吹塑机厚度模糊控制系统设计

采用电容式厚度传感器对吹塑薄膜厚度进行非接触实时在线测量,并根据系统工艺特点,基于PLC构建了模糊控制系统,对挤出机挤出速度和牵引机牵引速度进行控制,实现薄膜厚度均匀。经测试,系统具有较高的精度、良好的可靠性和稳定性,满足实际生产需要。     

铜板带轧制厚度检测系统的设计

介绍了一种非接触式、数字化铜板带轧制厚度在线检测系统，对检测厚度的精度进行了分析，采用频率变换型测厚方法，实现了快速准确测量，该系统还具有自校和自补偿功能。     

涂层厚度的非接触在线测量

本文介绍了一种非接触在线测量金属基体上半导体涂层厚度的方法。开发了一种组合了电涡流传感和电容传感测量原理的复合传感器。根据二种传感元件对金属基体及涂层薄膜的不同物理特性。建立了该复合传感器的数学模型。从该模型导出的仿真结果为我们提供了实际应用时最佳间隙的一些有用信息。经过对金属基体上三种不同厚度的聚乙烯涂层厚度测量的试验,证实所开发的复合传感器的精度不小于±1μm。     

基于模糊神经网络PID的塑料薄膜厚度控制系统设计

针对当前塑料挤出行业薄膜厚度控制系统普遍存在的强非线性、大时滞、控制精度低的现状,设计了一种将模糊控制、神经网络与经典PID控制算法结合的塑料薄膜厚度智能控制系统,通过模糊控制与神经网络自学习算法相结合,实现了控制系统PID参数的在线自整定。实验证明:与传统厚度控制方式相比,该系统可以大大降低收敛时间,提高控制精度,将薄膜厚度误差控制在2μm以内。     

应用低频涡流测量雷达天线罩的厚度

测量某种固体工件 /涂层的厚度可以采用很多检测方法 ,如用机械方法中的游标卡尺测量规则工件厚度 ;用超声波法测量工件厚度 ;用涡流法测量涂层厚度 ;用射线吸收法测量镀层厚度等。但是 ,由于飞机结构复杂 ,它的某些工件形状特殊 ,一般的方法难以解决其厚度的测量 ,雷达天线罩便是其中之一。1　问题的提出雷达天线罩位于飞机机身的最前方 ,外形像一个锅盖 ,由复合材料做成。雷达天线罩的厚薄直接影响着飞机的飞行安全和人身安全。若罩的厚度过厚 ,雷达信号波难以透过雷达天线罩 ,造成发射和接收的信号微弱 ,影响飞机的飞行安全 ;若罩的厚度…     

液压系统油液在线监测电容传感器的优化设计

设计了圆弧型极板油液监测电容传感器的结构,应用电磁场理论对传感器的电容值及检测场的灵敏度进行了计算和分析;应用ANSYS有限元分析软件,对传感器内部的电势分布和场强分布进行了仿真,得到与计算结果相一致的传感器特性,即传感器检测场内部灵敏度分布不均,在靠近极板边缘处灵敏度高,在中心处灵敏度低。应用正交实验法,对此结构传感器的主要参数进行了优化,得到了一组最优的结构参数,同时提出了传感器两对极板相错90°的极板优化排列方案。     

薄膜厚度的电子探针测量软件与应用

利用Ｓｅｗｅｌｌ的Ｘ射线激发深度公式建立起用电子探针测量有衬底纯元素薄膜厚度的应用软件，测量了Ｔｉ，Ｃｕ，Ｍｏ等四种厚度的薄膜标准的质量厚度，并对测量误差进行分析，最后给出了各纯元素薄膜厚度的测量下限。     

类金刚石薄膜厚度的测量

采用真空等离子沉积的类金刚石膜,它属于一种超薄性的薄膜。在诸多的测量方法中,本文采用了椭圆偏振光测量法来测量薄膜的厚度。该方法运用布鲁斯特角,并根据起偏器、栓偏器和四分之一波片精确测量了薄膜的厚度。在测量薄膜厚度的同时也可知道所沉积膜的均匀性情况。     

基于USB数据采集卡的高速电主轴轴向热伸长及径向振动数据采集系统的设计

文章研究设计了高速电主轴轴向热伸长及径向振动测试系统,对高速电主轴热误差和振动误差进行了分析,完成了测试平台的搭建和数据采集程序的编写,并提出了具体的误差补偿措施;采用高精度电涡流位移传感器、红外温度传感器和USB数据采集卡对高速电主轴轴向热伸长、径向振动和轴端温度进行非接触实时测量.测试结果表明:该测试系统结构合理、运行稳定可靠,满足实时、动态的测试要求,对高速电主轴的性能测试、在线监控和高精度误差补偿等研究具有实用价值.     

结晶器振动在线监测系统的研制

提出一种结晶器振动在线监测方法.通过分析结晶器的特殊性,阐述了现有结晶器振动检测方法以及存在的问题,并指出了基于加速度传感器的振动检测的优势.描述了系统数据采集系统的架构,充分发挥现代计算机的高速运算能力,采用模块化思想,搭建了结晶器振动在线监测软件,完成结晶器振动波形的实时显示、振动参数处理、历史数据管理及自动报表等功能,实现了对结晶器振动的在线监测.现场应用表明,该系统拥有精度高、安装方便、功能完善、界面友好等优点,符合结晶器振动在线监测要求.     

基于Labview软件的涡流测厚系统研制

介绍一种基于Labview软件的涡流测厚系统。采用Labview应用软件，结合电涡流传感器，对测量数据进行采集、数字滤波、曲线拟合和显示，实现厚度测量，它可以得到直观的x，y视图，且方便地动态调节方程的幂次，以获得最佳的检测结果。     

非铁磁性金属薄层涡流测厚法

介绍用涡流法弥补超声法检测厚度〈1 mm的薄层非铁磁性金属的不足.推导了涡流线圈感抗简化公式,试验测量了厚度为25～250 μm的铝和25～500 μm的不锈钢,得出了其厚度与幅值的关系曲线,理论计算与试验结果吻合较好.最后根据简化公式进行了理论仿真.研究表明,涡流方法适合测量电导率低的薄层金属厚度,选用合适的低频,采用铁心线圈或考虑相位信息与提离的关系后,该方法可有效监控非铁磁性金属薄层的厚度变化.     

CMP中薄膜厚度问题研究

就目前CMP建模当中没有考虑到芯片表面的薄膜氧化所需时间对模型建立所产生的影响,以至最后模型的预测结果与试验结果相差甚多的问题进行探讨.在基于理论分析的基础上提出以椭偏仪法测定出芯片表面薄膜生成厚度与浸泡时间精确的对应关系.试验结果表明:在模型建立时,芯片表面薄膜厚度的生成时间对模型的建立有着重要影响,精确测定其时间对应关系将有助于使得所建模型的预测结果与试验结果进一步吻合.     

Improvement of sensitivity of eddy current sensors for nano-scale thickness measurement of Cu films

Measurement of nano-scale copper film thickness is of great importance in the semiconductor industry. The eddy current method is used for the purpose due to its non-destructive and fast dynamic response features. In this paper, an equivalent circuit model is used to get the relationship between the measurement sensitivity and sensor parameters. It is found that the internal resistance of an eddy current sensor plays a primary role in the improvement of the measurement sensitivity beside of the Q factor of the sensor. A simple experimental setup is established and a series of Cu films with the thicknesses ranging from 20 nm to 350 nm are prepared as test samples. Test results indicate that the sensitivity of an optimized sensor made of a lower resistant multi-wire Cu line has better sensitivity than that wound with a higher resistant single Cu wire under large lift-off.     

Thickness measurement of non-magnetic plates using multi-frequency eddy current sensors

A robust feature in multi-frequency eddy current (MEC) testing has been found that can be directly linked to the thickness of the plate under test. It is shown mathematically that the peak frequency of the imaginary part of the inductance change when an air-cored coil is placed next to a non-magnetic metallic plate is inversely proportional to the thickness of the plate for a given material. Experimental results indicate that this relationship also holds for a ferrite-cored U-shaped coil. In addition, this peak frequency has been shown to be relatively independent of lift-off variations. Use of this new feature provides a fast and accurate method to gauge the thickness of plates. Measurements made for a sample air-cored and ferrite U-cored coil next to copper and aluminium plates of various thicknesses verified the proposed method.     

罐壁超声成像测厚系统的设计

介绍超声扫描成像技术在罐壁测厚中的应用。测厚系统采用多通道探头、PCI总线超声波界面卡和网络数据传输技术。这些技术的应用,提高了系统检测效率、检测速度、稳定性和可靠性。实际应用表明,该系统能进行100%壁厚测量,同时能满足检测精度和生产速度的要求。     

锆合金陶瓷膜导热系数及其膜厚的确定

锆合金是一种新型的核反应堆用包壳材料.为测定锆合金经高频感应氧化后所获得的陶瓷膜导热系数及其膜厚,将锆合金包壳内装满蒸馏水后放入HS-4(B)型恒温浴槽,利用Advantech VisiDAQ软件纪录下包壳内水温由室温上升至60℃中水温变化的整个过程.然后对相关试验参数进行了分析,获得了氧化膜厚度与导热系数的关系曲线.最后,得出结论:锆合金包壳陶瓷膜厚度以2μm为宜.     

智能型高精度涂镀层涡流测厚仪的研制

针对铁磁性基体材料上非铁磁性薄涂镀层厚度测量的问题,研制了一种智能型、高精度涡流测厚仪。包括专用磁屏蔽探头,高稳定性、低漂移信号源,低噪声、高精度放大接收电路及具有多种标定和补偿功能的系统软件。利用该涡流测厚仪对铁磁性材料基体上镀锌层厚度进行测量的结果表明,仪器测量范围0～30μm,测量精度达到0．5μm±3％测量值,最小测量面积Ф5mm^2,能满足薄涂镀层厚度测量要求。可广泛应用于各种平面、异型面铁磁性基体上非磁性薄涂镀层厚度的测量,具有良好的市场应用前景。