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分析了国产化高纯硅烷气发展的迫切需求,着重介绍单硅烷气的特性、主要合成方法及用途,下游产业链发展,简述了衢州硅烷气体的发展技术现状优势,提出了衢州未来硅烷系列电子气体企业间原材料互供吃配的循环利用整合链式发展模式。 相似文献
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以改进的Soave状态方程为数学模型,用收敛单元法首次对高纯氩工艺流程进行模拟计算。结合工艺流程和各设备的工作特性,成功地解决了收敛单元的选取、收敛判据和计算顺序的确定,并给出计算实例。 相似文献
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《化工经济技术信息》2002,(2):7-8
电子专用超净高纯化学试剂是微电子技术加工制作过程中不可缺少的关键性化学品之一,主要用于芯片清洗和腐蚀,它的纯度和清洁度对集成电路的成品率、电性能及可靠性都有十分重要的影响,它基于微电子技术发展而发展,同时又制约微电子技术发展,因此,电子专用超净高纯化学试剂的研究和开发同微电子技术的发展紧密相联。 相似文献
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高纯电子化学品技术研发现状及必须解决的基本问题 总被引:2,自引:0,他引:2
目前电子产业对高纯电子化学品的质量要求非常高,其生产技术由国外发达国家垄断,国内使用的高纯电子化学品几乎全部依赖进口。因此,必须依靠自己的科研力量进行技术开发。在技术研发过程中必须解决一些最基本问题,比如没有高投入高精密试验和分析设施,不可能开展高纯电子化学品的试验研究。 相似文献
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高纯甲硅烷是半导体工业中最重要“源”性气体,广泛应用于集成电路、太阳能光伏、显示面板及车用动力电池等领域,曾被美、日、韩等国垄断。本文回顾了甲硅烷技术的国产化之路,指出氯硅法路线和反应精馏技术,创新高纯甲硅烷大规模生产新工艺,产品打破国外技术垄断并先后导入光伏、显示面板、集成电路等领域。本文还对甲硅烷电子特气行业进行展望,指出本文作者课题组为代表开发的氯硅法路线是未来的主流工艺,而镁硅法联产甲硅烷和乙硅烷也可能是一条较好路线,并认为通过技术整合和工艺创新开发多产品和多联产产品,发展平台型企业,是未来行业发展的方向。 相似文献
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本发明公开了一种大规模用球形的制备方法。对硅溶胶进行喷雾干燥,得到微球形二氧化硅凝胶,热处理后得到高纯球形硅微粉,其球形化、球形度、致密度及表面光滑度等能达到大规模集成电路封装要求。 相似文献
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二氯硅烷(H2SiCl2 )是一种高价值的电子工业用原料,广泛用于外延硅晶体的化学气相沉积(CVD)和高性能太阳能电池等领域。H2SiCl2的工业化合成方法主要有歧化法、氯化法和氢化法3种,重点介绍了歧化法中所使用的催化剂及工艺。结合使用先进的精制工艺,可满足高端电子产品的需求。同时介绍了H2SiCl2的性质、国外规范及国内外经济概况。 相似文献
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特种橡胶广泛地应用于MRG工业中,在某些情况下,特种橡胶使用的硫化体系与通用橡胶常用的硫黄硫化体系有着很大差异。就白炭黑填充的胶料来说,如浅色制品用胶料,添加有机官能化硅烷是有益的。通过硅烷在白炭黑和聚合物间产生共价交联,使胶料达到高的补强程度。多硫 相似文献
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靳东梅李耀文耿彩军刘斌张增玉孙佳杰 《中国石油和化工标准与质量》2014,(10):25-26
本实验利用硅烷在隔绝空气条件下与氢氧化钠溶液反应原理,根据反应后气体变化量来测定硅烷纯度。通过试验确定了测定硅烷纯度的分析条件,并且这种方法相较于其他方法操作简单,分析成本低,适用的纯度范围广,精密度和准确度高。 相似文献
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概述了高纯电子气体中金属杂质的来源及测定高纯气体中金属粒子的前处理方法和检测手段。选定检测手段从最初的单一仪器检测逐渐过渡到仪器间的联合检测。选用合适的检测方法,满足痕量杂质(10-9级)、复杂组分的分析要求。这样能更精准的检测出更多金属种类。不仅提供对半导体生产中沾污的测试手段,而且对高纯气体的生产、包装等具有非常重要的意义。 相似文献
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介绍了属于高端无机氟精细品的部分含氟特种气体及电子化学品氟气、六氟化硫、六氟化钨和五氟化碘等,这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域,普遍具有技术含量、产品附加值较高的特点,在国民经济中占有重要地位。叙述了产品性能、生产方法、用途、国内外市场现状、生产厂家规模及分布等。 相似文献
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含氟特种气体及电子化学品市场与竞争力分析(续完) 总被引:1,自引:0,他引:1
介绍了属于高端无机氟精细品的部分舍氟特种气体及电子化学品三氟化氮、五氟化磷、六氟磷酸锂等,这些产品大多用于电子、新材料、航空航天等高新领域,普遍具有技术含量、产品附加值较高的特点,在国民经济中占有重要地位.叙述了产品性能、生产方法、用途、国内外市场现状、生产厂家规模及分布等.结合这些产品在我国的地位,进行了竞争力分析,... 相似文献